專(zhuān)利名稱(chēng)：多晶硅提純鑄錠爐真空機(jī)組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能設(shè)備制造領(lǐng)域，特別涉及一種多晶硅提純鑄錠爐真空機(jī)組。
背景技術(shù)：
多晶硅提純鑄錠爐是物理法制造多晶硅材料的主要設(shè)備，也是多晶硅提純過(guò)程エ藝除磷的關(guān)鍵設(shè)備，高溫高真空是除磷的關(guān)鍵エ藝，由于在除磷過(guò)程中加熱溫度需達(dá)到1600°C左右，所以大量的硅蒸汽和其它揮發(fā)物瞬間揮發(fā)，這就要求有高抽速的真空機(jī)組來(lái)將這些雜質(zhì)抽走并將真空度保持在極高的狀態(tài)?，F(xiàn)在的真空機(jī)組一般采用常規(guī)的真空三級(jí)泵抽真空系統(tǒng)，即選片泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵，由于高溫的瞬間揮發(fā)速度快，往往擴(kuò)散泵達(dá)不到起動(dòng)的要求，使擴(kuò)散泵不能工作，極限真空度不夠，無(wú)法達(dá)到真空除磷的目的。所以現(xiàn)在的真空機(jī)組不能滿(mǎn)足當(dāng)前エ業(yè)生產(chǎn)的需要。

發(fā)明內(nèi)容
為解決普通現(xiàn)有真空機(jī)組工作的極限真空度不夠，無(wú)法達(dá)到真空除磷目的的問(wèn)題，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案一種多晶硅提純鑄錠爐真空機(jī)組，包括4臺(tái)H-150滑閥泵、2臺(tái)ZJB-600羅茨泵、2臺(tái)ZJB-2500羅茨泵、I臺(tái)K-1200擴(kuò)散泵，所述的2臺(tái)ZJB-600羅茨泵和2臺(tái)ZJB-2500羅茨泵分為兩組，其中I臺(tái)ZJB-600羅茨泵和I臺(tái)ZJB-2500羅茨泵串聯(lián)在一起，前級(jí)為ZJB-2500羅茨泵，后級(jí)為ZJB-600羅茨泵，共串聯(lián)成兩組；其中兩臺(tái)H-150滑閥泵并聯(lián)，再串聯(lián)I臺(tái)ZJB-600羅茨泵和I臺(tái)ZJB-1200羅茨泵組成兩級(jí)抽真空機(jī)組兩套，再將兩套兩級(jí)抽真空機(jī)組并聯(lián)在K-1200擴(kuò)散泵上。本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)是I、本發(fā)明可以使得冷態(tài)極限真空達(dá)到6. 7X 10 ；2、本發(fā)明有效克服了高溫狀態(tài)硅蒸汽的揮發(fā)使得無(wú)法啟動(dòng)擴(kuò)散泵的問(wèn)題。


圖I為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。如附圖I所示，一種多晶硅提純鑄錠爐真空機(jī)組，包括4臺(tái)H-150滑閥泵、2臺(tái)ZJB-600羅茨泵、2臺(tái)ZJB-2500羅茨泵、I臺(tái)K-1200擴(kuò)散泵，所述的2臺(tái)ZJB-600羅茨泵和
2臺(tái)ZJB-2500羅茨泵分為兩組，其中I臺(tái)ZJB-600羅茨泵和I臺(tái)ZJB-2500羅茨泵串聯(lián)在ー起，前級(jí)為ZJB-2500羅茨泵，后級(jí)為ZJB-600羅茨泵，共串聯(lián)成兩組；其中兩臺(tái)H-150滑閥泵并聯(lián)，再串聯(lián)I臺(tái)ZJB-600羅茨泵和I臺(tái)ZJB-1200羅茨泵組成兩級(jí)抽真空機(jī)組兩套，再將兩套兩級(jí)抽真空機(jī)組并聯(lián)在K-1200擴(kuò)散泵上。所述的硅除磷真空機(jī)組不需同時(shí)啟動(dòng)，兩級(jí)泵機(jī)組是在擴(kuò)散泵無(wú)法啟動(dòng)的前提下啟動(dòng)的，起到增壓的作用。擴(kuò)散泵啟動(dòng)后再關(guān)閉其中ー套兩級(jí)泵真空機(jī)組。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明所揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可不經(jīng)過(guò)創(chuàng)造性勞動(dòng)想到的變化或 替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書(shū)所限定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種多晶硅提純鑄錠爐真空機(jī)組，其特征在于所述真空機(jī)組包括4臺(tái)H-150滑閥泵、2臺(tái)ZJB-600羅茨泵、2臺(tái)ZJB-2500羅茨泵、I臺(tái)K-1200擴(kuò)散泵，所述的2臺(tái)ZJB-600羅茨泵和2臺(tái)ZJB-2500羅茨泵分為兩組，其中I臺(tái)ZJB-600羅茨泵和I臺(tái)ZJB-2500羅茨泵串聯(lián)在一起，前級(jí)為ZJB-2500羅茨泵，后級(jí)為ZJB-600羅茨泵，共串聯(lián)成兩組；其中兩臺(tái)H-150滑閥泵并聯(lián)，再串聯(lián)I臺(tái)ZJB-600羅茨泵和I臺(tái)ZJB-1200羅茨泵組成兩級(jí)抽真空機(jī)組兩套，再將兩套兩級(jí)抽真空機(jī)組并聯(lián)在K-1200擴(kuò)散泵上。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種多晶硅提純鑄錠爐真空機(jī)組，包括4臺(tái)H-150滑閥泵、2臺(tái)ZJB-600羅茨泵、2臺(tái)ZJB-2500羅茨泵、1臺(tái)K-1200擴(kuò)散泵，所述的2臺(tái)ZJB-600羅茨泵和2臺(tái)ZJB-2500羅茨泵分為兩組，其中1臺(tái)ZJB-600羅茨泵和1臺(tái)ZJB-2500羅茨泵串聯(lián)在一起，前級(jí)為ZJB-2500羅茨泵，后級(jí)為ZJB-600羅茨泵，共串聯(lián)成兩組；其中兩臺(tái)H-150滑閥泵并聯(lián)，再串聯(lián)之前串聯(lián)的兩級(jí)抽真空機(jī)組兩套，再將兩套兩級(jí)抽真空機(jī)組并聯(lián)在K-1200擴(kuò)散泵上。本發(fā)明可以使得冷態(tài)極限真空達(dá)到6.7×10-4Pa；效克服了高溫狀態(tài)硅蒸汽的揮發(fā)使得無(wú)法啟動(dòng)擴(kuò)散泵的問(wèn)題。
文檔編號(hào)C30B28/06GK102786057SQ20111012940
公開(kāi)日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2011年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月19日
發(fā)明者李榮華 申請(qǐng)人:吳江億泰光伏設(shè)備有限公司