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多線切割機(jī)的硅棒工件的制作方法

文檔序號:8047921閱讀:365來源:國知局
專利名稱:多線切割機(jī)的硅棒工件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及多線切割單晶、多晶硅棒的切割機(jī)的領(lǐng)域。
背景技術(shù)
多線切割機(jī)內(nèi)設(shè)置升降機(jī)構(gòu)和兩根主輥,升降機(jī)構(gòu)的下方連接硅棒工件,每根主輥的外周分別螺旋設(shè)置凹槽,兩根主輥的凹槽內(nèi)繞制同一根鋼線,鋼線設(shè)置在硅棒工件的下方。進(jìn)行硅棒切割時,兩根主輥的轉(zhuǎn)動帶動鋼線來回運(yùn)動,升降機(jī)構(gòu)帶動硅棒工件向下移動,通過鋼線和料漿的配合實(shí)現(xiàn)多線切割成若干硅片。硅棒進(jìn)刀時線網(wǎng)高速運(yùn)轉(zhuǎn)造成鋼線抖動,硅棒直接接觸抖動的線網(wǎng),導(dǎo)致硅片進(jìn)刀出邊緣厚薄不均以及跳線現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種使硅片厚薄均勻、提高產(chǎn)品質(zhì)量的多線切割機(jī)的硅棒工件。本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的多線切割機(jī)的硅棒工件,包括硅棒,所述硅棒的底部粘貼兩根樹脂條,兩根樹脂條分別設(shè)置在硅棒寬度的兩側(cè),每根樹脂條的長度分別與硅棒底部的長度相等。本發(fā)明通過以上設(shè)計(jì),利用與硅棒齊長,寬15匪,厚2匪硬性樹脂條,貼與硅棒進(jìn)刀處的左右角上,讓線網(wǎng)先切入質(zhì)地相對較軟的樹脂條,降低鋼線抖動,減少硅片片厚不均勻,增加硅片成品率。


圖1為本發(fā)明的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示,為多線切割機(jī)的硅棒工件,包括硅棒1,硅棒1的底部粘貼兩根樹脂條 2,兩根樹脂條2分別設(shè)置在硅棒1寬度的兩側(cè),每根樹脂條2的長度分別與硅棒1底部的長度相等。
權(quán)利要求
1.多線切割機(jī)的硅棒工件,包括硅棒,其特征在于所述硅棒的底部粘貼兩根樹脂條, 兩根樹脂條分別設(shè)置在硅棒寬度的兩側(cè),每根樹脂條的長度分別與硅棒底部的長度相等。
全文摘要
多線切割機(jī)的硅棒工件,涉及多線切割單晶、多晶硅棒的切割機(jī)的領(lǐng)域,包括硅棒,所述硅棒的底部粘貼兩根樹脂條,兩根樹脂條分別設(shè)置在硅棒寬度的兩側(cè),每根樹脂條的長度分別與硅棒底部的長度相等。本發(fā)明通過以上設(shè)計(jì),利用與硅棒齊長,寬15mm,厚2mm硬性樹脂條,貼與硅棒進(jìn)刀處的左右角上,讓線網(wǎng)先切入質(zhì)地相對較軟的樹脂條,降低鋼線抖動,減少硅片片厚不均勻,增加硅片成品率。
文檔編號C30B29/06GK102337589SQ20111019253
公開日2012年2月1日 申請日期2011年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月11日
發(fā)明者陳春暉 申請人:揚(yáng)州善鴻新能源發(fā)展有限公司
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