專利名稱:一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及到一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置。
背景技術(shù):
晶體在我們?nèi)粘I钪械膽?yīng)用越來越廣泛,而且大多數(shù)晶體都是人工合成的?,F(xiàn)有晶體的制作方法大都采用提拉法,為了確保晶體的質(zhì)量,需要控制晶體在生長(zhǎng)過程中的各種條件,而調(diào)控晶體生長(zhǎng)條件的前提就是通過檢查晶體在生長(zhǎng)過程中重量的變化來判斷 是否需要改變晶體生長(zhǎng)條件。原有方法都是通過人工觀察晶體的直徑變化來判斷晶體的生長(zhǎng)情況,由于提拉法中的晶體是需要旋轉(zhuǎn)并同時(shí)上下移動(dòng)的,這就對(duì)檢測(cè)人員的眼力要求很高,但是在晶體上下移動(dòng)并旋轉(zhuǎn)的情況下,檢測(cè)人員還是很難判斷晶體的直徑變化,很容易是檢測(cè)人員發(fā)生眩暈。這樣生產(chǎn)出來的晶體就很難保證其質(zhì)量。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種自動(dòng)監(jiān)測(cè)晶體質(zhì)量變化且在提升軸卡住的情況下不會(huì)損壞的用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置。為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,包括支架和設(shè)置在支架內(nèi)的提升軸、支架內(nèi)頂端設(shè)置有稱重傳感器,所述稱重傳感器的下端固定設(shè)置有基座,基座內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有從動(dòng)吊裝裝置,從動(dòng)吊裝裝置的上端位于基座內(nèi),其下端伸出基座,提升軸的上端設(shè)置在從動(dòng)吊裝裝置下端內(nèi),提升軸上套設(shè)有傳動(dòng)套,且傳動(dòng)套的上端位于從動(dòng)吊裝裝置下端外側(cè),且傳動(dòng)套的上端與從動(dòng)吊裝裝置的下端之間通過彈性裝置固定連接,傳動(dòng)套的下端從支架中穿出并于位于支架外部的驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)套轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置相連,提升軸位于從動(dòng)吊裝裝置內(nèi)的外表面部位沿提升軸軸向設(shè)置有槽,槽內(nèi)設(shè)置有圓球,從動(dòng)吊裝裝置內(nèi)埋設(shè)有彈簧,該彈簧將圓球抵在槽內(nèi),提升軸的下端也從支架內(nèi)穿出。所述彈性裝置為環(huán)形墊片。所述環(huán)形墊片上沿其圓周方向上開設(shè)有若干個(gè)大致呈Y形的孔,該孔的三段均呈弧形,且均與環(huán)形墊片同心,遠(yuǎn)離圓心的孔的弧形段的弧度大于靠近圓心的孔的弧形段的弧度且該兩弧形段之間半圓形過度。所述環(huán)形墊片上沿其圓周方向上開設(shè)有三個(gè)大致呈Y形的孔。所述槽為腰形槽。所述從動(dòng)吊裝裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置基座內(nèi)的短軸和與短軸相連的短套,短套位于基座下側(cè)。本實(shí)用新型的有益效果是上述結(jié)構(gòu)的晶體生產(chǎn)控制裝置可自動(dòng)監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)時(shí)的質(zhì)量變化,而且晶體的旋轉(zhuǎn)和上下移動(dòng)不會(huì)影響其監(jiān)測(cè)效果,同時(shí)提升軸的轉(zhuǎn)動(dòng)通過圓球的推動(dòng)來實(shí)現(xiàn),當(dāng)提升軸卡住時(shí),圓球被強(qiáng)行從提升軸的槽中擠出,使提升軸失去驅(qū)動(dòng)力,避免提升軸強(qiáng)行轉(zhuǎn)動(dòng)而造成裝置損壞。
圖I是本實(shí)用新型一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是圖I中環(huán)形墊片的結(jié)構(gòu)圖;圖3是圖I中A處放大圖。圖中1、支架,2、提升軸,3、稱重傳感器,4、基座,5、短軸,6、短套,7、傳動(dòng)套,8、環(huán)形墊片,9、孔,10、腰形槽,11、圓球,12、彈簧。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖,詳細(xì)描述本實(shí)用新型的具體實(shí)施方案。如圖I所示,本實(shí)用新型所述的一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,包括支架I和設(shè)置在支架I內(nèi)的提升軸2、支架I內(nèi)頂端設(shè)置有稱重傳感器3,所述稱重傳感器3的下端固定設(shè)置有基座4,基座4內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有從動(dòng)吊裝裝置。從動(dòng)吊裝裝置包括通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置基座4內(nèi)的短軸5和與短軸相連的短套6,短套6位于基座4下端。在實(shí)際生產(chǎn)時(shí),短軸5也可跟短套6 —體成型。提升軸2的上端設(shè)置在通過軸承設(shè)置短套6內(nèi)。提升軸2上套設(shè)有傳動(dòng)套7,且傳動(dòng)套7的上端位于短套6外側(cè),且傳動(dòng)套7的上端與短套6之間通過彈性裝置固定相連。因?yàn)楸緦?shí)用新型用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置在安裝時(shí),傳動(dòng)套7和短套6在垂直方向上有微小的偏移,且安裝尺寸固定,所以傳動(dòng)套7的上端與短套6之間通過彈性裝置相連可抵消偏移帶來的影響。如圖2所示,彈性裝置可以為環(huán)形墊片8。環(huán)形墊片8的內(nèi)邊緣與短套6的外壁固定連接,環(huán)形墊片8的外邊緣與傳動(dòng)套7的內(nèi)壁固定連接。所述環(huán)形墊片8上沿其圓周方向上開設(shè)有若干個(gè)大致呈Y形的孔9,該孔9的三段均呈弧形,且均與環(huán)形墊片8同心,遠(yuǎn)離圓心的孔9的弧形段的弧度大于靠近圓心的孔9的弧形段的弧度且該兩弧形段之間半圓形過度。在實(shí)際生產(chǎn)時(shí),孔9的數(shù)量可根據(jù)實(shí)際要求設(shè)定。傳動(dòng)套7的下端從支架I中穿出并于位于支架I外部的可驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)套7轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置(因現(xiàn)有技術(shù),圖中未示出)相連。如圖3所示,所述提升軸2位于短套6的外表面部位沿提升軸
2軸向設(shè)置有腰形槽10,腰形槽10內(nèi)設(shè)置有圓球11,短套6設(shè)置有彈簧12,該彈簧12的一端將圓球11抵在腰形槽10內(nèi),提升軸2的下端也從支架I內(nèi)穿出。本實(shí)用新型的工作過程是因?yàn)樵谔崂ê托D(zhuǎn)法中,晶體在結(jié)晶的過程中需要旋轉(zhuǎn)并上下移動(dòng),所以利用驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)套7轉(zhuǎn)動(dòng),傳動(dòng)套7通過環(huán)形墊片8帶動(dòng)短套6轉(zhuǎn)動(dòng),短套6再帶動(dòng)短軸5在基座4內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng),稱重傳感器3在測(cè)量晶體重量時(shí)不受短軸5的轉(zhuǎn)動(dòng)影響。同時(shí),短套6還通過被彈簧12抵住的圓球11帶動(dòng)提升軸2轉(zhuǎn)動(dòng),隨著提升軸2的轉(zhuǎn)動(dòng),掛在提升軸2下端的晶體也開始轉(zhuǎn)動(dòng)。晶體的上下移動(dòng)則通過上下移動(dòng)用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置和驅(qū)動(dòng)裝置來實(shí)現(xiàn)。上述工作過程中,稱重傳感器3不受影響,能很好的監(jiān)測(cè)晶體的重量變化,從而給結(jié)晶條件提供一個(gè)很好的參考。如果在操作過程中,提升軸2的下端的晶體因碰到坩堝而轉(zhuǎn)動(dòng)受阻時(shí),可強(qiáng)行將圓球11從腰形槽8中擠出,避免提升軸2被傳動(dòng)套7強(qiáng)行帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)而造成晶體破壞或整個(gè)裝置受損。
權(quán)利要求1.一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,包括支架和設(shè)置在支架內(nèi)的提升軸、支架內(nèi)頂端設(shè)置有稱重傳感器,其特征在于所述稱重傳感器的下端固定設(shè)置有基座,基座內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有從動(dòng)吊裝裝置,從動(dòng)吊裝裝置的上端位于基座內(nèi),其下端伸出基座,提升軸的上端設(shè)置在從動(dòng)吊裝裝置下端內(nèi),提升軸上套設(shè)有傳動(dòng)套,且傳動(dòng)套的上端位于從動(dòng)吊裝裝置下端外側(cè),且傳動(dòng)套的上端與從動(dòng)吊裝裝置的下端之間通過彈性裝置固定連接,傳動(dòng)套的下端從支架中穿出并于位于支架外部的驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)套轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置相連,提升軸位于從動(dòng)吊裝裝置內(nèi)的外表面部位沿提升軸軸向設(shè)置有槽,槽內(nèi)設(shè)置有圓球,從動(dòng)吊裝裝置內(nèi)埋設(shè)有彈簧,該彈簧將圓球抵在槽內(nèi),提升軸的下端也從支架內(nèi)穿出。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,其特征在于所述彈性裝置為環(huán)形墊片。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,其特征在于所述環(huán)形墊片上沿其圓周方向上開設(shè)有若干個(gè)大致呈Y形的孔,該孔的三段均呈弧形,且均與環(huán)形墊片同心,遠(yuǎn)離圓心的孔的弧形段的弧度大于靠近圓心的孔的弧形段的弧度且該兩弧形段之間半圓形過度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,其特征在于所述環(huán)形墊片上沿其圓周方向上開設(shè)有三個(gè)大致呈Y形的孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,其特征在于所述槽為腰形槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2或3或4或5所述的一種用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,其特征在于所述從動(dòng)吊裝裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置基座內(nèi)的短軸和與短軸相連的短套,短套位于基座下側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種自動(dòng)監(jiān)測(cè)晶體質(zhì)量變化且在提升軸卡住的情況下不會(huì)損壞的用于監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)的裝置,包括支架和提升軸、支架內(nèi)頂端設(shè)置有稱重傳感器,稱重傳感器的下端固定設(shè)置有基座,基座內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有從動(dòng)吊裝裝置,從動(dòng)吊裝裝置的上端位于基座內(nèi),其下端伸出基座,提升軸的上端設(shè)置在從動(dòng)吊裝裝置下端內(nèi),提升軸上套設(shè)有傳動(dòng)套,且傳動(dòng)套的上端位于從動(dòng)吊裝裝置下端外側(cè),且傳動(dòng)套的上端與從動(dòng)吊裝裝置的下端之間通過彈性裝置固定連接,傳動(dòng)套的下端從支架中穿出并于位于支架外部的驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)套轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置相連,提升軸位于從動(dòng)吊裝裝置內(nèi)的外表面部位沿提升軸軸向設(shè)置有槽,槽內(nèi)設(shè)置有圓球,從動(dòng)吊裝裝置內(nèi)埋設(shè)有彈簧,該彈簧將圓球抵在槽內(nèi)。
文檔編號(hào)C30B15/28GK202380130SQ20112055623
公開日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者伊戈?duì)枎?kù)茲涅佐夫, 伊戈?duì)柨聽柨? 劉春艷, 畢成, 胡春霞, 馬克菲列格勒 申請(qǐng)人:蘇州優(yōu)晶光電科技有限公司