專利名稱：一種晶體生長爐及其安全排氣閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶體生長爐及其安全排氣閥。
背景技術(shù)：
晶體的制造過程處在高溫狀態(tài)下， 熱場結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，由于晶體安裝原因可能導(dǎo)致與晶體生長爐的爐腔內(nèi)壁接觸，產(chǎn)生電擊打火損壞腔體而漏水。還有一種情況是由于石英坩堝漏硅，損壞腔體材料而漏水。由于腔體損壞而漏出的水在高溫中急劇蒸發(fā)膨脹，極其危險，因此需要把高溫高壓的水蒸氣通過排氣閥進行釋放，以緩解晶體生長爐內(nèi)的壓力。如圖I所示，目前的排氣閥一般包括盲板3，盲板3通過螺栓6可滑動的設(shè)置在真空管道I的法蘭2上，并且在螺栓6上套設(shè)有將盲板3壓緊在法蘭2上的壓縮彈簧6，在法蘭2和盲板3之間還設(shè)有密封圖4。晶體生長爐的爐腔需經(jīng)常抽真空和充氣，以保持爐內(nèi)分別處于真空和常壓狀態(tài)。在真空狀態(tài)充入氣體以恢復(fù)常壓時，爐內(nèi)壓力等于或大于常壓情況下，爐腔內(nèi)的氧化物超細粉塵在壓力下向排氣閥的出氣端游走，受壓縮彈簧6的形變和彈簧壓力及盲板3的自重，使得排氣閥不能有效開啟。在氧化物超細粉塵游走至密封圖4處時，由于排氣閥未開啟，而使得氧化物超細粉塵游不能排出，將覆蓋在密封圖4的外表面上，導(dǎo)致密封性能下降。在抽真空時，由于密封圖4的外表面上覆蓋有氧化物超細粉塵，使得密封不嚴，產(chǎn)生漏氣，無法保證爐腔內(nèi)的真空度。因此，如何方便實現(xiàn)排氣閥的開啟，降低真空泄漏的故障率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供了一種晶體生長爐及其安全排氣閥，以方便實現(xiàn)排氣閥的開啟，降低真空泄漏的故障率。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案—種安全排氣閥，用于晶體生長爐的排氣，包括盲板和密封圖，所述盲板的一端與所述晶體生長爐的真空管道上的法蘭鉸接，所述密封圖設(shè)置在所述盲板和所述法蘭之間。優(yōu)選的，在上述安全排氣閥中，還包括鉸接銷軸；所述盲板上設(shè)置有第一固定部件，該第一固定部件上設(shè)有第一鉸接孔；所述法蘭上設(shè)置有第二固定部件，該第二固定部件上設(shè)有第二鉸接孔，所述鉸接銷軸依次插設(shè)于所述第一鉸接孔和所述第二鉸接孔上。優(yōu)選的，在上述安全排氣閥中，第一固定部件和所述第二固定部件分別通過緊固螺栓固定在所述盲板和所述法蘭上。優(yōu)選的，在上述安全排氣閥中，，所述法蘭的端面上開設(shè)有容納所述密封圖的槽，所述密封圖置于該槽內(nèi)。優(yōu)選的，在上述安全排氣閥中，所述密封圖為0型密封圖。優(yōu)選的，在上述安全排氣閥中，所述盲板水平置于所述法蘭上。
優(yōu)選的，在上述安全排氣閥中，所述盲板傾斜設(shè)置于所述法蘭上。優(yōu)選的，在上述安全排氣閥中，所述盲板與水平面的夾角為30 50度。一種晶體生長爐，包括排氣閥，所述排氣閥為如上任一項所述的安全排氣閥。從上述的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的安全排氣閥，用于晶體生長爐的排氣，包括盲板和密封圖，其中，盲板的一端與所述晶體生長爐的真空管道上的法蘭鉸接，密封圖設(shè)置在所述盲板和所述法蘭之間。本發(fā)明省去了壓縮彈簧和螺栓，僅依靠盲板的重力保持爐腔的密封。在爐室由真空狀態(tài)充氣至常壓時，如果出現(xiàn)過充現(xiàn)象，爐腔內(nèi)的氧化物超細粉塵在壓力下向安全排氣閥的出氣端游走，在氧化物超細粉塵游走至密封圖處時，由于安全排氣閥僅依靠盲板的自重進行密封，因此可輕易使得安全排氣閥打開，而將氧化物超細粉塵放出，起到自然排壓的目的。在真空腔體遇到打火損壞造成漏水，水在高溫下蒸發(fā)后，安全排氣閥會迅速排氣。而且本發(fā)明清理真空管路十分方便，掀起盲板就可進行管路清洗，放下后自然封閉管路，開啟真空后完全吸緊。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為現(xiàn)有排氣閥的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的安全排氣閥的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3本發(fā)明另一實施例提供的安全排氣閥的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式本發(fā)明公開了一種晶體生長爐及其安全排氣閥，以方便實現(xiàn)排氣閥的開啟，降低
真空泄漏的故障率。下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參閱圖2和圖3，圖2為本發(fā)明實施例提供的安全排氣閥的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3本發(fā)明另一實施例提供的安全排氣閥的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明提供的安全排氣閥，用于晶體生長爐的排氣，包括盲板13和密封圖14，其中，盲板13的一端與晶體生長爐的真空管道11上的法蘭12鉸接，密封圖14設(shè)置在盲板13和法蘭12之間。盲板13在重力的作用下，緊貼密封圖14，從而保證真空管道11內(nèi)的密封。在真空管道11內(nèi)的氣壓大于外部大氣壓時，盲板13在內(nèi)部氣壓的作用下，沿其與法蘭2之間的鉸接軸轉(zhuǎn)動，從而與密封圖14之間產(chǎn)生排氣間隙，將內(nèi)部氣體排出。本發(fā)明省去了壓縮彈簧和螺栓，僅依靠盲板13的重力保持爐腔的密封。在爐室由真空狀態(tài)充氣至常壓時，如果出現(xiàn)過充現(xiàn)象，爐腔內(nèi)的氧化物超細粉塵在壓力下向安全排氣閥的出氣端游走，在氧化物超細粉塵游走至密封圖14處時，由于安全排氣閥僅依靠盲板13的自重進行密封，因此可輕易使得安全排氣閥打開，而將氧化物超細粉塵放出，起到自然排壓的目的。在真空腔體遇到打火損壞造成漏水，水在高溫下蒸發(fā)后，安全排氣閥會迅速排氣。而且本發(fā)明清理真空管道11十分方便，掀起盲板13就可進行真空管道11清洗，放下后自然封閉真空管道11，開啟真空后完全吸緊。本發(fā)明通過鉸接銷軸17實現(xiàn)盲板13和法蘭12之間的鉸接，盲板13上設(shè)置有第一固定部件15，該第一固定部件15上設(shè)有第一鉸接孔；法蘭12上設(shè)置有第二固定部件16，該第二固定部件16上設(shè)有第二鉸接孔，鉸接銷軸17依次插設(shè)于第一鉸接孔和第二鉸接孔上。使用時將第一固定部件15和第二固定部件16分別固定在盲板13和法蘭12上，可通過焊接，螺栓連接等連接方式，將第一固定部件15和第二固定部件16分別固定在盲板13和法蘭12上。本發(fā)明優(yōu)選的將第一固定部件15和第二固定部件16分別通過緊固螺栓固定在盲板13和法蘭12上，這樣在盲板13損壞后，可僅對盲板13進行更換，將第一固定部件15和第二固定部件16拆卸后，還可繼續(xù)使用。 法蘭12的端面上開設(shè)有容納密封圖14的槽，密封圖14置于該槽內(nèi)，該密封圖14優(yōu)選為0型密封圖。本發(fā)明提供的盲板13可水平置于法蘭12上，也可傾斜設(shè)置于法蘭12上，在盲板13傾斜設(shè)置時，應(yīng)保證盲板13在重力的作用下，緊貼在密封圖14上，以保持真空管道11內(nèi)的密封。優(yōu)選的，盲板13的與水平面的傾斜角度為45度。原理上將盲板13的與水平面的夾角可為0 90 (不包括90)度，在30 50度效果較好，45度時效果最好。本發(fā)明提供的晶體生長爐，包括排氣閥，其中，排氣閥為如上實施例公開的安全排氣閥。在晶體生長爐的真空腔體遇到打火損壞造成漏水，水在高溫下蒸發(fā)后，安全排氣閥會迅速排氣。而且本發(fā)明清理真空管道11十分方便，掀起盲板13就可進行真空管道11清洗，放下后自然封閉真空管道11，開啟真空后完全吸緊。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬范圍。
權(quán)利要求
1.一種安全排氣閥，用于晶體生長爐的排氣，包括盲板(13)和密封圖(14)，其特征在于，所述盲板(13)的一端與所述晶體生長爐的真空管道(11)上的法蘭(12)鉸接，所述密封圖(14)設(shè)置在所述盲板(13)和所述法蘭(12)之間。
2.如權(quán)利要求I所述的安全排氣閥，其特征在于，還包括鉸接銷軸(17)； 所述盲板(13)上設(shè)置有第一固定部件(15)，該第一固定部件(15)上設(shè)有第一鉸接孔； 所述法蘭(12)上設(shè)置有第二固定部件(16)，該第二固定部件(16)上設(shè)有第二鉸接孔，所述鉸接銷軸(17)依次插設(shè)于所述第一鉸接孔和所述第二鉸接孔上。
3.如權(quán)利要求2所述的安全排氣閥，其特征在于，第一固定部件(15)和所述第二固定部件(16)分別通過緊固螺栓固定在所述盲板(13)和所述法蘭(12)上。
4.如權(quán)利要求I所述的安全排氣閥，其特征在于，所述法蘭(12)的端面上開設(shè)有容納所述密封圖(14)的槽，所述密封圖(14)置于該槽內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的安全排氣閥，其特征在于，所述密封圖(14)為O型密封圖。
6.如權(quán)利要求1-5任一項所述的安全排氣閥，其特征在于，所述盲板(13)水平置于所述法蘭(12)上。
7.如權(quán)利要求1-5任一項所述的安全排氣閥，其特征在于，所述盲板(13)傾斜設(shè)置于所述法蘭(12)上。
8.如權(quán)利要求7所述的安全排氣閥，其特征在于，所述盲板(13)與水平面的夾角為30 50度。
9.一種晶體生長爐，包括排氣閥，其特征在于，所述排氣閥為如權(quán)利要求1-8任一項所述的安全排氣閥。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種安全排氣閥，用于晶體生長爐的排氣，包括盲板和密封圖，所述盲板的一端與所述晶體生長爐的真空管道上的法蘭鉸接，所述密封圖設(shè)置在所述盲板和所述法蘭之間。本發(fā)明出現(xiàn)過充現(xiàn)象時，爐腔內(nèi)的氧化物超細粉塵游走至密封圖處，由于安全排氣閥僅依靠盲板的自重進行密封，因此可輕易使得安全排氣閥打開，而將氧化物超細粉塵放出，起到自然排壓的目的。在真空腔體遇到打火損壞造成漏水，水在高溫下蒸發(fā)后，安全排氣閥會迅速排氣。而且本發(fā)明清理真空管路十分方便，掀起盲板就可進行管路清洗，放下后自然封閉管路，開啟真空后完全吸緊。本發(fā)明還公開了一種具有上述安全排氣閥的晶體生長爐。
文檔編號C30B35/00GK102787363SQ20111013225
公開日2012年11月21日 申請日期2011年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月20日
發(fā)明者湯旋 申請人:浙江昱輝陽光能源有限公司