專(zhuān)利名稱(chēng)：直拉式單晶爐的可調(diào)托晶盤(pán)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及單晶爐裝置領(lǐng)域，尤其是指一種直拉式單晶爐的可調(diào)托晶盤(pán)裝置。
背景技術(shù)：
直拉式單晶爐是生產(chǎn)太陽(yáng)能電池用單晶硅和集成電路及單晶硅的的主要設(shè)備。隨著太陽(yáng)能電池硅材料的尺寸越來(lái)越大。以及集成電路對(duì)單晶材料的品質(zhì)要求越來(lái)越高。 對(duì)與之相對(duì)應(yīng)的單晶生長(zhǎng)設(shè)備的自動(dòng)化程度和長(zhǎng)期使用的穩(wěn)定性提出了更高的要求。托晶盤(pán)是直拉式單晶爐的必備部件，它直接影響副室在自動(dòng)左右旋轉(zhuǎn)的晶體爐上工作運(yùn)行的平穩(wěn)性和安全性能。中國(guó)專(zhuān)利曾公開(kāi)了一種“帶可旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的單晶爐”(中國(guó)，公告號(hào) CN2764789Y，公告日2006年3月15日)，主要包括一單晶爐，該單晶爐由爐體、上轉(zhuǎn)電機(jī)、上升降電機(jī)、下升降電機(jī)、導(dǎo)軌、螺桿、托盤(pán)組成，所述托盤(pán)被制成一轉(zhuǎn)盤(pán)，該轉(zhuǎn)盤(pán)由一下轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)。采用本實(shí)用新型的帶可旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的單晶爐，且通過(guò)控制托盤(pán)旋轉(zhuǎn)方向與轉(zhuǎn)速，可有效克服晶體生長(zhǎng)中的組分偏聚現(xiàn)象。但它沒(méi)有涉及到托晶盤(pán)裝置的具體結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種直拉式單晶爐的可調(diào)托晶盤(pán)裝置，它結(jié)構(gòu)合理，設(shè)計(jì)巧妙，體積小，稍用力就可實(shí)現(xiàn)可調(diào)托晶盤(pán)下移，自動(dòng)上移平穩(wěn)。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明創(chuàng)造采取的方案是一種直拉式單晶爐的可調(diào)托晶盤(pán)裝置，它包副室、副室下法蘭、托晶盤(pán)，托晶盤(pán)與搖臂連接，導(dǎo)向套焊接在副室下法蘭側(cè)面，導(dǎo)向套筋板與副室下法蘭上平面、導(dǎo)向套焊接，導(dǎo)向套內(nèi)安裝彈簧，導(dǎo)向座安裝在導(dǎo)向套上端，帶外螺紋的連接銷(xiāo)軸從下向上穿過(guò)搖臂定位孔、導(dǎo)向套、彈簧、導(dǎo)向座，用兩個(gè)調(diào)節(jié)螺母鎖定，搖臂與連接銷(xiāo)軸采用臺(tái)階孔套接。本裝置包含有托晶盤(pán)、導(dǎo)向套、導(dǎo)向座、調(diào)節(jié)螺母、連接銷(xiāo)軸、導(dǎo)向套筋板、副室下法蘭和彈簧。裝置在經(jīng)過(guò)多次試驗(yàn)對(duì)比結(jié)果后，并選用合適的機(jī)構(gòu)，以合理的布局將各個(gè)零件安裝在副室下法蘭上，能有效地控制各部件之間形位公差，并從使用者及點(diǎn)檢維護(hù)人員角度，以方便、迅速、可靠、安全為原則，盡可能提高可調(diào)托晶盤(pán)裝置在配有全自動(dòng)控制系統(tǒng)中，在副室?guī)ё詣?dòng)左右旋轉(zhuǎn)的晶體爐上工作運(yùn)行中的平穩(wěn)性和安全性能。本裝置待用狀態(tài)時(shí)，托晶盤(pán)由彈簧推動(dòng)導(dǎo)向座向上受力，彈簧彈力略大于整個(gè)托晶盤(pán)重量，托晶盤(pán)底部高于副室下法蘭下平面。要使用時(shí)，只要把托晶盤(pán)向下輕拉，使托晶盤(pán)上平面低于副室下法蘭底平面后，旋轉(zhuǎn)托晶盤(pán)到副室內(nèi)腔中心，即可。然后降下副室中懸掛晶棒與托晶盤(pán)剛接觸或?qū)⒁佑|，旋轉(zhuǎn)副室至合適位置后，將托晶盤(pán)向下輕拉，旋轉(zhuǎn)到副室下法蘭外側(cè)，放開(kāi)手。托晶盤(pán)可自行上升至副室法蘭中上部。完成取出單晶棒的產(chǎn)品，設(shè)備、人員的安全得到保證。本裝置的特點(diǎn)外形體積??；結(jié)構(gòu)巧妙；稍用力就實(shí)現(xiàn)可調(diào)托晶盤(pán)下移；自動(dòng)上移平穩(wěn)；托晶盤(pán)與連接銷(xiāo)軸采用臺(tái)階孔套接，托晶盤(pán)旋轉(zhuǎn)時(shí)銷(xiāo)軸受彈簧阻力而靜止，連接銷(xiāo)軸只作上下位移；自動(dòng)上移后最低點(diǎn)高于副室下法蘭底平面，完全不會(huì)對(duì)副室旋轉(zhuǎn)及升降發(fā)生妨礙，并且清潔方便，完全消除取出晶棒過(guò)程中的安全隱患。單晶棒較長(zhǎng)時(shí)，可以通過(guò)調(diào)節(jié)連接銷(xiāo)軸上方兩個(gè)細(xì)牙調(diào)節(jié)螺母，使連接銷(xiāo)軸下移，實(shí)現(xiàn)套接在連接銷(xiāo)軸上的托晶盤(pán)向下移動(dòng)，滿(mǎn)足實(shí)際需要。連接銷(xiāo)軸及調(diào)節(jié)螺母采用細(xì)牙螺紋，手動(dòng)調(diào)節(jié)完畢后手動(dòng)鎖緊即可，并且有效螺紋長(zhǎng)度經(jīng)過(guò)計(jì)算并實(shí)際沖擊試驗(yàn)，方便而且安全。


圖1是本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1中A處放大圖。圖3是本實(shí)施例的俯視圖。圖中1、搖臂，2、托晶盤(pán)，3、導(dǎo)向套，4、導(dǎo)向座，5、調(diào)節(jié)螺母，6、連接銷(xiāo)軸，7、導(dǎo)向套筋板，8、副室，9、彈簧，10、副室下法蘭，11、晶棒。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例及其附圖對(duì)本發(fā)明再作描述。參見(jiàn)圖1-圖3，一種直拉式單晶爐的可調(diào)托晶盤(pán)裝置，它包副室8、副室下法蘭10、 托晶盤(pán)2，托晶盤(pán)2與搖臂1連接，導(dǎo)向套3焊接在副室下法蘭10側(cè)面，導(dǎo)向套筋板7與副室下法蘭10上平面、導(dǎo)向套3焊接，導(dǎo)向套3內(nèi)安裝彈簧9，導(dǎo)向座4安裝在導(dǎo)向套3上端， 帶外螺紋的連接銷(xiāo)軸6從下向上穿過(guò)搖臂1定位孔、導(dǎo)向套3、彈簧9、導(dǎo)向座4，用兩個(gè)調(diào)節(jié)螺母5鎖定，搖臂1與連接銷(xiāo)軸6采用臺(tái)階孔套接。參見(jiàn)圖1和圖2，所述的導(dǎo)向套3底面距離副室下法蘭10底平面1. 2倍托晶盤(pán)2厚度。參見(jiàn)圖1和圖3，晶棒11頭部錐面與托晶盤(pán)2錐形托晶面能夠有效的貼緊，托晶盤(pán)2能自動(dòng)與晶棒11對(duì)中匹配好，即靠晶棒11自動(dòng)定位。在實(shí)際生產(chǎn)使用中穩(wěn)定，可靠， 有效。
權(quán)利要求
1.一種直拉式單晶爐的可調(diào)托晶盤(pán)裝置，它包副室(8)、副室下法蘭(10)、托晶盤(pán)0)， 其特征是托晶盤(pán)O)與搖臂(1)連接，導(dǎo)向套C3)焊接在副室下法蘭(10)側(cè)面，導(dǎo)向套筋板⑵與副室下法蘭(10)上平面、導(dǎo)向套(3)焊接，導(dǎo)向套(3)內(nèi)安裝彈簧(9)，導(dǎo)向座 (4)安裝在導(dǎo)向套(3)上端，帶外螺紋的連接銷(xiāo)軸(6)從下向上穿過(guò)搖臂(1)定位孔、導(dǎo)向套(3)、彈簧(9)、導(dǎo)向座G)，用兩個(gè)調(diào)節(jié)螺母(5)鎖定，搖臂(1)與連接銷(xiāo)軸(6)采用臺(tái)階孔套接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉式單晶爐的可調(diào)托晶盤(pán)裝置，其特征是所述的導(dǎo)向套 (3)底面距離副室下法蘭(10)底平面1. 2倍托晶盤(pán)( 厚度。
全文摘要
一種直拉式單晶爐的可調(diào)托晶盤(pán)裝置，它包副室、副室下法蘭、托晶盤(pán)，托晶盤(pán)與搖臂連接，導(dǎo)向套焊接在副室下法蘭側(cè)面，導(dǎo)向套筋板與副室下法蘭上平面、導(dǎo)向套焊接，導(dǎo)向套內(nèi)安裝彈簧，導(dǎo)向座安裝在導(dǎo)向套上端，帶外螺紋的連接銷(xiāo)軸從下向上穿過(guò)搖臂定位孔、導(dǎo)向套、彈簧、導(dǎo)向座，用兩個(gè)調(diào)節(jié)螺母鎖定，搖臂與連接銷(xiāo)軸采用臺(tái)階孔套接。它結(jié)構(gòu)合理，設(shè)計(jì)巧妙，體積小，稍用力就可實(shí)現(xiàn)可調(diào)托晶盤(pán)下移，自動(dòng)上移平穩(wěn)。
文檔編號(hào)C30B15/30GK102260904SQ20111020131
公開(kāi)日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2011年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月13日
發(fā)明者劉存華, 周云龍 申請(qǐng)人:溫州永泰電器有限公司