專利名稱：電子部件安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電子部件安裝裝置，其利用吸附嘴吸附電子部件并使其移動(dòng)，搭載至基板上。
背景技術(shù)：
作為將電子部件搭載(安裝)至基板上的裝置，已有下述裝置，其具有搭載頭，該搭載頭具有多個(gè)吸附嘴，利用該吸附嘴吸附電子部件并搭載至基板上。搭載頭通過(guò)使吸附嘴在與基板的表面正交的方向上移動(dòng)，從而將吸附的電子部件搭載至基板上。在這里，作為使吸附嘴移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，存在各種機(jī)構(gòu)。例如，在專利文獻(xiàn)1中記載一種機(jī)構(gòu)，其利用氣缸使吸附電子部件的吸附嘴(吸附嘴)上下移動(dòng)。另外，在專利文獻(xiàn)2中記載下述機(jī)構(gòu)，即，通過(guò)利用上下滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)使曲柄轉(zhuǎn)動(dòng)，而使多個(gè)吸附嘴上下移動(dòng)，并且使用電磁體作為切換各吸附嘴上下移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。專利文獻(xiàn)1 日本特公平7-120873號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特許第3114469號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
在這里，通過(guò)在搭載頭上設(shè)置多個(gè)吸附嘴，可以高效地安裝電子部件。但是，如果搭載頭的吸附嘴數(shù)量增多，則搭載頭的重量增加，驅(qū)動(dòng)搭載頭所需的能量增加。另外，裝置結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。另外，專利文獻(xiàn)1中所述的裝置，由于成為利用氣缸加壓的狀態(tài)，因此驅(qū)動(dòng)吸附嘴所需的力變大，驅(qū)動(dòng)吸附嘴的電動(dòng)機(jī)必須是功率大的電動(dòng)機(jī)。另外，由于對(duì)各吸附嘴設(shè)置氣缸，因此搭載頭的重量增加，裝置成本也增加。另外，通過(guò)使凸緣和滑塊接觸進(jìn)行定位，但如果接觸部分均為金屬，則由于磨損而產(chǎn)生的消耗及驅(qū)動(dòng)時(shí)的噪音變大，如果其中一個(gè)為橡膠或樹脂，則定位精度容易下降。另外，專利文獻(xiàn)2中所述的裝置，由于利用曲柄機(jī)構(gòu)進(jìn)行上下移動(dòng)，因此難以將上下方向的移動(dòng)量變大。另外，為了將上下方向的移動(dòng)量變大，必須將曲柄機(jī)構(gòu)增大，而使裝置大型化。另外，由于利用使曲柄轉(zhuǎn)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)的作用力使所有的吸附嘴上下移動(dòng)，因此電動(dòng)機(jī)的容量容易增大。另外，由于利用電磁體切換上下移動(dòng)，因此重量變大，配線增多。并且，由于利用電磁體保持吸附嘴，因此驅(qū)動(dòng)時(shí)需要的電力增多，消耗的能量增多。本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種電子部件安裝裝置，其可以高效、高精度地搭載電子部件，并且可以使消耗的能量進(jìn)一步減少。為了解決上述問(wèn)題而實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種電子部件安裝裝置，其將由吸附嘴吸附的電子部件搭載至基板上，其特征在于，其具有搭載頭、和控制前述搭載頭的動(dòng)作的控制部，該搭載頭包括第1吸附部，其具有吸附前述電子部件的前述吸附嘴；第2吸附部，其具有吸附前述電子部件的前述吸附嘴，并且該吸附嘴與前述第1吸附部的前述吸附嘴朝向相同的方向；以及Z軸驅(qū)動(dòng)部，其具有與前述第1吸附部和前述第2吸附部連結(jié)的連結(jié)機(jī)構(gòu)，及通過(guò)使前述連結(jié)機(jī)構(gòu)移動(dòng)而使前述第1吸附部和前述第2吸附部在與前述基板的表面正交的方向上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，前述連結(jié)機(jī)構(gòu)利用前述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而移動(dòng)，從而使前述第1吸附部和前述第2吸附部彼此向相反的方向移動(dòng)。在這里，優(yōu)選前述連結(jié)機(jī)構(gòu)具有傳動(dòng)帶；至少2個(gè)滾輪，它們?cè)谂c前述基板的表面正交的方向上配置于彼此分離的位置處，并且張緊架設(shè)前述傳動(dòng)帶；第1支撐部，其固定在前述傳動(dòng)帶的與前述基板的表面正交的兩個(gè)表面中的一個(gè)表面上，與前述第1吸附部連結(jié)；以及第2支撐部，其固定在前述傳動(dòng)帶的與前述基板的表面正交的兩個(gè)表面中的另一個(gè)表面上，與前述第2吸附部連結(jié)，前述傳動(dòng)帶利用前述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而移動(dòng)，從而使前述第1 吸附部和前述第2吸附部彼此向相反的方向移動(dòng)。并且，優(yōu)選前述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是直線電動(dòng)機(jī)，其與前述連結(jié)機(jī)構(gòu)連接，使與前述連結(jié)機(jī)構(gòu)連接的部分在與前述基板的表面正交的方向上移動(dòng)。另外，優(yōu)選還具有與前述第1吸附部連結(jié)而配置的距離傳感器，前述控制部基于由前述距離傳感器檢測(cè)出的距離，計(jì)算前述第1吸附部和前述基板之間的距離、及前述第2 吸附部和前述基板之間的距離。另外，優(yōu)選前述搭載頭具有多個(gè)吸附單元，該吸附單元包含前述第1吸附部、前述第2吸附部及前述Z軸驅(qū)動(dòng)部。另外，優(yōu)選前述搭載頭的多個(gè)前述吸附單元相鄰而以列狀配置，多個(gè)前述吸附單元各自的前述第1吸附部彼此相鄰地配置，并且各自的前述第2吸附部彼此相鄰地配置。另外，優(yōu)選前述搭載頭還具有第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部，其使以列狀配置的前述多個(gè)吸附單元中的奇數(shù)序號(hào)的前述吸附單元的前述第1吸附部的前述吸附嘴，以與前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部，其使以列狀配置的前述多個(gè)吸附單元中偶數(shù)序號(hào)的前述吸附單元的前述第1吸附部的前述吸附嘴，以與前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部，其使以列狀配置的前述多個(gè)吸附單元中奇數(shù)序號(hào)的前述吸附單元的前述第2吸附部的前述吸附嘴，以與前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；以及第4θ軸驅(qū)動(dòng)部，其使以列狀配置的前述多個(gè)吸附單元中偶數(shù)序號(hào)的前述吸附單元的前述第2吸附部的前述吸附嘴，以與前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，優(yōu)選前述控制部控制前述搭載頭，在將利用前述第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部或前述第 3 θ軸驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的前述吸附嘴所吸附的前述電子部件搭載至前述基板上的情況下， 之后將利用前述第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部或前述第4θ軸驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的前述吸附嘴所吸附的前述電子部件搭載至前述基板上，在將利用前述第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部或前述第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的前述吸附嘴所吸附的前述電子部件搭載至前述基板上的情況下，之后將利用前述第 1Θ軸驅(qū)動(dòng)部或前述第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的前述吸附嘴所吸附的前述電子部件搭載至前述基板上。另外，優(yōu)選前述控制部控制前述搭載頭，在將由前述吸附單元的前述吸附嘴吸附的前述電子部件搭載至前述基板上的情況下，之后將由其他的前述吸附單元的前述吸附嘴吸附的前述電子部件搭載至前述基板上。發(fā)明的效果
本發(fā)明涉及的電子部件安裝裝置，可以高效、高精度地搭載電子部件，并且，獲得可以進(jìn)一步減少能量消耗的效果。


圖1是表示電子部件安裝裝置的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。圖2是表示電子部件安裝裝置的搭載頭的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。圖3是表示搭載頭的吸附單元的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖4是表示θ軸轉(zhuǎn)動(dòng)單元的概略結(jié)構(gòu)的局部剖面圖。圖5是表示θ軸轉(zhuǎn)動(dòng)單元的傳遞機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。圖6是表示電子部件安裝裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖7是用于說(shuō)明搭載頭的吸附單元的動(dòng)作的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此外，本發(fā)明并不由下述的用于實(shí)施發(fā)明的方式(下面稱為實(shí)施方式)限定。另外，在下述實(shí)施方式中的構(gòu)成要素中，包含本領(lǐng)域技術(shù)人員可以容易地設(shè)想的要素、本質(zhì)上相同的要素、所謂同等范圍內(nèi)的要素。并且，下述實(shí)施方式公開的構(gòu)成要素可以適當(dāng)組合。下面，基于附圖對(duì)本發(fā)明涉及的電子部件安裝裝置的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。此夕卜，該發(fā)明并不限定于利用該實(shí)施方式。圖1是表示電子部件安裝裝置的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖。圖1所示的電子部件安裝裝置10，是將電子部件搭載(安裝)至基板8上的裝置。 電子部件安裝裝置10具有基板輸送部12、部件供給裝置14、搭載頭15、XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16及部件識(shí)別用照相機(jī)18。此外，基板8只要是可以搭載電子部件的部件即可，其結(jié)構(gòu)并不特別限定。本實(shí)施方式的基板8是板狀部件，在表面上設(shè)置配線圖案。在設(shè)置于基板8上的配線圖案的表面上附著焊接材料(焊錫等)，其通過(guò)回流焊而將板狀部件的配線圖案和電子部件接合?；遢斔筒?2是在圖中X方向上輸送基板8的輸送機(jī)構(gòu)。基板輸送部12具有 導(dǎo)軌，其在X方向上延伸；以及輸送機(jī)構(gòu)，其支撐基板8，使基板8沿導(dǎo)軌移動(dòng)?；遢斔筒?12，以基板8的面積較大的面(表面)與搭載頭15相對(duì)的朝向，利用輸送機(jī)構(gòu)使基板8沿導(dǎo)軌移動(dòng)，從而將基板8在X方向上進(jìn)行輸送?；遢斔筒?2將從向電子部件安裝裝置 10供給基板8的設(shè)備供給的基板8輸送至導(dǎo)軌上的規(guī)定位置。搭載頭15在前述規(guī)定的位置將電子部件搭載至基板8的表面上。在電子部件搭載至輸送到前述規(guī)定位置的基板8上后，基板輸送部12將基板8輸送至進(jìn)行下一個(gè)工序(例如回流焊)的裝置處。此外，作為基板輸送部12的輸送機(jī)構(gòu)，可以使用各種結(jié)構(gòu)。例如，可以使用使輸送機(jī)構(gòu)成為一體的傳送帶方式的輸送機(jī)構(gòu)，該方式是將沿基板8的輸送方向配置的導(dǎo)軌和沿前述導(dǎo)軌轉(zhuǎn)動(dòng)的環(huán)狀傳送帶組合，以將基板8搭載在前述環(huán)狀傳送帶上的狀態(tài)進(jìn)行輸送。部件供給裝置14具有保持部14a，其保持多個(gè)要搭載至基板8上的電子部件；以及進(jìn)料器部14b，其可以將保持部1 保持的電子部件供給搭載頭15，S卩，成為可利用搭載頭15吸附的狀態(tài)。此外，作為部件供給裝置14，可以使用各種結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施方式中是由保持部1 和進(jìn)料器部14b構(gòu)成的帶式進(jìn)料器，該保持部1 將電子部件粘貼在收容帶上，該進(jìn)料器部14b將收容帶以一定量輸送而成為使電子部件在規(guī)定位置上露出的狀態(tài)。另外， 優(yōu)選部件供給裝置14成為可相對(duì)于裝置主體拆裝的結(jié)構(gòu)。搭載頭15是對(duì)由部件供給裝置14保持的電子部件進(jìn)行吸附，并將吸附的電子部件搭載至由基板輸送部12移動(dòng)至規(guī)定位置上的基板8上的機(jī)構(gòu)。此外，對(duì)于搭載頭5的結(jié)構(gòu)，后面進(jìn)行敘述。XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16是使搭載頭15在圖1中的X方向及Y方向，即與基板8的表面平行的平面上移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其具有X軸驅(qū)動(dòng)部22和Y軸驅(qū)動(dòng)部24。X軸驅(qū)動(dòng)部22與搭載頭15連結(jié)，使搭載頭15在X軸方向上移動(dòng)。Y軸驅(qū)動(dòng)部M經(jīng)由X軸驅(qū)動(dòng)部22與搭載頭15連結(jié)，通過(guò)使X軸驅(qū)動(dòng)部22在Y軸方向上移動(dòng)，從而使搭載頭15在Y軸方向上移動(dòng)。 XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16通過(guò)使搭載頭15在XY方向上移動(dòng)，從而可以使搭載頭15移動(dòng)至與基板8 相對(duì)的位置上，或與部件供給裝置14的進(jìn)料器部14b相對(duì)的位置上。另外，XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16 通過(guò)使搭載頭15移動(dòng)，從而調(diào)整搭載頭15與基板8的相對(duì)位置。這樣，可以使搭載頭15 保持的電子部件移動(dòng)至基板8的表面上的任意位置，從而可以將電子部件搭載至基板8的表面上的任意位置上。此外，作為X軸驅(qū)動(dòng)部22，可以使用使搭載頭15在規(guī)定方向(雙方向)上移動(dòng)的各種機(jī)構(gòu)。作為Y軸驅(qū)動(dòng)部對(duì)，可以使用使X軸驅(qū)動(dòng)部22在規(guī)定方向(雙方向)上移動(dòng)的各種機(jī)構(gòu)。作為使對(duì)象物在規(guī)定方向(雙方向)上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，例如，可以是使用直線電動(dòng)機(jī)、齒輪齒條副、滾珠絲杠的輸送機(jī)構(gòu)、以及利用傳動(dòng)帶的輸送機(jī)構(gòu)等。部件識(shí)別照相機(jī)18是配置在部件供給裝置14的附近且與搭載頭15相對(duì)的位置上的攝像裝置。部件識(shí)別照相機(jī)18通過(guò)對(duì)搭載頭15進(jìn)行拍攝而檢測(cè)在搭載頭15上是否吸附有電子部件。下面，利用圖2及圖3，對(duì)搭載頭15的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。在這里，圖2是表示電子部件安裝裝置的搭載頭的概略結(jié)構(gòu)的斜視圖，圖3是表示搭載頭的吸附單元的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。搭載頭15如圖2所示，具有多個(gè)吸附單元30、Z軸驅(qū)動(dòng)單元32、θ軸驅(qū)動(dòng)單元34、 以及支撐臺(tái)35。支撐臺(tái)35是支撐多個(gè)吸附單元30、Z軸驅(qū)動(dòng)單元32及θ軸驅(qū)動(dòng)單元34 的部件。在這里，Z軸是與XY平面正交的軸。此外，Z軸成為與基板的表面正交的方向。另夕卜，所謂θ方向，是指與以Z軸(即，與Z軸驅(qū)動(dòng)部使前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸)作為中心的圓的圓周方向平行的方向。此外，θ方向成為后述的吸附嘴(第1吸附嘴40及第2吸附嘴42)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向。多個(gè)吸附單元30，在彼此相鄰的位置上配置為一列。下面，首先，利用圖3對(duì)一個(gè)吸附單元30進(jìn)行說(shuō)明。如圖3所示，吸附單元30具有第1吸附嘴40、第2吸附嘴42、軸44 及46、Ζ軸驅(qū)動(dòng)部48、吸引機(jī)構(gòu)50及52、第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部Μ、第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58、以及距離傳感器62。此外，圖3所示的吸附單元30具有第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M和第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58， 但與圖3所示的吸附單元相鄰的吸附單元30，如圖3中的帶括號(hào)的標(biāo)號(hào)所示，取代第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M和第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58，而具有第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56和第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部60。此外， 本實(shí)施方式的吸附單元30，其第1吸附嘴40、軸44及吸引機(jī)構(gòu)50的組合構(gòu)成第1吸附部， 其第2吸附嘴42、軸46及吸引機(jī)構(gòu)52的組合構(gòu)成第2吸附部。第1吸附部與相鄰的吸附單元30的第1吸附部相鄰而配置。第2吸附部與相鄰的吸附單元30的第2吸附部相鄰而配置。這樣，搭載頭15的第1吸附部配置為一列，第2吸附部配置為一列。第1吸附嘴40是吸附電子部件并進(jìn)行保持的吸附機(jī)構(gòu)。第1吸附嘴40，在其前端具有開口，通過(guò)從該開口吸引空氣，將電子部件吸附并保持在前端。第2吸附嘴42是與第 1吸附嘴40相同的結(jié)構(gòu)，是將電子部件吸附并保持在前端的機(jī)構(gòu)。軸44是支撐第1吸附嘴40的棒狀部件，其在Z軸方向上延伸而配置。另外，軸 44，其內(nèi)部具有連接第1吸附嘴40和吸引機(jī)構(gòu)50的空氣管(配管)。軸46是支撐第2吸附嘴42的棒狀部件，其在Z軸方向上延伸而配置。另外，軸46，其內(nèi)部具有連接第2吸附嘴 42和吸引機(jī)構(gòu)52的空氣管(配管)。此外，軸44和軸46還與固定在支撐臺(tái)35上的可在Z 軸方向上自由移動(dòng)的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)45、47連接。搭載頭15通過(guò)分別利用滑動(dòng)機(jī)構(gòu)45、47將軸 44及軸46與支撐臺(tái)35連接，可以抑制軸44和軸46在XY平面上的位置產(chǎn)生偏移。Z軸驅(qū)動(dòng)部48是通過(guò)使軸44和軸46在Z軸方向上移動(dòng)而使第1吸附嘴40和第 2吸附嘴42在Z軸方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。Z軸驅(qū)動(dòng)部48具有直線電動(dòng)機(jī)70、傳動(dòng)帶72、滾輪 73a及73b、第1支撐部74、以及第2支撐部76。Z軸驅(qū)動(dòng)部48，其直線電動(dòng)機(jī)70構(gòu)成使第 1吸附嘴40和第2吸附嘴42移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其傳動(dòng)帶72、滾輪73a及73b、第1支撐部 74和第2支撐部76構(gòu)成通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)而使第1吸附嘴40和第2吸附嘴42在Z軸方向上向相反的方向移動(dòng)的連結(jié)機(jī)構(gòu)。直線電動(dòng)機(jī)70由固定部和相對(duì)于固定部沿Z軸方向進(jìn)行移動(dòng)的可動(dòng)部構(gòu)成。直線電動(dòng)機(jī)70，其固定部固定在支撐臺(tái)35(在圖3中省略圖示) 上，其可動(dòng)部在與Z軸平行的方向上移動(dòng)。傳動(dòng)帶72是環(huán)狀傳動(dòng)帶，由滾輪73a和滾輪73b張緊架設(shè)。滾輪73a和滾輪73b 配置于軸44和軸46之間。另外，滾輪73a和滾輪7 配置于在與Z軸平行的方向(S卩，與基板8的表面正交的方向)上隔著規(guī)定距離的位置上。另外，滾輪73a配置于比滾輪73b 更遠(yuǎn)離基板8的位置上。傳動(dòng)帶72和滾輪73a、73b以這種位置關(guān)系配置，傳動(dòng)帶72的位于滾輪73a和滾輪7 之間的部分，成為平行于Z軸的兩個(gè)表面。另外，滾輪73a、7!3b為從動(dòng)滾輪，伴隨傳動(dòng)帶72的移動(dòng)而進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，第1支撐部74與直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部、軸44、以及傳動(dòng)帶72連接。此夕卜，第1支撐部74固定在傳動(dòng)帶72的平行于Z軸的兩個(gè)表面中的一個(gè)表面上，具體地說(shuō)， 固定在軸44側(cè)的表面上。另外，第2支撐部76與軸46和傳動(dòng)帶72連接。此外，第2支撐部76固定在傳動(dòng)帶72的平行于Z軸的兩個(gè)表面中的另一個(gè)表面上，具體地說(shuō)，固定在軸46 側(cè)的表面上。這樣，第1支撐部74與第1吸附部連結(jié)。另外，第2支撐部76與第2吸附部連結(jié)。Z軸驅(qū)動(dòng)部48為上述結(jié)構(gòu)，如果直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部沿Z軸方向移動(dòng)，則第1 支撐部74隨直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部一起沿Z軸方向移動(dòng)。由此，固定在第1支撐部74上的軸44和傳動(dòng)帶72也進(jìn)行移動(dòng)。并且，通過(guò)傳動(dòng)帶72移動(dòng)，第2支撐部76也在Z軸方向上向與第1支撐部74的移動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)。另外，通過(guò)第2支撐部76移動(dòng)，軸46 也隨第2支撐部76 —起向與軸44的移動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)。吸引機(jī)構(gòu)50具有氣泵，其與第1吸附嘴40連接；以及電磁閥，其切換連接第1吸附嘴40和氣泵的管路的開閉，通過(guò)切換電磁閥的開閉而改變是否從第1吸附嘴40吸引空氣。吸引機(jī)構(gòu)52具有氣泵，其與第2吸附嘴42連接；以及電磁閥，其切換連接第2吸附嘴 42和氣泵的管路的開閉，通過(guò)切換電磁閥的開閉而改變是否從第2吸附嘴42吸引空氣。
第1Θ軸驅(qū)動(dòng)部討可在Z軸方向上自由移動(dòng)地支撐軸44，并且在θ方向上轉(zhuǎn)動(dòng)。 第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58可在Z軸方向上自由移動(dòng)地支撐軸46，并且在θ方向上轉(zhuǎn)動(dòng)。第1Θ 軸驅(qū)動(dòng)部M和第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58固定在支撐臺(tái)35上。對(duì)于第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M至第4 θ 軸驅(qū)動(dòng)部60的結(jié)構(gòu)，后面進(jìn)行敘述。距離傳感器62是檢測(cè)(測(cè)量)其本身與配置于相對(duì)的位置上的部件(例如基板 8)的距離的傳感器，安裝在與第1吸附嘴40及軸44連結(jié)的部件上。此外，安裝距離傳感器 62的部件可在Z軸方向上自由移動(dòng)地與支撐臺(tái)35連結(jié)。距離傳感器62隨第1吸附嘴40 及軸44 一起在Z軸方向上移動(dòng)。并且，距離傳感器62檢測(cè)(測(cè)量)其本身與配置于第1吸附嘴40的前端側(cè)(配置有基板8的一側(cè))的部件的距離。這樣，距離傳感器62可以檢測(cè)其與基板8的距離。另外，由于距離傳感器62相對(duì)于第1吸附嘴40及軸44，即相對(duì)于第1 吸引部而固定，因此，電子部件安裝裝置10及吸附單元30，通過(guò)檢測(cè)距離傳感器62與基板 8的距離，可以檢測(cè)出第1吸附部(例如第1吸附嘴40的前端)與基板8的距離。此外，在本實(shí)施方式中，基于距離傳感器62與基板8的距離，利用后述的控制部100，進(jìn)行計(jì)算基板 8與第1吸引部的距離的運(yùn)算。下面，對(duì)θ軸驅(qū)動(dòng)單元34進(jìn)行說(shuō)明。如圖3所示，θ軸驅(qū)動(dòng)單元34具有第1 θ 軸驅(qū)動(dòng)部Μ、第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56、第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58、以及第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部60。在這里，第 1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M和第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56與第1吸附嘴40相對(duì)應(yīng)而設(shè)置，第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58 和第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部60與第2吸附嘴42相對(duì)應(yīng)而設(shè)置。另外，第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M與第2 θ 軸驅(qū)動(dòng)部56的對(duì)應(yīng)關(guān)系和第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58與第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部60的對(duì)應(yīng)關(guān)系，除了對(duì)應(yīng)設(shè)置的吸附嘴不同之外，基本上是相同的結(jié)構(gòu)。另外，一個(gè)吸附單元30或者與第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部討及第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58連結(jié)，或者與第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56及第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部60連結(jié)， 也就是說(shuō)，利用第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的第1吸附嘴40成為與利用第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部 58進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的第2吸附嘴42相同的吸附單元30，利用第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的第1 吸附嘴40成為與利用第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部60進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的第2吸附嘴42相同的吸附單元30。 因此下面，作為代表，對(duì)由第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M及第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56構(gòu)成的部分進(jìn)行說(shuō)明。在這里，圖4表示θ軸驅(qū)動(dòng)單元的概略結(jié)構(gòu)的局部剖面圖，圖5是表示θ軸驅(qū)動(dòng)單元的傳遞機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖4所示，第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M具有電動(dòng)機(jī)80、 傳遞機(jī)構(gòu)82、以及多個(gè)球花鍵單元84。另外，第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56具有電動(dòng)機(jī)90、傳遞機(jī)構(gòu) 92、以及多個(gè)球花鍵單元94。此外，球花鍵單元84設(shè)置于軸44之中的軸部4 上，球花鍵單元94設(shè)置于軸44之中的軸部44b上。在這里，軸部4 和軸部44b交替配置。也就是說(shuō)，配置為一列的多個(gè)軸44交替地配置有與球花鍵單元84連結(jié)的軸部4 和與球花鍵單元94連結(jié)的軸部44b。這樣，第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M與以列狀配置的多個(gè)吸附單元30中的構(gòu)成奇數(shù)序號(hào)的吸附單元30的第1吸附部的軸部4 連結(jié)，第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56與以列狀配置的多個(gè)吸附單元30中的構(gòu)成偶數(shù)序號(hào)的吸附單元30的第1吸附部的軸部44b連結(jié)。在本實(shí)施方式中，是在以圖5中從左至的順序進(jìn)行編號(hào)的情況下而形成的奇數(shù)、偶數(shù)，但只要每隔1個(gè)軸部(每隔1個(gè)吸附部)與一個(gè)連結(jié)即可，可以將第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M和第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56中的任意一個(gè)與偶數(shù)序號(hào)的軸部連結(jié)，也可以將任意一個(gè)與奇數(shù)序號(hào)的軸部連結(jié)。另外，球花鍵單元84和球花鍵單元94配置于Z軸上的位置相同的位置上。并且，傳遞機(jī)構(gòu)82在Z軸方向上，配置于圖4中球花鍵單元84的上側(cè)，傳遞機(jī)構(gòu)92在Z軸方向上，配置于圖4中球花鍵單元84的下側(cè)。第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M和第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56，僅上述的配置位置不同，其余各部分的結(jié)構(gòu)基本相同。因此，下面，作為代表對(duì)第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M進(jìn)行說(shuō)明。電動(dòng)機(jī)80是雙向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)(即轉(zhuǎn)動(dòng))的驅(qū)動(dòng)部，經(jīng)由傳遞機(jī)構(gòu)82使多個(gè)球花鍵單元84轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，作為電動(dòng)機(jī)80，既可以本身是雙向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)源，也可以是通過(guò)變換傳遞要素的組合而變換傳遞的旋轉(zhuǎn)方向的結(jié)構(gòu)。如圖5所示，傳遞機(jī)構(gòu)82具有傳動(dòng)帶86、多個(gè)齒輪87、以及多個(gè)帶輪88，將由電動(dòng)機(jī)80產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力(旋轉(zhuǎn))傳遞至多個(gè)球花鍵單元84 (參照?qǐng)D4)的每個(gè)上。具體地說(shuō)， 傳遞機(jī)構(gòu)82的傳動(dòng)帶86架設(shè)在與球花鍵單元84連結(jié)的齒輪87和電動(dòng)機(jī)80上，并且由設(shè)置于齒輪87和齒輪87之間的帶輪88以一定的張力張緊。由此，如果傳遞機(jī)構(gòu)82的電動(dòng)機(jī)80轉(zhuǎn)動(dòng)，則傳動(dòng)帶86進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，架設(shè)傳動(dòng)帶86的齒輪87進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。多個(gè)球花鍵單元84分別設(shè)置于軸部4 上，向軸部4 傳遞旋轉(zhuǎn)力。另外，球花鍵單元84使軸部4 成為可以在Z軸方向上自由移動(dòng)的狀態(tài)。第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M為如上所述的結(jié)構(gòu)，通過(guò)將由電動(dòng)機(jī)80產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動(dòng)力經(jīng)由傳遞機(jī)構(gòu)82向球花鍵單元84傳遞，從而使軸部4 轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M使設(shè)置有球花鍵單元84的軸部4 一體地轉(zhuǎn)動(dòng)，即一起轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M通過(guò)使軸部4 轉(zhuǎn)動(dòng)，從而也使與軸部4 成為一體的第1吸附嘴40進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。這樣，第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M使以列狀配置的多個(gè)吸附單元30中的奇數(shù)序號(hào)的吸附單元30的第1吸附部的第 1吸附嘴40，以Z軸(與第1吸附部及第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸)作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。下面，對(duì)電子部件安裝裝置10的裝置結(jié)構(gòu)的控制作用進(jìn)行說(shuō)明。圖6是表示電子部件安裝裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖，如圖6所示，電子部件安裝裝置10具有基板輸送部12、部件供給裝置14、搭載頭15、ΧΥ移動(dòng)機(jī)構(gòu)16 (X軸驅(qū)動(dòng)部22及Y軸驅(qū)動(dòng)部24)、激光識(shí)別裝置 92、存儲(chǔ)裝置94、圖像處理裝置96、顯示器97、操作部98、以及控制部100。此外，搭載頭15 如上所述，具有吸附單元30、Z軸驅(qū)動(dòng)單元32、以及θ軸驅(qū)動(dòng)單元34。另外，搭載頭15如上所述，與吸附單元30相對(duì)應(yīng)，具有吸引機(jī)構(gòu)50和吸引機(jī)構(gòu)52。此外，對(duì)于電子部件安裝裝置10中的上述結(jié)構(gòu)，省略詳細(xì)的說(shuō)明。激光識(shí)別裝置92，是通過(guò)對(duì)利用吸附單元30的第1吸附嘴40或第2吸附嘴42吸附的電子部件照射激光，而檢測(cè)電子部件的形狀的裝置。激光識(shí)別裝置92在檢測(cè)出由吸附單元30吸附的電子部件的一個(gè)方向的形狀后，利用吸附單元30使電子部件移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)，檢測(cè)另一個(gè)方向的形狀。這樣，激光識(shí)別裝置92通過(guò)檢測(cè)來(lái)自多個(gè)方向的形狀，可以準(zhǔn)確地檢測(cè)出電子部件的三維形狀。存儲(chǔ)裝置94是存儲(chǔ)器等一次存儲(chǔ)裝置(主存儲(chǔ)裝置)或內(nèi)部存儲(chǔ)器等二次存儲(chǔ)裝置(輔助存儲(chǔ)裝置)，其存儲(chǔ)利用控制部100進(jìn)行的處理所需的各種程序、由各部分獲取的信息、輸入的條件、以及各部分的動(dòng)作履歷等。此外，不僅存儲(chǔ)裝置94具有一次存儲(chǔ)裝置，控制部100也可以具有。圖像處理裝置96對(duì)由部件識(shí)別用照相機(jī)18獲取的圖像進(jìn)行處理，并將已處理的圖像信息發(fā)送至后述的顯示器97及控制部100中。顯示器97是對(duì)從圖像處理裝置發(fā)送來(lái)的圖像信息、或從控制部100發(fā)送來(lái)的信息進(jìn)行顯示的顯示裝置。操作部98是操作者(用戶)輸入操作的輸入裝置，具有觸摸面板 98a。此外，操作部98的結(jié)構(gòu)并不限定于觸摸面板98a，可以使用控制器、操作面板、開關(guān)、操作桿、鍵盤、以及鼠標(biāo)等各種輸入裝置。操作部98將輸入的操作作為操作信號(hào)發(fā)送至控制部100中?？刂撇?00與電子部件安裝裝置10的各部分連接，根據(jù)從操作部98輸入的操作信號(hào)，或由電子部件安裝裝置10的各部分檢測(cè)到的信息，執(zhí)行存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置94中的程序，控制各部分的動(dòng)作?？刂撇?00，例如對(duì)由基板輸送部12輸送基板8的動(dòng)作、由部件供給裝置14供給電子部件的動(dòng)作、由搭載頭15吸附/釋放電子部件的動(dòng)作、各吸附嘴(第1 吸附嘴40、第2吸附嘴42)的轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)作、Z軸方向的移動(dòng)動(dòng)作、以及由XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16驅(qū)動(dòng)搭載頭15的動(dòng)作等進(jìn)行控制。電子部件安裝裝置10為如上所述的結(jié)構(gòu)。下面，對(duì)電子部件安裝裝置10的動(dòng)作，特別地，對(duì)由搭載頭15的吸附單元30進(jìn)行的電子部件的安裝動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在這里，圖7是用于說(shuō)明搭載頭的吸附單元的動(dòng)作的說(shuō)明圖。此外，圖7表示由搭載頭15的吸附單元30吸附電子部件后，向基板上的搭載位置移動(dòng)，并向基板上搭載電子部件的動(dòng)作。電子部件安裝裝置10以圖7中箭頭的方向(從左向右的方向)執(zhí)行動(dòng)作。首先，電子部件安裝裝置10的控制部100，控制XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16，使搭載頭15移動(dòng)至與部件供給裝置14相對(duì)的位置上，具體地說(shuō)，移動(dòng)至搭載頭15的第1吸附嘴40、第2吸附嘴42可以吸附從部件供給裝置14供給的電子部件的位置上?？刂撇?00在將搭載頭15 移動(dòng)至與部件供給裝置14相對(duì)的位置上后，控制搭載頭15，如圖7的吸附單元30a所示，通過(guò)使Z軸驅(qū)動(dòng)部48的直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部向箭頭方向(直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部的前端接近固定部的方向)移動(dòng)，使傳動(dòng)帶72移動(dòng)，而使第1吸附嘴40接近部件供給裝置14。 此外，如果第1吸附嘴40向接近部件供給裝置14的方向移動(dòng)，則第2吸附嘴42向遠(yuǎn)離部件供給裝置14的方向移動(dòng)。控制部100控制搭載頭15，在將第1吸附嘴40的前端移動(dòng)至與保持在部件供給裝置14中的電子部件102接觸的位置后，使吸引機(jī)構(gòu)50驅(qū)動(dòng)，從而將電子部件102吸附在第 1吸附嘴40上。此外，控制部100控制搭載頭15，在使第1吸附嘴40吸附電子部102時(shí)， 根據(jù)需要，也可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)第10軸驅(qū)動(dòng)部M，而使第1吸附嘴40轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，控制部100 基于距離傳感器62的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)第1吸附嘴40在Z軸方向上的位置進(jìn)行調(diào)整。此外，根據(jù)需要而進(jìn)行的θ方向上的轉(zhuǎn)動(dòng)的調(diào)整方法，Z軸方向上的距離的調(diào)整方法，在后述的由吸附嘴進(jìn)行電子部件的吸附時(shí)、釋放時(shí)均相同?？刂撇?00控制搭載頭15，在利用第1吸附嘴40吸附電子部件102后，如圖7的吸附單元30b所示，通過(guò)使Z軸驅(qū)動(dòng)部48的直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部向箭頭方向(直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部的前端遠(yuǎn)離固定部的方向)移動(dòng)，使傳動(dòng)帶72移動(dòng)，從而使第2吸附嘴 42接近部件供給裝置14?？刂撇?00，在控制搭載頭15將第2吸附嘴42的前端移動(dòng)至與保持在部件供給裝置14中的電子部件104接觸的位置后，使吸引機(jī)構(gòu)52驅(qū)動(dòng)，利用第2吸附嘴42吸附電子部件104。由此，成為吸附單元30b將電子部件102吸附在第1吸附嘴40 上，將電子部件104吸附在第2吸附嘴42上的狀態(tài)。在這里，控制部100基于距離傳感器 62的檢測(cè)結(jié)果，也對(duì)第2吸附嘴42在Z軸方向上的位置進(jìn)行調(diào)整。即，距離傳感器62向與第2吸附嘴42相反的方向移動(dòng)，但距離傳感器62和第2吸附嘴42利用Z軸驅(qū)動(dòng)部48移動(dòng)的距離成正比。因此，控制部100，通過(guò)基于距離傳感器62的檢測(cè)結(jié)果計(jì)算出距離傳感器62的移動(dòng)距離，可以計(jì)算出第2吸附嘴42與基板8的位置關(guān)系，更具體地說(shuō)，可以計(jì)算出兩者的距離。此外，控制部100控制構(gòu)成搭載頭15的各吸附單元30進(jìn)行相同的吸附動(dòng)作。在這里，無(wú)須在搭載頭15的全部吸附嘴上吸附電子部件，只要由選擇的吸附嘴吸附要搭載至基板8上的電子部件即可?？刂撇?00控制搭載頭15，在將電子部件102、104分別吸附在第1吸附嘴40和第 2吸附嘴42上后，如圖7的吸附單元30c所示，利用Z軸驅(qū)動(dòng)部48使第1吸附嘴40和第2 吸附嘴42在Z軸方向上的位置成為相同的位置，即相同的高度。然后，控制部100控制XY 移動(dòng)機(jī)構(gòu)16將搭載頭15移動(dòng)至與基板8相對(duì)的位置上?？刂撇?00，在將搭載頭15移動(dòng)至與基板8相對(duì)的位置上后，進(jìn)一步利用XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16使搭載頭15移動(dòng)，以使得電子部件102和該電子部件102在基板8上的搭載位置在XY平面上重合。在電子部件102和在基板8上的搭載位置在XY平面上成為重合位置后，控制部100控制搭載頭15，根據(jù)需要，利用θ驅(qū)動(dòng)單元使第1吸附嘴40在θ方向上轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整電子部件102的方向。此外，由θ驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行的第1吸附嘴40的轉(zhuǎn)動(dòng)，也可以與由XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16進(jìn)行的搭載頭15的移動(dòng)同時(shí)進(jìn)行。然后，控制部100如圖7的吸附單元30d所示，通過(guò)使Z軸驅(qū)動(dòng)部48的直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部向箭頭方向移動(dòng)，使傳動(dòng)帶72 移動(dòng)，而使第1吸附嘴40接近基板8。由此，成為第1吸附嘴40吸附的電子部件102與基板8的規(guī)定位置接觸或大致接觸的狀態(tài)。然后，控制部100控制搭載頭15，使吸引機(jī)構(gòu)50 的電磁閥成為閉合狀態(tài)等。這樣，由于成為第1吸附嘴40將電子部件102釋放的狀態(tài)，即未吸附的狀態(tài)，因此可以將電子部件102搭載至基板8上?？刂撇?00控制部搭載頭15，在將電子部件102搭載至基板8上后，利用XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)16使搭載頭15移動(dòng)，以使得電子部件104和該電子部件104在基板8上的搭載位置在 XY平面上重合。在電子部件104和在基板8上的搭載位置在XY平面上成為重合位置后，控制部100控制搭載頭15，根據(jù)需要，利用θ驅(qū)動(dòng)單元使第2吸附嘴42在0方向上轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整電子部件104的方向。然后，控制部100控制搭載頭15，如圖7的吸附單元30e所示，通過(guò)使Z軸驅(qū)動(dòng)部48的直線電動(dòng)機(jī)70的可動(dòng)部向箭頭方向移動(dòng)，使傳動(dòng)帶72移動(dòng)，而使第 2吸附嘴42接近基板8。由此，成為第2吸附嘴42吸附的電子部件104與基板8的規(guī)定位置接觸或大致接觸的狀態(tài)。然后，控制部100控制搭載頭15，使吸引機(jī)構(gòu)52的電磁閥成為閉合狀態(tài)等。這樣，由于成為第2吸附嘴42將電子部件104釋放的狀態(tài)，即未吸附的狀態(tài)， 因此可以將電子部件104搭載至基板8上?？刂撇?00對(duì)吸附著電子部件的各吸附嘴執(zhí)行上述動(dòng)作，可以將搭載頭15吸附的電子部件搭載至基板8上。另外，在將搭載頭15吸附的電子部件全部搭載至基板8上后， 控制部100通過(guò)驅(qū)動(dòng)X軸驅(qū)動(dòng)部22和Y軸驅(qū)動(dòng)部M中的至少一個(gè)，再次將搭載頭15輸送至部件供給裝置14處，使電子部件吸附在各吸附嘴上?？刂撇?00反復(fù)進(jìn)行上述處理，在將必要的電子部件搭載至基板8上后，利用基板輸送部12將基板8輸送至下一道工序。這樣，由于電子部件安裝裝置10構(gòu)成為，利用一個(gè)Z軸驅(qū)動(dòng)部48使第1吸附嘴 40和第2吸附嘴42向相反的方向移動(dòng)，因此，可以利用一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)吸附嘴。由此，可以減少驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，從而可以使裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。另外，由于可以使裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)減少，因此可以使搭載頭輕量化，從而可以使搭載頭15的移動(dòng)所消耗的能量減少。另外，由于可以使搭載頭15輕量化，因此還可以使移動(dòng)的精度更高。另外，由于一個(gè)Z軸驅(qū)動(dòng)部 48僅驅(qū)動(dòng)兩個(gè)吸附嘴，因此可以抑制Z軸驅(qū)動(dòng)部48的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(驅(qū)動(dòng)源)大型化。另外， 由于使兩個(gè)吸附嘴聯(lián)動(dòng)地移動(dòng)，因此還可以使動(dòng)力傳遞的路徑簡(jiǎn)單。并且，由于控制對(duì)象減少，因此還可以使控制部100的電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。另外，由于向相反方向移動(dòng)的兩個(gè)吸附嘴成為大致相同的結(jié)構(gòu)，也就是說(shuō)，由于重量差很小，因此可以使在以支點(diǎn)(在本實(shí)施方式中為滾輪73a)作為中心使傳動(dòng)帶72轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)所需的力減小，從而可以使消耗的能量減少。另外，由于在由一個(gè)吸附嘴完成電子部件的搭載后，使該吸附嘴移動(dòng)，即從基板離開，因此可以將另一個(gè)吸附嘴靠近基板。由此，可以使一個(gè)吸附嘴的結(jié)束動(dòng)作(吸附嘴與電子部件的脫離動(dòng)作)和另一個(gè)吸附嘴的搭載動(dòng)作自動(dòng)地同時(shí)開始。另外，由于電子部件安裝裝置10將各電子部件依次搭載至基板上，因此可以一邊高精度地調(diào)整位置，一邊搭載至基板上。另外，由于是將各電子部件依次搭載至基板上的結(jié)構(gòu)，因此即使構(gòu)成為第1吸附嘴40和第2吸附嘴42向相反的方向移動(dòng)，也可以高效地搭載電子部件。另外，由于可以利用Z軸驅(qū)動(dòng)部48高精度地調(diào)整Z軸方向的高度，因此可以對(duì)高度不同的基板及高度不同的電子部件進(jìn)行適當(dāng)?shù)拇钶d。由此，可以使電子部件安裝裝置可處理的基板及電子部件的種類更多。另外，由于搭載頭15設(shè)置多個(gè)吸附單元30，因此進(jìn)行一次電子部件從部件供給裝置的吸附動(dòng)作及電子部件的搭載動(dòng)作，即搭載頭在部件供給裝置和基板之間往復(fù)一次，可以處理(吸附及搭載)更多的電子部件。由此，可以使作業(yè)效率更高。另外，由于在該情況下，也可以如上所述，相對(duì)于吸附嘴的數(shù)量使重量減少，因此可以使搭載頭輕量化，從而可以高精度地控制動(dòng)作。另外，如上所述，由于搭載頭15可以高精度地調(diào)整Z軸方向上的高度，從而可以成為各種高度，因此，在利用激光識(shí)別裝置92識(shí)別電子部件時(shí)，以及在使用部件識(shí)別用照相機(jī)18觀察電子部件時(shí)，通過(guò)使電子部件的高度錯(cuò)開并保持，可以一次識(shí)別、觀察多個(gè)電子部件。在這里，在上述實(shí)施方式中，是作為由構(gòu)成一個(gè)吸附單元30的兩個(gè)吸附嘴進(jìn)行的搭載動(dòng)作而進(jìn)行說(shuō)明的，但是，在使用多個(gè)吸附單元30搭載電子部件的情況下，優(yōu)選控制部100控制搭載頭15，在將一個(gè)吸附單元30的吸附嘴(即第1吸附嘴或第2吸附嘴)吸附的電子部件搭載至基板上的情況下，之后將其他吸附單元30的吸附嘴吸附的電子部件搭載至基板上。這樣，通過(guò)使搭載電子部件的吸附單元30每次變換一個(gè)吸附嘴，之后可以使要搭載至基板上的電子部件移動(dòng)至基板面前，從而可以更高效地搭載(安裝)電子部件。 此外，由于可以高效地將電子部件搭載至基板上，因此優(yōu)選搭載頭具有多個(gè)吸附單元，但并不限定于此，吸附單元也可以是一個(gè)。另外，作為θ軸驅(qū)動(dòng)單元34，通過(guò)利用一個(gè)θ軸驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)多個(gè)軸部，從而可以使在θ方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部的數(shù)量減少。另外，由于在θ方向上的轉(zhuǎn)動(dòng)與Z軸方向中上的移動(dòng)相比，所需的輸出減小，因此，作為使多個(gè)軸部轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，可以在一定程度上抑制電動(dòng)機(jī)的大型化。另外，通過(guò)設(shè)置多個(gè)θ軸驅(qū)動(dòng)部，可以預(yù)先調(diào)整之后要搭載的電子部件的角度。
13
在這里，控制部100，優(yōu)選在設(shè)定上述吸附單元30的電子部件的搭載順序的基礎(chǔ)上，控制搭載頭15，使與利用相同的θ軸驅(qū)動(dòng)部在θ方向上進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的軸部相對(duì)應(yīng)的吸附嘴，以不連續(xù)地將電子部件搭載至基板上的順序，將電子部件搭載至基板上。也就是說(shuō)， 優(yōu)選設(shè)定下述順序而進(jìn)行控制，即，在將與利用任意一個(gè)θ軸驅(qū)動(dòng)部在θ方向上進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的軸部相對(duì)應(yīng)的吸附嘴所吸附的電子部件搭載至基板上的情況下，之后將與利用任意的其他θ軸驅(qū)動(dòng)部在θ方向上進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的軸部相對(duì)應(yīng)的吸附嘴所吸附的電子部件搭載至基板上。在這里，在本實(shí)施方式的情況下，在將由利用第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M或第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部58 進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的吸附嘴吸附的電子部件搭載至基板上的情況下，之后將由利用第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部 56或第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部60進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的吸附嘴吸附的電子部件搭載至基板上。另外，控制部 100控制搭載頭15，在將由利用第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部56或第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部60進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的吸附嘴吸附的電子部件搭載至基板上的情況下，之后將由利用第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部M或第3Θ軸驅(qū)動(dòng)部58進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的吸附嘴吸附的電子部件搭載至基板上。由此，之后可以預(yù)先對(duì)要搭載至基板上的電子部件的θ方向上的角度進(jìn)行調(diào)整。另外，由于電子部件安裝裝置10可以基于由一個(gè)距離傳感器檢測(cè)出的測(cè)量結(jié)果， 對(duì)一個(gè)吸附單元所具有的兩個(gè)吸附嘴的位置進(jìn)行調(diào)整，因此可以使裝置結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單，并且可以使裝置廉價(jià)。也就是說(shuō)，由于成為兩個(gè)吸附嘴向相反的方向成比例地移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，因此，通過(guò)檢測(cè)一個(gè)吸附嘴的位置，也可以檢測(cè)出另一個(gè)吸附嘴的位置。由此，即使將吸附嘴與基板的相對(duì)位置的檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)于兩個(gè)吸附嘴共用，也可以高精度地調(diào)整吸附嘴的位置。 此外，雖然構(gòu)成裝置的部件、機(jī)構(gòu)增多，但也可以分別對(duì)兩個(gè)吸附嘴設(shè)置檢測(cè)位置的傳感器。在該情況下，即使產(chǎn)生由于Z軸驅(qū)動(dòng)部的傳動(dòng)帶彎曲、變形等引起的誤差及變化，也可以準(zhǔn)確地檢測(cè)吸附嘴的位置。另外，在上述實(shí)施方式中，設(shè)置了用于可以更高精度地調(diào)整吸附嘴的位置的距離傳感器，但是，本發(fā)明并限定于此，也可以不設(shè)置距離傳感器，僅利用設(shè)定值進(jìn)行控制。也就是說(shuō)，也可以僅利用輸入條件，以半閉環(huán)方式進(jìn)行處理。另外，在上述實(shí)施方式中，作為Z軸驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使用直線電動(dòng)機(jī)，但并不限于此，作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可以使用各種機(jī)構(gòu)。例如，也可以使用使張緊架設(shè)傳動(dòng)帶的滾輪旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)。在該情況下，通過(guò)利用旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)使?jié)L輪旋轉(zhuǎn)，也可以使傳動(dòng)帶移動(dòng)。此夕卜，在該情況下，通過(guò)利用編碼器測(cè)量旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)角度，可以檢測(cè)傳動(dòng)帶、各吸附嘴的位置，從而可以不設(shè)置距離傳感器而以半閉環(huán)方式進(jìn)行處理。另外，Z軸驅(qū)動(dòng)部的連結(jié)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)，也不限定于利用傳動(dòng)帶及固定在傳動(dòng)帶上的支撐部等使軸部上下移動(dòng)。優(yōu)選Z軸驅(qū)動(dòng)部的連結(jié)機(jī)構(gòu)只要可以使第1吸附嘴(第1吸引部)和第2吸附嘴(第2吸引部)向相反的方向成正比地移動(dòng)即可。例如，Z軸驅(qū)動(dòng)部的連結(jié)機(jī)構(gòu)也可以形成使軸部與由支點(diǎn)支撐的棒狀部件的各自端部連結(jié)的結(jié)構(gòu)，所謂的蹺蹺板、振子這樣的結(jié)構(gòu)。此外，在上述實(shí)施方式中，設(shè)置了部件識(shí)別用照相機(jī)18和激光識(shí)別裝置92這二個(gè)，但也可以僅設(shè)置任何一個(gè)。另外，在上述實(shí)施方式中，形成為具有一個(gè)搭載頭15的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明并不限于此，也可以設(shè)置多個(gè)搭載頭。例如，也可以設(shè)置兩個(gè)搭載頭15，相對(duì)于一個(gè)基板交替地搭載電子部件。這樣，通過(guò)以兩個(gè)搭載頭15交替地搭載電子部件，在一個(gè)搭載頭將電子部件向基板上搭載的期間，另一個(gè)搭載頭可以吸附位于部件供給裝置中的電子部件。由此，可以進(jìn)一步縮短不向基板搭載電子部件的時(shí)間，從而可以高效地搭載(安裝)電子部件。工業(yè)實(shí)用性如上所述，本發(fā)明涉及的電子部件安裝裝置用于將電子部件搭載至基板上，特別適用于通過(guò)利用多個(gè)吸附單元的每個(gè)輸送電子部件而連續(xù)地向基板上搭載電子部件。
權(quán)利要求
1.一種電子部件安裝裝置，其將由吸附嘴吸附的電子部件搭載至基板上，其特征在于， 其具有搭載頭、和控制前述搭載頭的動(dòng)作的控制部，該搭載頭包括第1吸附部，其具有吸附前述電子部件的前述吸附嘴；第2吸附部，其具有吸附前述電子部件的前述吸附嘴，并且該吸附嘴與前述第1吸附部的前述吸附嘴朝向相同的方向；以及Z軸驅(qū)動(dòng)部，其具有與前述第1吸附部和前述第2吸附部連結(jié)的連結(jié)機(jī)構(gòu)，及通過(guò)使前述連結(jié)機(jī)構(gòu)移動(dòng)而使前述第1吸附部和前述第2吸附部在與前述基板的表面正交的方向上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，前述連結(jié)機(jī)構(gòu)利用前述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而移動(dòng)，從而使前述第1吸附部和前述第2吸附部彼此向相反的方向移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件安裝裝置，其特征在于， 前述連結(jié)機(jī)構(gòu)具有傳動(dòng)帶；至少2個(gè)滾輪，它們?cè)谂c前述基板的表面正交的方向上配置于彼此分離的位置處，并且張緊架設(shè)前述傳動(dòng)帶；第1支撐部，其固定在前述傳動(dòng)帶的與前述基板的表面正交的兩個(gè)表面中的一個(gè)表面上，與前述第1吸附部連結(jié)；以及第2支撐部，其固定在前述傳動(dòng)帶的與前述基板的表面正交的兩個(gè)表面中的另一個(gè)表面上，與前述第2吸附部連結(jié)，前述傳動(dòng)帶利用前述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而移動(dòng)，從而使前述第1吸附部和前述第2吸附部彼此向相反的方向移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子部件安裝裝置，其特征在于，前述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是直線電動(dòng)機(jī)，其與前述連結(jié)機(jī)構(gòu)連接，使與前述連結(jié)機(jī)構(gòu)連接的部分在與前述基板的表面正交的方向上移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的電子部件安裝裝置，其特征在于，還具有與前述第1吸附部連結(jié)而配置的距離傳感器，前述控制部基于由前述距離傳感器檢測(cè)出的距離，計(jì)算前述第1吸附部和前述基板之間的距離、及前述第2吸附部和前述基板之間的距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的電子部件安裝裝置，其特征在于，前述搭載頭具有多個(gè)吸附單元，該吸附單元包含前述第1吸附部、前述第2吸附部及前述Z軸驅(qū)動(dòng)部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子部件安裝裝置，其特征在于，前述搭載頭的多個(gè)前述吸附單元相鄰而以列狀配置，多個(gè)前述吸附單元各自的前述第 1吸附部彼此相鄰地配置，并且各自的前述第2吸附部彼此相鄰地配置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子部件安裝裝置，其特征在于， 前述搭載頭還具有第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部，其使以列狀配置的前述多個(gè)吸附單元中的奇數(shù)序號(hào)的前述吸附單元的前述第1吸附部的前述吸附嘴，以與前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部，其使以列狀配置的前述多個(gè)吸附單元中偶數(shù)序號(hào)的前述吸附單元的前述第1吸附部的前述吸附嘴，以與前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部，其使以列狀配置的前述多個(gè)吸附單元中奇數(shù)序號(hào)的前述吸附單元的前述第2吸附部的前述吸附嘴，以與前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；以及第4 θ軸驅(qū)動(dòng)部，其使以列狀配置的前述多個(gè)吸附單元中偶數(shù)序號(hào)的前述吸附單元的前述第2吸附部的前述吸附嘴，以與前述第1吸附部及前述第2吸附部移動(dòng)的方向平行的軸作為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子部件安裝裝置，其特征在于，前述控制部控制前述搭載頭，在將利用前述第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部或前述第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的前述吸附嘴所吸附的前述電子部件搭載至前述基板上的情況下，之后將利用前述第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部或前述第4θ軸驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的前述吸附嘴所吸附的前述電子部件搭載至前述基板上，在將利用前述第2 θ軸驅(qū)動(dòng)部或前述第4θ軸驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的前述吸附嘴所吸附的前述電子部件搭載至前述基板上的情況下，之后將利用前述第1 θ軸驅(qū)動(dòng)部或前述第3 θ軸驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的前述吸附嘴所吸附的前述電子部件搭載至前述基板上。
9.根據(jù)權(quán)利要求5至8中的任一項(xiàng)所述的電子部件安裝裝置，其特征在于，前述控制部控制前述搭載頭，在將由前述吸附單元的前述吸附嘴吸附的前述電子部件搭載至前述基板上的情況下，之后將由其他的前述吸附單元的前述吸附嘴吸附的前述電子部件搭載至前述基板上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電子部件安裝裝置，其可以高效、高精度地安裝電子部件，并且可以使消耗的能量進(jìn)一步減少。該電子部件安裝裝置將由吸附嘴吸附的電子部件搭載至基板上，其具有搭載頭和控制部，該搭載頭包括第1吸附部，其具有吸附電子部件的吸附嘴；第2吸附部，其具有吸附電子部件的吸附嘴，并且該吸附嘴與第1吸附部的吸附嘴朝向相同的方向；Z軸驅(qū)動(dòng)部，其具有與第1吸附部和第2吸附部連結(jié)的連結(jié)機(jī)構(gòu)，及通過(guò)使連結(jié)機(jī)構(gòu)移動(dòng)而使第1吸附部和第2吸附部在與基板表面正交的方向上移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該控制部控制搭載頭的動(dòng)作，通過(guò)利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使連結(jié)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，使第1吸附部和第2吸附部彼此向相反的方向移動(dòng)。
文檔編號(hào)H05K13/04GK102458092SQ20111032998
公開日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2011年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月26日
發(fā)明者加藤禮貴, 野原伸和 申請(qǐng)人:Juki株式會(huì)社