專利名稱：一種晶體生長爐的手動坩堝升降機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體行業(yè)的晶體生長爐手動坩堝升降機構，采用這種機構 結構簡單，操作方便，可實現(xiàn)在操作臺上直接進行手動坩堝升降。
背景技術：
目前公知的用直拉法(切克勞斯基法)生長單晶的晶體生長爐，其手動坩堝升降 機構位于爐底座側面或底座內，正常情況下，工人基本都是在操作臺上進行工作，當需要進 行手動坩堝升降操作時，工人必須從操作臺上轉移到爐底座側面進行操作，使用起來非常 不方便，特別是在緊急情況下需要手動進行坩堝升降時會造成時間上的延誤。發(fā)明內容本實用新型提供了一種晶體生長爐的手動坩堝升降機構，該機構可實現(xiàn)在操作臺 上直接進行手動坩堝升降操作，結構簡單，使用方便。本實用新型采用的技術方案是本實用新型所述的手動坩堝升降機構包括手輪，限位開關，齒套，傳動部件和基 座，所述的傳動部件包括旋轉軸、傳動軸和兩對錐齒輪，所述基座包括旋轉軸基座和傳動軸 基座。手輪可以按下和拔出，按下手輪，帶動限位開關閉合，信號反饋通知坩堝升降電機斷 電，就可以進行手動坩堝升降操作了，手輪按下的同時還可以使齒套咬合，手輪被聯(lián)接固定 在旋轉軸上，轉動手輪驅動旋轉軸，旋轉軸帶動傳動軸，傳動軸帶動絲杠，絲杠帶動坩堝軸， 實現(xiàn)坩堝手動升降。本實用新型的有益效果是本實用新型機構實現(xiàn)了在操作臺上直接進行手動坩 堝升降操作，安裝使用方便，穩(wěn)定性好，并能在緊急情況下進行手動坩堝升降操作時節(jié)省時 間。
附圖是本實用新型實施例剖面構造圖附圖中1.手輪，2.限位開關，3.旋轉軸基座，4.旋轉軸，5.錐齒輪對，6.齒套，7.傳動軸基座，8.傳動軸，9.錐齒輪對，10.絲杠，11.坩堝軸A.操作臺，B.爐底座具體實施方式
參見附圖，旋轉軸基座3和傳動軸基座7通過螺絲連接在一起，并共同固定在爐底 座B上，旋轉軸4豎直安裝在旋轉軸基座3內，手輪1安裝在旋轉軸4的最上端，手輪1的 下表面是齒套6的一面，齒套6的另一面被固定在旋轉軸4上，限位開關2固定在旋轉軸基 座3上且剛好位于手輪1的側下方，旋轉軸4和傳動軸8通過一對錐齒輪5垂直連接起來， 傳動軸8水平固定在傳動軸基座7內，傳動軸8和絲杠10通過另一對錐齒輪9垂直連接起來，絲杠10上裝有滑塊12，坩堝軸11被固定安裝在滑塊12上。 操作臺A安裝在爐底座B上，在操作臺A正對手輪1的位置開有一圓孔，工人可以 在操作臺A上把手伸進圓孔直接操作手輪1，手輪1可以按下和拔出，當使用坩堝升降電機 實現(xiàn)坩堝升降時，手輪1處于拔出狀態(tài)，限位開關2斷開，當需要手動操作坩堝升降時，直接 從操作臺A的圓孔處伸手按下手輪1，限位開關2閉合，信號反饋通知坩堝升降電機斷電，就 可以進行手動坩堝升降操作了，手輪1按下的同時還可以使齒套6的兩個面互相咬合，手輪 1被聯(lián)接固定在旋轉軸4上，轉動手輪1驅動旋轉軸4轉動，旋轉軸4通過錐齒輪對5帶動 傳動軸8轉動，傳動軸8通過錐齒輪對9帶動絲杠10轉動，絲杠10上裝有滑塊12，坩堝軸 11固定在滑塊12上，當絲杠10轉動時滑塊12可以上下移動，進而帶動安裝在滑塊12上的 坩堝軸11作升降運動，實現(xiàn)手動坩堝升降。
權利要求1.一種晶體生長爐的手動坩堝升降機構，其特征在于包括手輪，限位開關，齒套，傳 動部件和基座，所述傳動部件包括旋轉軸，傳動軸和兩對錐齒輪，所述基座包括旋轉軸基座 和傳動軸基座。
2.根據權利要求1所述的晶體生長爐的手動坩堝升降機構，其特征在于旋轉軸和傳 動軸垂直布置，傳動軸與絲杠垂直布置。
3.根據權利要求1所述的晶體生長爐的手動坩堝升降機構，其特征在于旋轉軸上有 一個錐齒輪，傳動軸上有兩個錐齒輪，絲杠上有一個錐齒輪。
4.根據權利要求3所述的晶體生長爐的手動坩堝升降機構，其特征在于固定于旋轉 軸和傳動軸之間的一對錐齒輪垂直嚙合，固定于傳動軸和絲杠之間的另一對錐齒輪垂直嚙I=I ο
5.根據權利要求1所述的晶體生長爐的手動坩堝升降機構，其特征在于手輪安裝在 旋轉軸上，手輪的下表面是齒套的一面，齒套的另一面固定在旋轉軸上。
6.根據權利要求1所述的晶體生長爐的手動坩堝升降機構，其特征在于手輪下方安 裝有一個限位開關。
7.根據權利要求5或6所述的晶體生長爐的手動坩堝升降機構，其特征在于手輪可 以按下和拔出，按下時限位開關閉合，同時齒套的兩個面相互咬合上。
專利摘要本實用新型涉及一種半導體行業(yè)的晶體生長爐手動坩堝升降機構，它包括手輪，限位開關，齒套，傳動部件和基座，其中所述傳動部件包括旋轉軸、傳動軸和兩對錐齒輪，所述基座包括旋轉軸基座和傳動軸基座，本實用新型機構通過轉動手輪來驅動傳動部件，實現(xiàn)手動坩堝升降，這種機構結構簡單，使用方便。
文檔編號C30B15/00GK201826034SQ20102057782
公開日2011年5月11日 申請日期2010年10月27日 優(yōu)先權日2010年10月27日
發(fā)明者王浩 申請人:北京京儀世紀電子股份有限公司