專利名稱：新型區(qū)熔提純爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及新型區(qū)熔提純爐。
背景技術(shù)：
碲、鎘、鍺及其某些化合物是人們熟知的半導(dǎo)體材料，應(yīng)用于紅外探測材料、射線探測材料等，雜質(zhì)含量成為其性能優(yōu)劣的決定因素。由于近幾年特別是近20年來熱成像和夜視相機技術(shù)的進一步開發(fā)應(yīng)用，半導(dǎo)體材料的需求量增大，但是現(xiàn)有的區(qū)熔提純設(shè)備已不能滿足生產(chǎn)需要，主要不足主要體現(xiàn)在工藝單一，不能進行多狀態(tài)下熔煉，同時無法實現(xiàn)全過程的自動控制，效率較低
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種新型區(qū)熔提純爐，能夠?qū)崿F(xiàn)自動控制，提高效率，同時能進行多狀態(tài)下熔煉。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的新型區(qū)熔提純爐，包括柜體、區(qū)熔腔體、行車裝置、電氣控制裝置以及真空機組，區(qū)熔腔體、行車裝置以及電氣控制裝置均安裝在柜體中，柜體為雙層框架式結(jié)構(gòu)，行車裝置和區(qū)熔腔體安裝在柜體的上部，電氣控制裝置安裝在柜體的下部，真空機組固定在柜體外側(cè)，區(qū)熔腔體中設(shè)置多根石英管，石英管上安裝有加熱盤，石英管間形成單獨的區(qū)熔空間，真空機組由機械泵和氣路系統(tǒng)組成，氣路系統(tǒng)連接機械泵和區(qū)熔腔體。所述的柜體中還設(shè)置有尾氣處理裝置。所述的行車裝置包括伺服減速電機、運動車，導(dǎo)軌、傳動絲桿以及行程位置開關(guān)，伺服減速電機上設(shè)置有PLC控制器，伺服減速電機安裝在固定傳動架上，運動車及行程位置開關(guān)安裝在導(dǎo)軌上，柜體的上部設(shè)置由傳動架，導(dǎo)軌及傳動絲桿固定傳動架上。所述的氣路系統(tǒng)中設(shè)置有防爆電磁閥和真空儀。所述的石英管兩端設(shè)置有不銹鋼端蓋密封件。所述的加熱盤為低壓電爐絲加熱盤。所述柜體的前端設(shè)置有觸摸屏。本實用新型的有益效果在于通過PLC控制，從把樣片放入?yún)^(qū)熔腔體到取出樣片，整個過程均為自動化，不但實現(xiàn)了真空系統(tǒng)自動化，還實現(xiàn)了工藝過程自動化，提高了作業(yè)效率，石英管之間的間隔可以調(diào)整，合成初始融化時，各個區(qū)熔空間可獨自操作，實現(xiàn)了多狀態(tài)下熔煉的目的，并且具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便的特點。

圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型的側(cè)面示意圖。其中，I-柜體，2-區(qū)熔腔體，3-行車裝置，3-1-伺服減速電機，3-2-導(dǎo)軌，3-3-傳動絲桿，3-4-PLC控制器，3-5-行程位置開關(guān)，3-6-運動車，4-石英管，5-區(qū)熔空間，6-機械泵，7-尾氣處理裝置，8-防爆電磁閥，9-真空儀，10-傳動架，11-加熱盤，12-不銹鋼端蓋密封件，13-觸摸屏，14-電氣控制裝置。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖進一步描述本實用新型的技術(shù)方案，但要求保護的范圍并不局限于所述。如圖I、圖2，新型區(qū)熔提純爐，包括柜體I、區(qū)熔腔體2、行車裝置3、電氣控制裝置14以及真空機組，區(qū)熔腔體2、行車裝置3以及電氣控制裝置均安裝在柜體I中，柜體I為雙層框架式結(jié)構(gòu)，行車裝置3和區(qū)熔腔體2安裝在柜體I的上部，電氣控制裝置14安裝在柜體I的下部，真空機組固定在柜體I外側(cè)，電氣控制裝置14安裝在行車裝置3的下面，有效的縮短了加熱電流的傳輸距離，區(qū)熔腔體2中設(shè)置多根石英管4，石英管4上安裝有四個加熱盤11，石英管4間形成單獨的區(qū)熔空間5，真空機組由機械泵6和氣路系統(tǒng)組成，氣路系統(tǒng)連接機械泵6和區(qū)熔腔體2。
·[0017]所述的柜體I中還設(shè)置有尾氣處理裝置7所述的行車裝置3包括伺服減速電機3-1、運動車3-6，導(dǎo)軌3_2、傳動絲桿3_3以及行程位置開關(guān)3-5，伺服減速電機3-1上設(shè)置有PLC控制器3-4，伺服減速電機3_1安裝在固定傳動架10上，運動車3-6及行程位置開關(guān)3-5安裝在導(dǎo)軌3-2上，柜體I的上部設(shè)置由傳動架10，導(dǎo)軌3-2及傳動絲桿3-3固定傳動架10上，傳動結(jié)構(gòu)簡單、可靠，整個過程有PLC控制，可實現(xiàn)自動控制，也可實現(xiàn)半自動控制，總行程長度1200mm以上，行程位置開關(guān)3-5的左右設(shè)置點精確到位，當(dāng)以最快速度行車時，位置精度要求可達±2_。所述的氣路系統(tǒng)中設(shè)置有防爆電磁閥8和真空儀9。所述的石英管4兩端設(shè)置有不銹鋼端蓋密封件12。所述的加熱盤11為低壓電爐絲加熱盤。所述柜體I的前端設(shè)置有觸摸屏13，觀察調(diào)節(jié)方便。石英管4之間的間隔可以調(diào)整，合成初始融化時，各個區(qū)熔空間5可同時打開，同時各區(qū)熔空間5可獨自操作，實現(xiàn)了多狀態(tài)下熔煉的目的，區(qū)熔空間5內(nèi)溫度誤差不超過±5°C，區(qū)熔時，區(qū)熔范圍不超過6mm，這樣就實現(xiàn)了從把樣片放入?yún)^(qū)熔腔體到取出樣片的程
自動化。
權(quán)利要求1.新型區(qū)熔提純爐，包括柜體(I)、區(qū)熔腔體(2)、行車裝置(3)、電氣控制裝置(14)以及真空機組，其特征在于區(qū)熔腔體(2)、行車裝置(3)以及電氣控制裝置均安裝在柜體(I)中，柜體(I)為雙層框架式結(jié)構(gòu)，行車裝置(3)和區(qū)熔腔體(2)安裝在柜體(I)的上部，電氣控制裝置(14)安裝在柜體(I)的下部，真空機組固定在柜體(I)外側(cè)，區(qū)熔腔體(2)中設(shè)置多根石英管(4)，石英管(4)上安裝有加熱盤(11)，石英管(4)間形成單獨的區(qū)熔空間(5)，真空機組由機械泵(6)和氣路系統(tǒng)組成，氣路系統(tǒng)連接機械泵(6)和區(qū)熔腔體(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型區(qū)熔提純爐，其特征在于所述的柜體(I)中還設(shè)置有尾氣處理裝置(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型區(qū)熔提純爐，其特征在于所述的行車裝置(3)包括伺服減速電機(3-1)、運動車(3-6)，導(dǎo)軌(3-2)、傳動絲桿(3-3)以及行程位置開關(guān)(3_5)，伺服減速電機(3-1)上設(shè)置有PLC控制器(3-4)，伺服減速電機(3-1)安裝在固定傳動架(10)上，運動車(3-6)及行程位置開關(guān)(3-5)安裝在導(dǎo)軌(3-2)上，柜體(I)的上部設(shè)置由傳動架(10)，導(dǎo)軌(3-2)及傳動絲桿(3-3)固定傳動架(10)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型區(qū)熔提純爐，其特征在于所述的氣路系統(tǒng)中設(shè)置有防爆電磁閥⑶和真空儀(9)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型區(qū)熔提純爐，其特征在于所述的石英管(4)兩端設(shè)置有不銹鋼端蓋密封件(12)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型區(qū)熔提純爐，其特征在于所述的加熱盤(11)為低壓電爐絲加熱盤。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的新型區(qū)熔提純爐，其特征在于所述柜體(I)的前端設(shè)置有觸摸屏(13)。
專利摘要本實用新型公開了新型區(qū)熔提純爐，包括柜體、區(qū)熔腔體、行車裝置、電氣控制裝置以及真空機組，區(qū)熔腔體、行車裝置以及電氣控制裝置均安裝在柜體中，柜體為雙層框架式結(jié)構(gòu)，行車裝置和區(qū)熔腔體安裝在柜體的上部，電氣控制裝置安裝在柜體的下部，真空機組固定在柜體外側(cè)，區(qū)熔腔體中設(shè)置多根石英管，石英管間形成單獨的區(qū)熔空間。本實用新型的有益效果是通過PLC控制，從把樣片放入?yún)^(qū)熔腔體到取出樣片，整個過程均為自動化，不但實現(xiàn)了真空系統(tǒng)自動化，還實現(xiàn)了工藝過程自動化，提高了作業(yè)效率，石英管之間的間隔可以調(diào)整，合成初始融化時，各個區(qū)熔空間可獨自操作，實現(xiàn)了多狀態(tài)下熔煉的目的，并且具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便的特點。
文檔編號C30B13/28GK202688503SQ20122032683
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月9日
發(fā)明者陳畑畑, 梁進智 申請人:北京奧依特科技有限責(zé)任公司