專利名稱：直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐。
背景技術(shù)：
直拉法單晶硅拉制的過程中一般是一堝料一爐，由于多晶硅料加入爐內(nèi)時是固體狀態(tài)，堆疊在爐內(nèi)存在很多空隙，而當(dāng)加熱后硅料熔化成液體，固液體的密度不一樣，液體狀態(tài)的硅料只有固體狀態(tài)體積的一半，待料化完后石英坩堝尚有大量空間未用，使產(chǎn)量減少，增加了生產(chǎn)成本。由于是一堝料一爐，若要往石英坩堝內(nèi)再加入硅料增加產(chǎn)量，就需要重新拆爐、裝爐，工人工作強度大，且具有一定危險，在這過程中有大量熱量流失，不利于節(jié)能降耗目標(biāo)的實現(xiàn)。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實用新型提供一種直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，易于實現(xiàn)坩堝的二次投料，提高坩堝的使用率。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，包括單晶爐體，單晶爐體包括爐筒和與爐筒相配的爐蓋，爐筒內(nèi)具有坩堝，坩堝內(nèi)放置原料，還具有投料裝置，所述的投料裝置包括投料桶和升降投料桶的升降裝置，爐蓋上部與坩堝相對應(yīng)的位置開有供投料桶進(jìn)出的加料口和相應(yīng)的密封蓋。所述的投料桶的底部具有卸料口和相應(yīng)的卸料板，所述的卸料板上連接連桿并通過連桿的上下運動實現(xiàn)關(guān)閉和開啟，所述的投料桶的上邊沿具有使投料桶支撐在加料口上的支撐架。為便于開合，卸料板的第一個實施例，所述的卸料板呈錐形，錐形卸料板的錐尖部位固定連接連桿。卸料板的第二個實施例，所述的卸料板呈平板形，平板形卸料板的中部固定連接連桿。卸料板的第三個實施例，所述的卸料板呈平板形，平板形卸料板的一端與卸料口鉸接，卸料板中部與連桿鉸接。所述的升降裝置包括重錘和連接重錘的連接繩，重錘的下端與連桿連接。本實用新型的有益效果是，本實用新型的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，一爐中可以裝更多的料，提高石英坩堝的利用率，同時節(jié)約了時間，提高了產(chǎn)能，節(jié)能降耗，降低成本。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實用新型的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐最佳實施例的剖視圖；圖2是本實用新型中所述投料裝置的第一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型中所述投料裝置的第二個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實用新型中所述投料裝置的第三個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖4的局部放大圖。圖中1.爐筒，2.爐蓋，21.加料口，3.坩堝，4.投料桶，41.卸料口，42.卸料板， 43.連桿，44.支撐架，5.升降裝置，51.重錘，52.連接繩。
具體實施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。圖1是本實用新型的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐的最佳實施例，包括單晶爐體，單晶爐體包括爐筒1和與爐筒1相配的爐蓋2，爐筒2內(nèi)具有坩堝3， 坩堝3內(nèi)放置原料，還具有投料裝置，投料裝置包括投料桶4和升降投料桶4的升降裝置5， 爐蓋2上部與坩堝3相對應(yīng)的位置開有供投料桶4進(jìn)出的加料口 21和相應(yīng)的密封蓋。投料桶4的底部具有卸料口 41和相應(yīng)的卸料板42，卸料板42上連接連桿43并通過連桿43的上下運動實現(xiàn)關(guān)閉和開啟，投料桶4的上邊沿具有使投料桶4支撐在加料口 21上的支撐架44。圖2是卸料板42的第一個實施例，卸料板42呈錐形，錐形卸料板42的錐尖部位固定連接連桿43。圖3是卸料板42的第二個實施例，卸料板42呈平板形，平板形卸料板42的中部固定連接連桿43。圖4圖5是卸料板42的第三個實施例，卸料板42呈平板形，平板形卸料板42的一端與卸料口 41鉸接，卸料板42中部與連桿43鉸接。升降裝置5包括重錘51和連接重錘51的連接繩52，重錘51的下端與連桿43連接。單晶爐體中裝完原料，抽真空后充入氬氣，加熱，待原料將要化完時，開啟爐蓋2 上部的密封蓋，通過升降裝置5將添加有原料的投料桶4提升至爐蓋2上部的加料口 21位置，將投料桶4降至爐筒1內(nèi)坩堝3的上方，通過連桿43使投料桶4底部的卸料板42開啟，使原料緩緩落入坩堝3中，待原料加完后提出投料裝置，蓋好密封蓋，繼續(xù)加熱，待原料完全熔化后，穩(wěn)定溫度，待結(jié)晶。
權(quán)利要求1.一種直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，包括單晶爐體，單晶爐體包括爐筒⑴和與爐筒⑴相配的爐蓋O)，爐筒⑴內(nèi)具有坩堝(3)，坩堝(3)內(nèi)放置原料， 其特征在于還具有投料裝置，所述的投料裝置包括投料桶(4)和升降投料桶(4)的升降裝置(5)，爐蓋(2)上部與坩堝(3)相對應(yīng)的位置開有供投料桶(4)進(jìn)出的加料口和相應(yīng)的密封蓋。
2.如權(quán)利要求1所述的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，其特征是 所述的投料桶的底部具有卸料口 Gl)和相應(yīng)的卸料板(42)，所述的卸料板02)上連接連桿G3)并通過連桿03)的上下運動實現(xiàn)關(guān)閉和開啟，所述的投料桶的上邊沿具有使投料桶(4)支撐在加料口上的支撐架G4)。
3.如權(quán)利要求2所述的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，其特征是 所述的卸料板0 呈錐形，錐形卸料板0 的錐尖部位固定連接連桿G3)。
4.如權(quán)利要求2所述的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，其特征是 所述的卸料板0 呈平板形，平板形卸料板0 的中部固定連接連桿G3)。
5.如權(quán)利要求2所述的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，其特征是 所述的卸料板G2)呈平板形，平板形卸料板G2)的一端與卸料口 Gl)鉸接，卸料板G2) 中部與連桿G3)鉸接。
6.如權(quán)利要求2所述的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，其特征是 所述的升降裝置( 包括重錘(51)和連接重錘(51)的連接繩(52)，重錘(51)的下端與連桿(43)連接。
專利摘要本實用新型涉及一種直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，包括單晶爐體，單晶爐體包括爐筒和與爐筒相配的爐蓋，爐筒內(nèi)具有坩堝，坩堝內(nèi)放置原料，還具有投料裝置，所述的投料裝置包括投料桶和升降投料桶的升降裝置，爐蓋上部與坩堝相對應(yīng)的位置開有供投料桶進(jìn)出的加料口和相應(yīng)的密封蓋。本實用新型的直拉法單晶硅制備中具有二次投料裝置的單晶爐，結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，一爐中可以裝更多的料，提高石英坩堝的利用率，同時節(jié)約了時間，提高了產(chǎn)能，節(jié)能降耗，降低成本。
文檔編號C30B29/06GK202148365SQ20112027032
公開日2012年2月22日 申請日期2011年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月28日
發(fā)明者戴建俊, 王如軍, 高俊 申請人:江蘇兆晶光電科技發(fā)展有限公司