專利名稱：一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
單晶硅作為一種半導(dǎo)體材料，一般用于制造集成電路和其他電子元件，單晶硅的 生長技術(shù)有兩種區(qū)熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。直拉法制造單晶硅 大致分為以下幾個階段裝多晶料、抽空、多晶硅熔化、頸及肩的生長、等直徑生長、尾部晶 體生長、晶體冷去，其中大部分過程都是吸熱過程，需要外部供給熱量，因此單晶爐的熱場 系統(tǒng)保溫性能對單晶硅制造起著至關(guān)重要的作用。目前普遍采用的開放式單晶爐熱場系統(tǒng) 存在著保溫性能差，熱量損耗大的缺點。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種保溫性能良好、熱能損耗小的密 閉式單晶爐熱場系統(tǒng)。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)，其特點是它包 括保溫筒，保溫筒設(shè)置于爐體的內(nèi)腔，所述保溫筒內(nèi)腔設(shè)置有加熱器，加熱器通過電極螺栓 固定在爐體的底盤上，并與爐體底部的加熱電極相連接，所述加熱器的內(nèi)腔中央設(shè)置有中 軸，所述中軸上端設(shè)置有坩堝托盤，下端穿出爐體底部，坩堝托盤上設(shè)置有石墨坩堝，石墨 坩堝內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，石英坩堝內(nèi)用于放置多晶料，其特征在于保溫筒與爐體的爐壁之 間設(shè)置有保溫罩，爐體內(nèi)腔上部設(shè)置有倒梯形的熱屏，熱屏由熱屏內(nèi)層、熱屏外層和設(shè)置于 熱屏內(nèi)層和熱屏外層之間的保溫層組成，保溫筒頂部設(shè)置有與熱屏相連接保溫蓋。所述保溫罩與保溫層的材料為石墨氈。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是本實用新型一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)，在原有開放式熱場系統(tǒng)的基礎(chǔ)上增加了 熱屏熱屏裝置該進為密閉式熱場系統(tǒng)，并在保溫筒外圍增加保溫罩，很大程度上改善了熱 場系統(tǒng)的保溫性能，減小了熱場系統(tǒng)的熱能損耗。

圖1為本實用新型一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中爐體1、熱屏內(nèi)層2、熱屏外層3、保溫筒4、石墨坩堝5、坩堝托盤6、中軸7、加熱電 極8、石英坩堝9、加熱器10、保溫罩11、保溫蓋12、保溫層13、電極螺栓14、多晶料15。
具體實施方式
參見圖1，本實用新型涉及的一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)，它包括保溫筒4，保溫 筒4設(shè)置于爐體1的內(nèi)腔，保溫筒4與爐體1的爐壁之間設(shè)置有保溫罩11，所述保溫筒4內(nèi)腔設(shè)置有加熱器10，加熱器10通過電極螺栓14固定在爐體1的底盤上，并與爐體1底部的 加熱電極8相連接，所述加熱器10的內(nèi)腔中央設(shè)置有中軸7，所述中軸7上端設(shè)置有坩堝托 盤6，下端穿出爐體1底部，坩堝托盤6上設(shè)置有石墨坩堝5，石墨坩堝5內(nèi)設(shè)置有石英坩堝 9，石英坩堝9內(nèi)用于放置多晶料15，爐體內(nèi)腔上部設(shè)置有倒梯形的熱屏，熱屏由熱屏內(nèi)層 2、熱屏外層3和設(shè)置于熱屏內(nèi)層2和熱屏外層3之間的保溫層13組成，保溫筒4頂部設(shè)置 有與熱屏相連接保溫蓋12。 所述保溫罩11與保溫層13的材料為石墨氈。
權(quán)利要求1.一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)，它包括保溫筒G)，保溫筒(4)設(shè)置于爐體(1)的內(nèi) 腔，所述保溫筒⑷內(nèi)腔設(shè)置有加熱器(10)，加熱器(10)通過電極螺栓(14)固定在爐體 (1)的底盤上，并與爐體(1)底部的加熱電極(8)相連接，所述加熱器(10)的內(nèi)腔中央設(shè)置 有中軸(7)，所述中軸(7)上端設(shè)置有坩堝托盤(6)，下端穿出爐體(1)底部，坩堝托盤(6) 上設(shè)置有石墨坩堝(5)，石墨坩堝(5)內(nèi)設(shè)置有石英坩堝(9)，石英坩堝(9)內(nèi)用于放置多 晶料(15)，其特征在于保溫筒(4)與爐體(1)的爐壁之間設(shè)置有保溫罩(11)，爐體內(nèi)腔上 部設(shè)置有倒梯形的熱屏，熱屏由熱屏內(nèi)層O)、熱屏外層(3)和設(shè)置于熱屏內(nèi)層(2)和熱屏 外層C3)之間的保溫層(1 組成，保溫筒(4)頂部設(shè)置有與熱屏相連接保溫蓋(12)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)，其特征在于所述保溫罩(11) 與保溫層(13)的材料為石墨氈。
專利摘要本實用新型涉及一種密閉式單晶爐熱場系統(tǒng)，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域。它包括保溫筒(4)，保溫筒(4)設(shè)置于爐體(1)的內(nèi)腔，所述保溫筒(4)內(nèi)腔設(shè)置有加熱器(10)，加熱器(10)通過電極螺栓(14)固定在爐體(1)的底盤上，并與爐體(1)底部的加熱電極(8)相連接，所述加熱器(10)的內(nèi)腔中央設(shè)置有中軸(7)，所述中軸(7)上端設(shè)置有坩堝托盤(6)，下端穿出爐體(1)底部，坩堝托盤(6)上設(shè)置有石墨坩堝(5)，石墨坩堝(5)內(nèi)設(shè)置有石英坩堝(9)，石英坩堝(9)內(nèi)用于放置多晶料(15)，其特征在于保溫筒(4)與爐體(1)的爐壁之間設(shè)置有保溫罩(11)，爐體內(nèi)腔上部設(shè)置有倒梯形的熱屏，熱屏由熱屏內(nèi)層(2)、熱屏外層(3)和設(shè)置于熱屏內(nèi)層(2)和熱屏外層(3)之間的保溫層(13)組成，保溫筒(4)頂部設(shè)置有與熱屏相連接保溫蓋(12)。
文檔編號C30B15/14GK201901727SQ20102065340
公開日2011年7月20日 申請日期2010年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月11日
發(fā)明者施宇峰, 査如德, 査建洪 申請人:江陰市華英光伏科技有限公司