技術(shù)編號:8047921
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及多線切割單晶、多晶硅棒的切割機(jī)的領(lǐng)域。 背景技術(shù)多線切割機(jī)內(nèi)設(shè)置升降機(jī)構(gòu)和兩根主輥,升降機(jī)構(gòu)的下方連接硅棒工件,每根主輥的外周分別螺旋設(shè)置凹槽,兩根主輥的凹槽內(nèi)繞制同一根鋼線,鋼線設(shè)置在硅棒工件的下方。進(jìn)行硅棒切割時(shí),兩根主輥的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)鋼線來回運(yùn)動(dòng),升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)硅棒工件向下移動(dòng),通過鋼線和料漿的配合實(shí)現(xiàn)多線切割成若干硅片。硅棒進(jìn)刀時(shí)線網(wǎng)高速運(yùn)轉(zhuǎn)造成鋼線抖動(dòng),硅棒直接接觸抖動(dòng)的線網(wǎng),導(dǎo)致硅片進(jìn)刀出邊緣厚薄不均以及跳線現(xiàn)象。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種使硅片厚薄均勻、提高產(chǎn)品...
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