一種晶體生長(zhǎng)爐中籽晶與坩堝對(duì)中的調(diào)試方法及裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種晶體生長(zhǎng)爐中籽晶與坩堝對(duì)中的調(diào)試方法及裝置，調(diào)試方法是通過(guò)安裝在籽晶桿軸心位置的激光筆發(fā)光，從安放于坩堝口上沿并帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)直接讀出籽晶與坩堝軸心的偏差值，隨后根據(jù)偏查值調(diào)整坩鍋的位置。裝置包括：夾頭、激光筆及帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)，在籽晶桿上固定帶有激光筆的夾頭，其激光筆的軸心與籽晶桿的軸心重合；帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)安裝在坩堝口上沿，圓盤(pán)外圓尺寸同坩堝外圓保持一致。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：通過(guò)本發(fā)明的方案可以解決籽晶桿與坩堝對(duì)中不方便的問(wèn)題，同時(shí)不需要測(cè)量鉛錘尖部與坩堝內(nèi)壁之間的距離，且裝置簡(jiǎn)便，適用。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種晶體生長(zhǎng)爐中籽晶與坩堝對(duì)中的調(diào)試方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種晶體生長(zhǎng)爐的調(diào)試及其裝置，特別是一種晶體生長(zhǎng)爐中籽晶與坩堝對(duì)中的調(diào)試方法及裝置
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石晶體爐是生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體的設(shè)備，主要由副室8，爐體9，爐蓋10，爐底11，加熱系統(tǒng)12，保溫系統(tǒng)13，坩堝14，坩堝桿15組成，其中爐體為圓筒形狀，上下開(kāi)口通過(guò)爐蓋和爐底密封爐體，爐蓋中心和爐底中心與爐體軸心重合，爐蓋上設(shè)有觀(guān)察孔16，副室位于爐蓋中心處，副室軸心與爐體軸心重合，副室內(nèi)部沿軸心方向安置籽晶桿。坩堝通過(guò)坩堝桿放置爐體內(nèi)部，其軸心與爐體同心，坩堝與爐體之間安置加熱系統(tǒng)和保溫系統(tǒng)。
[0003]生長(zhǎng)晶體的關(guān)鍵步驟之一是保證坩堝與籽晶桿的軸心重合，通常采用的方法是用鉛錘連接在籽晶桿上，以鉛錘為標(biāo)準(zhǔn)，通過(guò)測(cè)量鉛錘尖部與坩堝內(nèi)壁之間的距離來(lái)調(diào)整坩堝位置來(lái)保證籽晶桿與坩堝同心。但由于爐體為密閉系統(tǒng)，內(nèi)部裝有加熱系統(tǒng)，保溫系統(tǒng)，坩堝，空間狹小，可視范圍小，使用鉛錘調(diào)整同心不方便觀(guān)察和測(cè)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種晶體生長(zhǎng)爐中籽晶與坩堝對(duì)中的調(diào)試方法及裝置，本方法可以解決籽晶桿與坩堝對(duì)中不方便的問(wèn)題，同時(shí)不需要測(cè)量鉛錘尖部與坩堝內(nèi)壁之間的距離，且裝置簡(jiǎn)便，適用。
[0005]為達(dá)到上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0006]這種晶體生長(zhǎng)爐中籽晶與坩堝對(duì)中的調(diào)試方法，它是通過(guò)安裝在籽晶桿軸心位置的激光筆發(fā)光，從安放于坩堝口上沿并帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)直接讀出籽晶與坩堝軸心的偏差值，隨后根據(jù)偏查值調(diào)整坩鍋的位置。
[0007]這種用于上述調(diào)試方法的裝置，它包括:夾頭、激光筆及帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)，在籽晶桿上固定帶有激光筆的夾頭，其激光筆的軸心與籽晶桿的軸心重合；帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)安裝在坩堝口上沿，圓盤(pán)外圓尺寸同坩堝外圓保持一致。
[0008]夾頭通過(guò)定位螺釘I和定位螺孔I與籽晶桿連接，激光筆通過(guò)定位螺釘II和定位螺孔II與夾頭連接。
[0009]所述的定位螺釘1、定位螺孔I的數(shù)量分別為至少3個(gè)，且均布在同一平面上。
[0010]所述的定位螺釘I1、定位螺孔II的數(shù)量分別為至少3個(gè)，且均布在同一平面上。
[0011]所述圓盤(pán)的標(biāo)尺為十字形狀同時(shí)帶有刻度。
[0012]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:通過(guò)本發(fā)明的方案可以解決籽晶桿與坩堝對(duì)中不方便的問(wèn)題，同時(shí)不需要測(cè)量鉛錘尖部與坩堝內(nèi)壁之間的距離。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1:本裝置中在籽晶桿上固定帶有激光筆的夾頭的結(jié)構(gòu)示意圖[0014]圖2:本裝置中圓盤(pán)結(jié)構(gòu)示意圖
[0015]圖3:本裝置安裝于藍(lán)寶石晶體爐的結(jié)構(gòu)示意圖
[0016]圖1、圖2、圖3中，I為籽晶桿，2為激光筆，3為夾頭，4為定位螺釘I，5為定位螺孔I，6為定位螺釘II，7為定位螺孔II。
【具體實(shí)施方式】
[0017]在籽晶桿I上固定帶有激光筆2的夾頭3，其激光筆的軸心與籽晶桿的軸心重合。夾頭3通過(guò)定位螺釘I 4和定位螺孔I 5與籽晶桿I連接，激光筆2通過(guò)定位螺釘II 6和定位螺孔II 7與夾頭3連接，如圖1所示。
[0018]在坩堝口上沿安放帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)，圓盤(pán)的標(biāo)尺為十字形狀同時(shí)帶有刻度，圓盤(pán)外圓尺寸同坩堝外圓保持一致，圓盤(pán)如圖3所示。
[0019]對(duì)中時(shí)通過(guò)打開(kāi)激光筆，通過(guò)觀(guān)察孔觀(guān)察激光光斑在十字標(biāo)尺上的位置，根據(jù)位置顯示的尺寸來(lái)調(diào)整坩堝的位置，最終完成籽晶桿與坩堝的對(duì)中。
[0020]激光筆與籽晶桿的固定采用具有軸對(duì)稱(chēng)的夾頭來(lái)實(shí)現(xiàn)，激光筆的外形需要具有軸對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)激光筆與夾 頭的連接，通?？刹捎脠A柱形。
【權(quán)利要求】
1.一種晶體生長(zhǎng)爐中籽晶與坩堝對(duì)中的調(diào)試方法，其特征在于:它是通過(guò)安裝在籽晶桿軸心位置的激光筆發(fā)光，從安放于坩堝口上沿并帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)直接讀出籽晶與坩堝軸心的偏差值，隨后根據(jù)偏查值調(diào)整坩鍋的位置。
2.一種用于權(quán)利要求1所述調(diào)試方法的裝置，其特征在于:它包括:夾頭、激光筆及帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)，在籽晶桿上固定帶有激光筆的夾頭，其激光筆的軸心與籽晶桿的軸心重合；帶有標(biāo)尺的圓盤(pán)安裝在坩堝口上沿，圓盤(pán)外圓尺寸同坩堝外圓保持一致。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)試方法的裝置，其特征在于:夾頭通過(guò)定位螺釘I和定位螺孔I與籽晶桿連接，激光筆通過(guò)定位螺釘II和定位螺孔II與夾頭連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)試方法的裝置，其特征在于:所述的定位螺釘1、定位 螺孔I的數(shù)量分別為至少3個(gè)，且均布在同一平面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)試方法的裝置，其特征在于:所述的定位螺釘I1、定位螺孔II的數(shù)量分別為至少3個(gè)，且均布在同一平面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)試方法的裝置，其特征在于:所述圓盤(pán)的標(biāo)尺為十字形狀同時(shí)帶有刻度。
【文檔編號(hào)】C30B29/20GK103882529SQ201210563134
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2012年12月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月21日
【發(fā)明者】黎建明, 李楠, 劉春雷 申請(qǐng)人:有研光電新材料有限責(zé)任公司