專利名稱：一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
單晶爐是生長(zhǎng)硅單晶的專用設(shè)備，在硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程中需要隨時(shí)掌握硅單晶棒的直徑狀況，因此，在單晶爐爐蓋上設(shè)置有觀察孔，對(duì)于生長(zhǎng)大直徑硅單晶棒的單晶爐，就需要在爐蓋上開(kāi)出長(zhǎng)度尺寸大于硅單晶棒直徑的觀察孔，目前單晶爐爐蓋上普遍采用的是田徑跑道型大尺寸的橢圓形觀察孔?，F(xiàn)有技術(shù)中的單晶爐爐蓋上，由于采用大尺寸的田徑跑道式橢圓形觀察孔結(jié)構(gòu)，嚴(yán)重的影響了爐蓋的剛性和強(qiáng)度，不但制造復(fù)雜、變形嚴(yán)重、密封效果差，同時(shí)也會(huì)對(duì)單晶爐內(nèi)部的熱場(chǎng)有較大影響，從而降低了單晶爐的穩(wěn)定可靠性。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的大尺寸田徑跑道式觀察孔的結(jié)構(gòu)不合理，導(dǎo)致制造復(fù)雜、變形嚴(yán)重、密封效果差、單晶爐的穩(wěn)定可靠性差的問(wèn)題。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是，一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，在爐蓋上設(shè)置有兩個(gè)圓形觀察孔。本實(shí)用新型的雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征還在于:所述的兩個(gè)圓形觀察孔之間的最小距離小于單晶棒的最小直徑；兩個(gè)圓形觀察孔之間的最小距離加上兩個(gè)圓形觀察孔的直徑之和大于單晶棒的最大直徑。本實(shí)用新型的有益效果是，在爐蓋上設(shè)置有兩個(gè)圓形觀察孔，由兩個(gè)圓形觀察孔代替原來(lái)的大尺寸田徑跑道式的橢圓形觀察孔；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工制造容易、安裝方便、可靠性高的特點(diǎn)，提高了單晶爐的穩(wěn)定可靠性。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的橢圓形觀察孔的位置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型裝置的圓形觀察孔的位置結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型裝置的圓形觀察孔的位置關(guān)系俯視示意圖。圖4為本實(shí)用新型裝置的測(cè)量關(guān)系原理示意圖。圖中，1.爐蓋，2.圓形觀察孔，3.單晶棒，4.橢圓形觀察孔。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖1，是現(xiàn)有技術(shù)的橢圓形觀察孔4的位置結(jié)構(gòu)示意圖，在爐蓋I上設(shè)置有一個(gè)較大尺寸的橢圓形觀察孔4。參見(jiàn)圖2、圖3，本實(shí)用新型的雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)是，在爐蓋I上設(shè)置有兩個(gè)圓形觀察孔2，兩個(gè)圓形觀察孔2之間的最小距離b小于單晶棒3的最小直徑；兩個(gè)圓形觀察孔2之間的最小距離b加上兩個(gè)圓形觀察孔2的直徑2a之和大于單晶棒3的最大直徑
Co參見(jiàn)圖4，實(shí)際應(yīng)用中，生長(zhǎng)出硅的單晶棒3的直徑d直接通過(guò)兩個(gè)圓形觀察孔2進(jìn)行直接測(cè)量。即兩個(gè)圓形觀察孔2之間的最小距離b必須保證能夠測(cè)量到單晶棒3的最小直徑；兩個(gè)圓形觀察孔2之間的最小距離b與兩個(gè)圓形觀察孔2的直徑a之和必須保證能夠測(cè)量到單晶棒3的最大直徑C，單晶棒3的直徑d的測(cè)量范圍表達(dá)式為:b < d < c=b+2a。本實(shí)用新型的創(chuàng)新之處在于，在爐蓋I上設(shè)置有兩個(gè)圓形觀察孔2，由兩個(gè)圓形觀察孔2代替原來(lái)的大尺寸田徑跑道式的橢圓形觀察孔4。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工制造容易、安裝方便、可靠性高的特點(diǎn)，提高了單晶爐的穩(wěn)定可靠性。廣泛適用于硅單晶爐、鍺單晶爐等各種人工晶體生長(zhǎng)設(shè)備中的觀察、晶體直徑測(cè)量和信號(hào)采集。
權(quán)利要求1.一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于:在爐蓋(I)上設(shè)置有兩個(gè)圓形觀察孔(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的兩個(gè)圓形觀察孔(2)之間的最小距離小于單晶棒(3)的最小直徑；兩個(gè)圓形觀察孔(2)之間的最小距離加上兩個(gè)圓形觀察孔(2)的直徑之和大于單晶棒(3)的最大直徑。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種雙觀察孔單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，在爐蓋上設(shè)置有兩個(gè)圓形觀察孔；所述的兩個(gè)圓形觀察孔之間的最小距離小于單晶棒的最小直徑；兩個(gè)圓形觀察孔之間的最小距離加上兩個(gè)圓形觀察孔的直徑之和大于單晶棒的最大直徑。本實(shí)用新型的有益效果是，在爐蓋上設(shè)置有兩個(gè)圓形觀察孔，由兩個(gè)圓形觀察孔代替原來(lái)的大尺寸田徑跑道式的橢圓形觀察孔；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工制造容易、安裝方便、可靠性高的特點(diǎn)，提高了單晶爐的穩(wěn)定可靠性。
文檔編號(hào)C30B15/00GK202954134SQ201220672228
公開(kāi)日2013年5月29日 申請(qǐng)日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月7日
發(fā)明者李留臣, 馮金生, 蔣國(guó)慶, 程緒高, 李伯軍 申請(qǐng)人:江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司