專利名稱：絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于將諸如焊膏或?qū)щ姼鄤┑母鄤┯∷⒃诨迳系慕z網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法，更具體地，涉及適用于形成太陽能電池的電極的絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法。
背景技術(shù)：
常規(guī)地，已知采用印網(wǎng)掩模(mesh mask)以印刷形成電極的絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法(例如，參見專利文獻(xiàn)1)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)(PTL)1 JP-A-2007-62079 (圖 1，0052 段)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題為了增加太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率，通過使太陽能電池的電極變薄來增加太陽能電池的光接收面積是有效的。然而，變薄的電極極大地增加了電阻并使性能變差，這反而降低了轉(zhuǎn)換效率。因此，要印刷的電極的厚度需要增加。然而，在上述PTL 1的絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法中，設(shè)置在網(wǎng)篩(mesh screen)中的開口部中的網(wǎng)孔構(gòu)成抵抗，從而減小篩網(wǎng)眼，因此利用該印網(wǎng)掩模形成的印刷電極的厚度變薄。結(jié)果，存在利用PTL 1的絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法生產(chǎn)的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率降低的擔(dān)心。為了解決上述問題，已經(jīng)做出本發(fā)明，本發(fā)明的目的是提供一種絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法，可以通過增加厚度而形成具有大縱橫比的截面形狀的電路圖案來實(shí)現(xiàn)所生產(chǎn)的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的增加。解決問題的手段根據(jù)本發(fā)明，提供了一種絲網(wǎng)印刷設(shè)備，用于在基板的表面上形成帶形狀的電路圖案，其包括用于支撐基板的支撐工作臺(tái)；具有覆蓋部、多個(gè)孔和橋部的金屬掩模，覆蓋部用于覆蓋基板表面的一部分，基板的一部分從所述多個(gè)孔露出，橋部沿著與電路圖案的縱向方向相交的方向設(shè)置在各孔之間；以及盒型刮板頭，用于在預(yù)定壓力下將要成為電路圖案的膏劑供應(yīng)到金屬掩模的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板以接觸的方式在金屬掩模的上表面上相對(duì)地滑動(dòng)。在本發(fā)明中，刮板頭在預(yù)定壓力下將膏劑供應(yīng)到金屬掩模的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板以接觸的方式在金屬掩模的上表面上相對(duì)地滑動(dòng)。結(jié)果，在本發(fā)明中，與使用印網(wǎng)掩模的常規(guī)絲網(wǎng)印刷設(shè)備相比，通過增加電路圖案的厚度，形成了具有大的截面形狀縱橫比的電路圖案，從而能夠?qū)崿F(xiàn)所生產(chǎn)的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的增加。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種如前所述的絲網(wǎng)印刷設(shè)備，其中，橋部的下表面相對(duì)于覆蓋部的下表面構(gòu)成凹陷臺(tái)階表面。在本發(fā)明中，橋部的下表面構(gòu)成凹陷臺(tái)階表面，因此，膏劑通過孔填充在基板與橋部之間，從而可以形成帶形狀的電路圖案。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種絲網(wǎng)印刷方法，用于在基板的表面上形成帶形狀的電路圖案，其包括如下步驟使基板被支撐在支撐工作臺(tái)上；將金屬掩模置于基板的表面上，金屬掩模具有覆蓋部、多個(gè)孔和橋部，覆蓋部用于覆蓋基板表面的一部分，基板的一部分從所述多個(gè)孔露出，橋部沿著與電路圖案的縱向方向相交的方向設(shè)置在各孔之間；以及，通過盒型刮板頭在預(yù)定壓力下將要成為電路圖案的膏劑供應(yīng)到金屬掩模的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板以接觸的方式在金屬掩模的上表面上相對(duì)地滑動(dòng)。在本發(fā)明中，刮板頭在預(yù)定壓力下將膏劑供應(yīng)到金屬掩模的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板以接觸的方式在金屬掩模的上表面上相對(duì)地滑動(dòng)。結(jié)果，在本發(fā)明中，與使用印網(wǎng)掩模的常規(guī)絲網(wǎng)印刷設(shè)備相比，通過使電路圖案的厚度增加，形成了具有大的截面形狀縱橫比的電路圖案，從而能夠?qū)崿F(xiàn)所生產(chǎn)的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的增加。本發(fā)明的有益效果根據(jù)本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法，刮板頭在預(yù)定壓力下將膏劑供應(yīng)到金屬掩模的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板以接觸的方式在金屬掩模的上表面上相對(duì)地滑動(dòng)。通過采用該構(gòu)造，根據(jù)本發(fā)明的絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法，提供了如下有益效果與使用印網(wǎng)掩模的常規(guī)絲網(wǎng)印刷設(shè)備相比，通過增加電路圖案的厚度，形成了具有大的截面形狀縱橫比的電路圖案，從而能夠?qū)崿F(xiàn)所生產(chǎn)的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的增加。


圖1是適用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷方法的具有開放型刮板的絲網(wǎng)印刷設(shè)備的正視圖。圖2是適用圖1中的絲網(wǎng)印刷方法的具有盒型(cartridge-type)刮板的絲網(wǎng)印刷設(shè)備的正視圖。圖3是圖1的絲網(wǎng)印刷設(shè)備的側(cè)視圖。圖4是圖1的絲網(wǎng)印刷設(shè)備的平面圖。圖5是適用于圖1的絲網(wǎng)印刷設(shè)備的金屬掩模的平面圖。圖6是圖5的金屬掩模的放大圖。圖7是圖5的金屬掩模的主要部分的放大圖。圖8是沿著圖7中的A-A線剖開的截面圖。圖9是沿著圖7中的B-B線剖開的截面圖。圖10是示出圖5中的金屬掩模的橋部的周邊的外觀的透視圖。圖11是示出根據(jù)圖5的金屬掩模的一變型示例的橋部的周邊的外觀的透視圖。圖12是圖1的絲網(wǎng)印刷設(shè)備的一變型示例的主要部分的平面圖。
圖13是圖5的金屬掩模的一變型示例的平面圖。圖14是圖5的金屬掩模的另一變型示例的平面圖。圖15是圖5的金屬掩模的又一變型示例的平面圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法。適用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷方法的絲網(wǎng)印刷設(shè)備10包括基板11 ；支撐工作臺(tái)12，支撐基板11 ；金屬掩模1 ；刮板頭13，用于將構(gòu)成電路圖案的膏劑P供應(yīng)到金屬掩模1的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板14以接觸的方式在金屬掩模1的上表面上相對(duì)地滑動(dòng)；和清潔機(jī)構(gòu)15，用于清潔金屬掩模1的下表面。如圖1、2、3和4所示，在絲網(wǎng)印刷設(shè)備10中，作為用于定位基板11的定位裝置的支撐工作臺(tái)12由一個(gè)堆疊在另一個(gè)上的Y軸工作臺(tái)16、X軸工作臺(tái)17和θ軸工作臺(tái)18 構(gòu)成。此外，第一 Z軸工作臺(tái)19和第二 Z軸工作臺(tái)20進(jìn)一步堆疊在這些工作臺(tái)上，從而彼此組合地工作。第一 Z軸工作臺(tái)19具有水平的基臺(tái)板21，并且，作為印刷對(duì)象的基板11在兩端部由兩個(gè)運(yùn)送軌23支撐的狀態(tài)下被運(yùn)送，這兩個(gè)運(yùn)送軌23平行于基板運(yùn)送方向(X方向)設(shè)置于基臺(tái)板21上的基板運(yùn)送部22?；暹\(yùn)送部22延伸至上游側(cè)和下游側(cè)，從上游側(cè)送入的基板11由基板運(yùn)送部22運(yùn)送，并進(jìn)一步由支撐工作臺(tái)12定位。已經(jīng)執(zhí)行了所需印刷的基板11通過運(yùn)送軌23送出至下游側(cè)。金屬掩模1伸展以展開于掩模框架2中。刮板頭13設(shè)置在金屬掩模1的上方。刮板頭13是開放型的，并且，刮板升降機(jī)構(gòu)25設(shè)置在水平板M上，用于使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板14 上升或下降。刮板頭13將構(gòu)成電路圖案的膏劑(參見圖10)Ρ在預(yù)定壓力下供應(yīng)到金屬掩模1的表面，并且，當(dāng)刮板升降機(jī)構(gòu)25被驅(qū)動(dòng)時(shí)，刮板14下降以鄰接金屬掩模1的上表面。圖2示出裝備有代替開放型刮板頭13的盒型刮板頭13的絲網(wǎng)印刷設(shè)備10。與在前述的絲網(wǎng)印刷設(shè)備10中一樣，在該印刷設(shè)備10中，刮板頭13也是將構(gòu)成電路圖案的膏劑(參見圖10)Ρ在預(yù)定壓力下供應(yīng)到金屬掩模1的表面。然后，當(dāng)刮板升降機(jī)構(gòu)25被驅(qū)動(dòng)時(shí)，刮板14下降以鄰接金屬掩模1的上表面。盒型刮板頭13在填充性能上優(yōu)于開放型刮板頭13。托架27設(shè)置在垂直框架沈上，導(dǎo)軌28單獨(dú)地設(shè)置在托架27上，從而在Y方向上延伸。以可滑動(dòng)的方式單獨(dú)地安裝在相應(yīng)的導(dǎo)軌觀上的滑塊四連接到板M的相應(yīng)端部， 從而刮板頭13能夠在Y方向上滑動(dòng)。在清潔機(jī)構(gòu)15中，清潔頭單元30與用于捕獲基板11和金屬掩模1的圖像的照相機(jī)頭單元31 —起移動(dòng)。照相機(jī)頭單元31包括用于從上方捕獲基板11的圖像的基板識(shí)別照相機(jī)32和用于從下表面?zhèn)炔东@金屬掩模1的圖像的掩模識(shí)別照相機(jī)33，并且可以在照相機(jī)頭單元30移動(dòng)時(shí)同時(shí)識(shí)別基板11和金屬掩模1。設(shè)置在清潔頭單元30上的是卷繞有未使用過的清潔紙的紙輥34、卷繞有使用過的清潔紙的紙輥35、和在金屬掩模1的下表面上設(shè)定預(yù)定長(zhǎng)度的清潔區(qū)域的清潔管嘴36。 清潔頭單元30被支撐在可滑動(dòng)地裝配到垂直框架沈上的導(dǎo)軌37的頭X軸工作臺(tái)38上， 從而通過頭X軸工作臺(tái)38上的頭X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)39在Y方向上水平地移動(dòng)。
當(dāng)處于等待位置時(shí)，清潔頭單元30退回到支撐工作臺(tái)12的側(cè)方。當(dāng)執(zhí)行清潔操作時(shí)，使清潔頭單元30與照相機(jī)頭單元31 —起前進(jìn)至金屬掩模1下方的位置，此后，使清潔頭單元30上升。然后，在未使用過的清潔紙通過清潔管嘴36壓靠在金屬掩模1的下表面上的狀態(tài)下，使清潔頭單元30水平移動(dòng)，從而執(zhí)行清潔操作。接下來，詳細(xì)描述金屬掩模1。如圖5、6、7、8、9和10所示，金屬掩模1具有例如 0. Imm的厚度尺寸Tl、550mm的寬度尺寸Ll和650mm的長(zhǎng)度尺寸L2。金屬掩模1具有覆蓋部3和多個(gè)矩形的孔4，覆蓋部3設(shè)置在掩?？蚣?的內(nèi)側(cè)，用于覆蓋基板11的表面的一部分，基板11的一部分從孔4露出。金屬掩模1還具有橋部5，橋部5設(shè)置在孔4之間，從而沿著與要形成的電路圖案的縱向方向相交的方向延伸。金屬掩模1具有多個(gè)格柵部6，孔4 和橋部5設(shè)置在格柵部6中，并且格柵部6彼此平行地布置。金屬掩模1還具有帶形狀的匯流條部分7，匯流條部分7與位于格柵部6的縱向端部的末端孔4連續(xù)。例如，設(shè)置了 67個(gè)格柵部6，每個(gè)格柵部6具有0. 08mm的線寬。匯流條部分7每個(gè)具有2mm的寬度尺寸L6，這些匯流條部分7在153mm的寬度尺寸L3內(nèi)、在格柵部6的縱向方向上、設(shè)置在距離格柵部6的左右端39mm的位置，中心部分具有75mm的寬度尺寸L4?？?4具有例如0. 08mm的寬度尺寸L7。橋部5具有例如0. 05mm的寬度尺寸L8和例如0. 02mm 的高度尺寸L9。此外，橋部5在例如具有0. Imm的厚度尺寸Tl的孔4的端部處具有例如 0. 02mm的高度尺寸L9，因此，孔4的下表面相對(duì)于覆蓋部3的下表面形成為凹陷臺(tái)階表面。如在圖11中所示的金屬掩模1的變型示例中所示的，橋部5可以設(shè)置在孔4的厚度方向上的中心部分。在該情況下，橋部5的下表面也相對(duì)于覆蓋部3的下表面形成為凹陷臺(tái)階表面。接下來，描述適用絲網(wǎng)印刷設(shè)備10的太陽能電池的電極形成系統(tǒng)和適用絲網(wǎng)印刷方法的太陽能電池的電極形成方法。在太陽能電池的電極形成方法中，執(zhí)行使用盒型刮板頭的絲網(wǎng)印刷步驟和煅燒(calcining)步驟。在絲網(wǎng)印刷步驟中，當(dāng)基板11由基板運(yùn)送部22送入印刷位置時(shí)，第二 Z軸工作臺(tái) 20被驅(qū)動(dòng)，使得基板11的下表面被從下方支撐。然后，在該狀態(tài)下，支撐工作臺(tái)12使基板 11與金屬掩模1對(duì)準(zhǔn)，并且，使金屬掩模1與金屬掩模1的上表面面接觸。這樣，刮板頭13 相對(duì)于金屬掩模1設(shè)置刮板14，使得刮板14的縱向方向沿著與孔4和橋部5在金屬掩模1 中的布置方向成直角的方向。然后，當(dāng)在膏劑在由刮板14施加的預(yù)定壓力下供應(yīng)在金屬掩模1上的同時(shí)使刮板14相對(duì)于金屬掩模1沿著孔4和橋部5的布置方向在Y方向上滑動(dòng)時(shí)，在基板11與金屬掩模1保持接觸的狀態(tài)下執(zhí)行接觸印刷(on-contact printing)。這樣，隨著刮板14在Y方向上移動(dòng)，膏劑P通過在壓力下被從孔4推入到位于橋部5下方的部分中而充分地填充到包括位于橋部5下方的部分的孔4中。完成印刷的基板11通過運(yùn)送軌23送出，以進(jìn)行下游側(cè)的煅燒步驟。S卩，如圖7所示，刮板頭13相對(duì)于金屬掩模1設(shè)置刮板14，使得刮板14的縱向方向沿著與孔4和橋部5在金屬掩模1中的布置方向成直角的方向。這樣，當(dāng)在膏劑在由刮板14施加的預(yù)定壓力下供應(yīng)在金屬掩模1上的同時(shí)使刮板14相對(duì)于金屬掩模1沿著孔4 和橋部5的布置方向在Y方向上滑動(dòng)時(shí)，在基板11與金屬掩模1保持接觸的狀態(tài)下執(zhí)行接觸印刷。通過用盒型刮板頭13將膏劑P在預(yù)定壓力下供應(yīng)到金屬掩模1的表面，膏劑P在壓力下被從孔4推入位于橋部5下方的部分，由此膏劑P被充分地填充到孔4中，包括位于橋部5下方的部分。接下來是煅燒步驟，在膏劑P形成為預(yù)定形狀而位于基板11的表面上的狀態(tài)下執(zhí)行煅燒。通過以這樣的方式煅燒膏劑P，膏劑P形成為用于太陽能電池的電極。這樣，通過在絲網(wǎng)印刷步驟中使用盒型刮板頭13來形成電極，絲網(wǎng)印刷步驟和煅燒步驟各執(zhí)行一次。 另外，通過在絲網(wǎng)印刷步驟中使用盒型刮板頭13，形成了截面形狀的縱橫比設(shè)定為不小于 1.0的電極。當(dāng)在完成印刷的絲網(wǎng)印刷設(shè)備10中執(zhí)行清潔時(shí)，清潔頭單元30的清潔管嘴36的縱向方向平行于金屬掩模1的匯流條部分7的縱向方向設(shè)置，并清潔金屬掩模1的下表面。這樣，清潔管嘴36的縱向方向設(shè)置成平行于金屬掩模1的匯流條部分7的縱向方向。即，由于匯流條部分7比格柵部6寬，因此匯流條部分7上的殘留膏劑量大于格柵部6 上的殘留膏劑量。為此，通過采取優(yōu)先清潔匯流條部分7而不是清潔格柵部6的管嘴配置， 可以整體上提高金屬掩模1的清潔質(zhì)量。如圖12所示，在絲網(wǎng)印刷設(shè)備10的變型示例中，使用橋部5沿著與形成在孔4之間的電路圖案的縱向方向相交的方向設(shè)置的金屬掩模1。刮板14相對(duì)于金屬掩模1設(shè)置， 使得刮板14的縱向方向沿著以預(yù)定角度θ 1與相對(duì)于孔4和橋部5的布置方向成直角的方向相交的方向，并且刮板14沿著與孔4和橋部5的布置方向成直角的X方向相對(duì)地移動(dòng)。 通過使刮板14從以預(yù)定角度θ 1與相對(duì)于孔4和橋部5的布置方向成直角的方向相交的方向移動(dòng)，膏劑P在壓力下被從孔4斜向下地推向位于橋部5下方的部分，由此膏劑P被充分地填充到包括位于橋部5下方的部分的孔4中。如圖13所示，金屬掩模1的變型示例具有孔4，每個(gè)孔4具有平行四邊形的形狀， 并沿著要形成的電路圖案的縱向方向布置。因此，橋部5相對(duì)于與要形成的電路圖案的縱向方向成直角的方向傾斜地布置。在該變型示例中，刮板14相對(duì)于金屬掩模1設(shè)置成使得刮板14的縱向方向沿著與金屬掩模1的孔4和橋部5的布置方向成直角的方向。這樣，刮板14相對(duì)于金屬掩模1沿著與孔4和橋部5的布置方向成直角的X方向移動(dòng)。通過采取該構(gòu)造，膏劑P在壓力下被從相對(duì)于刮板14的行進(jìn)方向傾斜設(shè)置的橋部5的銳角部分推向位于橋部5下方的部分，由此膏劑P充分地填充到包括位于橋部5下方的部分的孔4中。此外，刮板14可以相對(duì)于金屬掩模1在沿著孔4和橋部5的布置方向的Y方向上移動(dòng)。如圖14所示，金屬掩模1的另一變型示例具有孔4，每個(gè)孔4具有等腰梯形的形狀，并沿著要形成的電路圖案的縱向方向布置，使得梯形孔4的上底以交替的方式跟隨相鄰梯形孔的下底或者梯形孔4的下底跟隨相鄰梯形孔的上底。因此，橋部5相對(duì)于與要形成的電路圖案的縱向方向成直角的方向傾斜地設(shè)置。在該變型示例中，刮板14相對(duì)于金屬掩模1設(shè)置，使得刮板14的縱向方向沿著與金屬掩模1的孔4和橋部5的布置方向成直角的方向。這樣，刮板14相對(duì)于金屬掩模1沿著孔4和橋部5的布置方向移動(dòng)。通過采用該構(gòu)造，膏劑P在壓力下被從相對(duì)于刮板14的行進(jìn)方向傾斜設(shè)置的橋部5的銳角部分推向位于橋部5下方的部分，由此膏劑P充分地填充到包括位于橋部5下方的部分的孔4中。此外，刮板14可以相對(duì)于金屬掩模1在沿著孔4和橋部5的布置方向的Y方向上移動(dòng)。如圖15所示，金屬掩模1的又一變型示例沿著要形成的電路圖案的縱向方向具有正方形的孔4。在該變型示例中，刮板14相對(duì)于金屬掩模1設(shè)置，使得刮板14的縱向方向
7沿著以預(yù)定角度與相對(duì)于金屬掩模1的孔4和橋部5的布置方向成直角的方向相交的方向。這樣，刮板14沿著與金屬掩模1的孔4和橋部5的布置方向成直角的X方向相對(duì)地移動(dòng)。通過采用該構(gòu)造，隨著刮板14在X方向上移動(dòng)，膏劑P在壓力下被從孔4推入位于橋部5下方的部分中，由此膏劑P充分地填充到包括位于橋部5下方的部分的孔4中。因此，正如上面已經(jīng)描述的，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷設(shè)備10，刮板頭13在預(yù)定壓力下將膏劑供應(yīng)到金屬掩模1的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板14以接觸的方式在金屬掩模1的上表面上滑動(dòng)。結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷設(shè)備10，與使用印網(wǎng)掩模的常規(guī)絲網(wǎng)印刷設(shè)備相比，通過在絲網(wǎng)印刷步驟中使用盒型刮板頭13，形成的電路圖案的厚度增加，使得形成的電路圖案可以具有大的截面形狀縱橫比，從而實(shí)現(xiàn)所生產(chǎn)的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的增加。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷設(shè)備10，橋部5的下表面形成為凹陷臺(tái)階表面，因此膏劑通過孔4填充在基板11與橋部5之間，從而能夠形成帶形狀的電路圖案。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷方法，刮板頭13在預(yù)定壓力下將膏劑供應(yīng)到金屬掩模1的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板14以接觸的方式在金屬掩模1的上表面上滑動(dòng)。結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的絲網(wǎng)印刷方法，與使用印網(wǎng)掩模的常規(guī)絲網(wǎng)印刷方法相比，通過在絲網(wǎng)印刷步驟中使用盒型刮板頭13，所形成的電路圖案的厚度增加，使得所形成的電路圖案可以具有大的截面形狀縱橫比，從而實(shí)現(xiàn)所生產(chǎn)的太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率的增加。(示例)接下來，描述為了證實(shí)適于根據(jù)本發(fā)明的太陽能電池的電極形成系統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷設(shè)備10和絲網(wǎng)印刷方法的功能和優(yōu)點(diǎn)而做出的示例。在該示例中，為形成用于太陽能電池的電極，準(zhǔn)備了比較例1和比較例2。在比較例1中，使用了具有50 %或更低的篩網(wǎng)眼(mesh aperture)的印網(wǎng)掩模，并使用開放型刮板頭來執(zhí)行間隙印刷或非接觸印刷，并且在比較例 2中，使用了具有50%或更低的篩網(wǎng)眼的印網(wǎng)掩模，并使用盒型刮板頭來執(zhí)行接觸印刷。然后，測(cè)量基于所形成的電極的高度尺寸和寬度尺寸的截面區(qū)域的縱橫比。測(cè)量結(jié)果顯示，比較例1的縱橫比為0. 3或更小，比較例2的縱橫比為0. 7或更小。 與這些比較例的縱橫比不同，本發(fā)明的縱橫比為1. 0或更大。這是因?yàn)?，相?duì)于金屬掩模1 設(shè)置成使得縱向方向沿著與金屬掩模1的孔4和橋部5的布置方向成直角的方向的盒型刮板頭13的刮板14相對(duì)于金屬掩模1沿著孔4和橋部5的布置方向移動(dòng)。這甚至使能夠采用具有90 %或更大的篩網(wǎng)眼的金屬掩模1。本發(fā)明不限于上述實(shí)施例中所用的支撐工作臺(tái)12、刮板14和清潔機(jī)構(gòu)15，因此這些構(gòu)成元件可以按照需要進(jìn)行改變。本專利申請(qǐng)基于2010年3月M日提交的日本專利申請(qǐng)(No. 2010-0682M)，這里將其內(nèi)容引入作為參考。1 金屬掩模3 覆蓋部4 孔5 橋部
10絲網(wǎng)印刷設(shè)備
11基板
12支撐工作臺(tái)
13刮板頭
14刮板
P膏劑
權(quán)利要求
1.一種絲網(wǎng)印刷設(shè)備，用于在基板的表面上形成帶形狀的電路圖案，包括支撐工作臺(tái)，用于支撐基板；金屬掩模，具有覆蓋部，用于覆蓋基板的表面的一部分；多個(gè)孔，基板的一部分從所述多個(gè)孔露出；和橋部，沿著與電路圖案的縱向方向相交的方向單獨(dú)地設(shè)置在孔之間；以及盒型刮板頭，用于在預(yù)定壓力下將要成為電路圖案的膏劑供應(yīng)到金屬掩模的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板以接觸的方式在金屬掩模的上表面上相對(duì)地滑動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1的絲網(wǎng)印刷設(shè)備，其中，橋部的下表面相對(duì)于覆蓋部的下表面構(gòu)成凹陷臺(tái)階表面。
3.—種絲網(wǎng)印刷方法，用于在基板的表面上形成帶形狀的電路圖案，該絲網(wǎng)印刷方法包括如下步驟使基板被支撐在支撐工作臺(tái)上；將金屬掩模置于基板的表面上，該金屬掩模具有覆蓋部，用于覆蓋基板的表面的一部分；多個(gè)孔，基板的一部分從所述多個(gè)孔露出；和橋部，沿著與電路圖案的縱向方向相交的方向單獨(dú)地設(shè)置在孔之間；并且然后，用盒型刮板頭在預(yù)定壓力下將要成為電路圖案的膏劑供應(yīng)到金屬掩模的表面，同時(shí)使預(yù)定長(zhǎng)度的刮板以接觸的方式在金屬掩模的上表面上相對(duì)地滑動(dòng)。
全文摘要
提供了絲網(wǎng)印刷設(shè)備和絲網(wǎng)印刷方法，其中，使膜更厚，并形成了具有大縱橫比的橫截面形狀的電路圖案，從而增加轉(zhuǎn)換效率。為了在基材(11)的表面上形成帶狀的電路圖案，絲網(wǎng)印刷設(shè)備(10)和絲網(wǎng)印刷方法設(shè)置有支撐工作臺(tái)(12)，用于支撐基材(11)；覆蓋部，覆蓋基材(11)的表面的一部分；多個(gè)孔，基材(11)的一部分從所述多個(gè)孔露出；金屬掩模(1)，包括沿著與電路圖案的縱向方向相交的方向設(shè)置在孔之間的橋部；和盒型刮板頭(13)，用于在預(yù)定壓力下將用于電路圖案的膏劑供應(yīng)到金屬掩模(1)的表面上，同時(shí)使具有預(yù)定長(zhǎng)度的刮板(14)在金屬掩模(1)的上表面上滑動(dòng)接觸。
文檔編號(hào)H05K3/12GK102421602SQ201180002013
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月24日
發(fā)明者大武裕治, 田中哲矢 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社