一種晶體爐隨爐退火裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種晶體加工裝置，具體是一種晶體爐隨爐退火裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的晶體生長爐，在晶體提拉時需要不斷的對晶體附近的溫度進行變換，工作繁瑣，生產(chǎn)效率較低，且晶體在整個提拉過程中溫度變化不均勻，晶體容易開裂，成品率較低，在規(guī)?；a(chǎn)中影響了企業(yè)的生產(chǎn)效益。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種晶體爐隨爐退火裝置，以解決上述【背景技術(shù)】中提出的問題。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案:
[0005]一種晶體爐隨爐退火裝置，包括攪拌電機、加熱絲、隔流板、溫度顯示器、導(dǎo)熱油、外保溫筒、內(nèi)保溫筒和晶體生長爐，所述晶體生長爐的上方設(shè)有內(nèi)保溫筒，所述內(nèi)保溫筒的外側(cè)嵌套密封設(shè)有外保溫筒，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的上部為梯形機構(gòu)，下部為圓柱形結(jié)構(gòu)，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部設(shè)有導(dǎo)熱油，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部交錯均勻設(shè)置若干隔流板，所述隔流板的下側(cè)于外保溫筒的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)狀加熱絲，所述加熱絲的下方于外保溫筒與內(nèi)保溫筒的底部中間位置左右兩側(cè)均設(shè)有攪拌葉片，所述攪拌葉片與攪拌電機連接，所述攪拌電機位于晶體生長爐上，且攪拌電機的外側(cè)設(shè)有隔熱層，所述外保溫筒的左側(cè)上部設(shè)有導(dǎo)熱油補充管，所述內(nèi)保溫筒的上側(cè)壁上設(shè)有二號熱電偶，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部設(shè)有一號熱電偶，所述一號熱電偶和二號熱電偶均與溫度顯示器電連接。
[0006]作為本實用新型進一步的方案:所述外保溫筒由隔熱保溫材料制成，內(nèi)保溫筒由導(dǎo)熱材料制成。
[0007]作為本實用新型進一步的方案:所述隔流板由隔熱材料制成。
[0008]作為本實用新型進一步的方案:所述一號熱電偶與二號熱電偶在同一水平線上。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:通過在晶體生長爐的晶體提拉口嵌套設(shè)置內(nèi)外保溫筒，且在內(nèi)外保溫筒的內(nèi)部交錯設(shè)置隔流板，并且灌裝入導(dǎo)熱油，既可以使得晶體提拉時溫度不會驟變，減少了晶體內(nèi)部的熱應(yīng)力，且通過攪拌電機將加熱絲的熱量向上方通過隔流板阻隔后進行階段傳送，便于晶體提拉，到達內(nèi)外保溫筒的口沿時接近室溫即可取出晶體，無需單獨的升降溫操作，效率得以提高，通過熱電偶進行溫度監(jiān)測，并通過溫度顯示器顯示，利于對換熱效率和溫度狀況進行分析，進一步提高晶體成品率，此外，在攪拌電機的外側(cè)設(shè)置隔熱層，可以避免攪拌電機高溫損壞，延長使用壽命。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0012]請參閱圖1，本實用新型實施例中，一種晶體爐隨爐退火裝置，包括攪拌電機1、隔熱層2、攪拌葉片3、加熱絲4、隔流板5、溫度顯示器6、一號熱電偶7、二號熱電偶8、晶體9、導(dǎo)熱油補充管10、導(dǎo)熱油11、外保溫筒12、內(nèi)保溫筒13和晶體生長爐14，所述晶體生長爐14的上方設(shè)有內(nèi)保溫筒13，所述內(nèi)保溫筒13的外側(cè)嵌套密封設(shè)有外保溫筒12，且外保溫筒12由隔熱保溫材料制成，內(nèi)保溫筒13由導(dǎo)熱材料制成，可以通過外保溫筒12進行保溫，避免熱量散失，通過內(nèi)保溫筒13將熱量傳遞到晶體9的區(qū)域，所述外保溫筒12與內(nèi)保溫筒13的上部為梯形機構(gòu)，下部為圓柱形結(jié)構(gòu)，所述外保溫筒12與內(nèi)保溫筒13的內(nèi)部設(shè)有導(dǎo)熱油11，通過導(dǎo)熱油11進行傳熱，所述外保溫筒12與內(nèi)保溫筒13的內(nèi)部交錯均勻設(shè)置若干隔流板5，所述隔流板5由隔熱材料制成，通過隔流板5對導(dǎo)熱油11進行分段隔熱，以適應(yīng)晶體9的不同溫度段需要，所述隔流板5的下側(cè)于外保溫筒12的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)狀加熱絲4，通過加熱絲4對導(dǎo)熱油11進行加熱，所述加熱絲4的下方于外保溫筒12與內(nèi)保溫筒13的底部中間位置左右兩側(cè)均設(shè)有攪拌葉片3，所述攪拌葉片3與攪拌電機I連接，通過攪拌電機I驅(qū)動攪拌葉片3轉(zhuǎn)動，所述攪拌電機I位于晶體生長爐14上，且攪拌電機I的外側(cè)設(shè)有隔熱層2，通過隔熱層2對晶體生長爐14進行隔熱，避免攪拌電機I高溫損壞，所述外保溫筒12的左側(cè)上部設(shè)有導(dǎo)熱油補充管10，通過導(dǎo)熱油補充管10補充損耗的導(dǎo)熱油11。
[0013]所述內(nèi)保溫筒13的上側(cè)壁上設(shè)有二號熱電偶8，所述外保溫筒12與內(nèi)保溫筒13的內(nèi)部設(shè)有一號熱電偶7，且一號熱電偶7與二號熱電偶8在同一水平線上，所述一號熱電偶7和二號熱電偶8均與溫度顯示器6電連接，通過一號熱電偶7檢測導(dǎo)熱油11的溫度，通過二號熱電偶8檢測晶體9位置區(qū)域的溫度，并均通過溫度顯示器6進行顯示，以及時的調(diào)整相關(guān)作業(yè)參數(shù)。
[0014]本實用新型的工作原理是:通過在外保溫筒12和內(nèi)保溫筒13的內(nèi)部填充導(dǎo)熱油11，可以使得溫度比較均勻，不會出現(xiàn)驟變現(xiàn)象，且通過加熱絲4對導(dǎo)熱油11進行加熱，通過攪拌電機I對導(dǎo)熱油11進行攪拌，使得其底部的熱量向上部擴散，通過交錯設(shè)置的隔流板5可以使的外保溫筒12和內(nèi)保溫筒13內(nèi)部的熱量呈階梯型遞減，當將晶體9提拉到外保溫筒12和內(nèi)保溫筒13的上方端部時接近于室溫，即可取出晶體9，此外，通過一號熱電偶7和二號熱電偶8可以檢測溫度，并通過溫度顯示器6顯示，有助于分析換熱效率和檢測外保溫筒12和內(nèi)保溫筒13上部的溫度狀況，以及時的調(diào)整相關(guān)參數(shù)，當導(dǎo)熱油11損耗后可以從導(dǎo)熱油補充管10進行補充。
[0015]對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0016]此外，應(yīng)當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。
【主權(quán)項】
1.一種晶體爐隨爐退火裝置，包括攪拌電機、加熱絲、隔流板、溫度顯示器、導(dǎo)熱油、夕卜保溫筒、內(nèi)保溫筒和晶體生長爐，其特征在于，所述晶體生長爐的上方設(shè)有內(nèi)保溫筒，所述內(nèi)保溫筒的外側(cè)嵌套密封設(shè)有外保溫筒，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的上部為梯形機構(gòu)，下部為圓柱形結(jié)構(gòu)，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部設(shè)有導(dǎo)熱油，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部交錯均勻設(shè)置若干隔流板，所述隔流板的下側(cè)于外保溫筒的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)狀加熱絲，所述加熱絲的下方于外保溫筒與內(nèi)保溫筒的底部中間位置左右兩側(cè)均設(shè)有攪拌葉片，所述攪拌葉片與攪拌電機連接，所述攪拌電機位于晶體生長爐上，且攪拌電機的外側(cè)設(shè)有隔熱層，所述外保溫筒的左側(cè)上部設(shè)有導(dǎo)熱油補充管，所述內(nèi)保溫筒的上側(cè)壁上設(shè)有二號熱電偶，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部設(shè)有一號熱電偶，所述一號熱電偶和二號熱電偶均與溫度顯示器電連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體爐隨爐退火裝置，其特征在于，所述外保溫筒由隔熱保溫材料制成，內(nèi)保溫筒由導(dǎo)熱材料制成。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體爐隨爐退火裝置，其特征在于，所述隔流板由隔熱材料制成。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體爐隨爐退火裝置，其特征在于，所述一號熱電偶與二號熱電偶在同一水平線上。
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶體爐隨爐退火裝置，包括溫度顯示器、外保溫筒、內(nèi)保溫筒和晶體生長爐，所述晶體生長爐的上方設(shè)有內(nèi)保溫筒，所述內(nèi)保溫筒的外側(cè)嵌套密封設(shè)有外保溫筒，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部設(shè)有導(dǎo)熱油，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部交錯均勻設(shè)置若干隔流板，所述隔流板的下側(cè)于外保溫筒的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)狀加熱絲，所述加熱絲的下方于外保溫筒與內(nèi)保溫筒的底部中間位置左右兩側(cè)均設(shè)有攪拌電機，所述內(nèi)保溫筒的上側(cè)壁上設(shè)有二號熱電偶，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部設(shè)有一號熱電偶，所述一號熱電偶和二號熱電偶均與溫度顯示器電連接。本實用新型晶體提拉時處于同一個溫度場中，且無需升降溫操作，作業(yè)效率大幅度提高。
【IPC分類】C30B15/14
【公開號】CN204727985
【申請?zhí)枴緾N201520258941
【發(fā)明人】巨二方
【申請人】上海贏奔光電科技有限公司
【公開日】2015年10月28日
【申請日】2015年4月24日