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多晶硅提純鑄錠爐真空機(jī)組的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8046327

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及太陽(yáng)能設(shè)備制造領(lǐng)域,特別涉及一種多晶硅提純鑄錠爐真空機(jī)組。背景技術(shù)多晶硅提純鑄錠爐是物理法制造多晶硅材料的主要設(shè)備,也是多晶硅提純過(guò)程エ藝除磷的關(guān)鍵設(shè)備,高溫高真空是除磷的關(guān)鍵エ藝,由于在除磷過(guò)程中加熱溫度需達(dá)到1600°C左右,所以大量的硅蒸汽和其它揮發(fā)物瞬間揮發(fā),這就要求有高抽速的真空機(jī)組來(lái)將這些雜質(zhì)抽走并將真空度保持在極高的狀態(tài)。現(xiàn)在的真空機(jī)組一般采用常規(guī)的真空三級(jí)泵抽真空系統(tǒng),即選片泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵,由于高溫的瞬間揮發(fā)速度快,往往擴(kuò)散泵達(dá)不到起動(dòng)的要求,使擴(kuò)散泵不能工作,極限真空度不夠,...
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