專利名稱：一種硅單晶爐的導(dǎo)軌柱部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種硅單晶爐的導(dǎo)軌柱部件所屬技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)的晶體生長爐部件，采用這種部件使硅單晶爐的 導(dǎo)軌柱整體剛性好，吸振性好，加工成本低，安裝和使用方便。
背景技術(shù)：
[0002]導(dǎo)軌柱是晶體生長爐的關(guān)鍵部件之一，其穩(wěn)定性是決定能否拉出優(yōu)質(zhì)硅單晶棒的 關(guān)鍵要素之一。目前公知的導(dǎo)軌柱部件多采用鑄件導(dǎo)軌柱或鋼板焊接導(dǎo)軌柱，鑄件導(dǎo)軌柱 結(jié)構(gòu)剛性低，在對導(dǎo)軌柱結(jié)構(gòu)作調(diào)整時(shí)，還需要重新做模型，成本高，而由鋼板焊接成的導(dǎo) 軌柱，吸震性又很差；目前公知的導(dǎo)軌柱部件更換絲杠或絲杠上的軸承等零件時(shí)，要把整個(gè) 下傳動(dòng)卸下來，換好后再裝上，重新調(diào)整坩堝軸與爐底盤的水平度和同心度，這樣做工作量 大，工作效率低。發(fā)明內(nèi)容[0003]為了解決現(xiàn)有的硅單晶爐導(dǎo)軌柱部件存在的上述問題，本實(shí)用新型提供了一種硅 單晶爐的導(dǎo)軌柱部件，該部件加工成本低，剛性好，吸震性好，且在更換絲杠或絲杠上的軸 承等零件后不需重新調(diào)整坩堝軸與爐底盤的水平度和同心度。[0004]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是導(dǎo)軌柱由上下鋼板、扁鋼、方鋼和板筋焊接而 成。上鋼板作為絲杠上軸承的安裝座，扁鋼焊接在上下鋼板之間，其內(nèi)裝有減震材料，方鋼 焊接在扁鋼前面，用來安裝線性滑軌，上鋼板下表面焊接長方形板筋和三角形板筋，用來加 固上鋼板，下鋼板上開有三個(gè)通孔，用來固定導(dǎo)軌柱。[0005]本實(shí)用新型的有益效果是與公知的導(dǎo)軌柱部件相比，本實(shí)用新型具有很好的吸 震性，剛性好，加工成本低，且在更換絲杠及絲杠上的軸承等零件后無需重新調(diào)整坩堝軸與 爐底盤的水平和同心度，工作效率高。


[0006]
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。[0007]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖[0008]圖2是圖1的俯視圖[0009]圖3是圖1的A-A剖面圖[0010]圖中1.上鋼板，2.扁鋼，3.方鋼，4.下鋼板，5.三角形筋板，6.長方形筋板具體實(shí)施方式
[0011]圖1中，在下鋼板4上對稱焊接兩扁鋼2，在兩扁鋼2上面焊接上鋼板1，扁鋼2起 到支柱作用，在扁鋼2后面開一個(gè)孔，往里裝適量的減震材料，然后把孔堵上，使導(dǎo)軌柱部 件具有良好的吸減震性，并且吸減震材料起到配重的作用。[0012]圖1中，在兩扁鋼2前面各焊接一個(gè)方鋼3，在方鋼3的前表面加工出安裝面和安裝孔，用來安裝線性滑軌。[0013]圖1中，在上鋼板1下面垂直焊接一個(gè)長方形的板筋6和兩個(gè)三角形的板筋5，長 方形板筋6位于兩扁鋼2的后面，長度和寬度可根據(jù)實(shí)際結(jié)構(gòu)作調(diào)整，三角形板筋5同時(shí)還 和方鋼3的右側(cè)面焊接，大小也可根據(jù)實(shí)際結(jié)構(gòu)作調(diào)整，板筋5和板筋6主要用來加固上鋼 板1。[0014]圖2中，在上鋼板1上加工出一個(gè)圓孔，作為絲杠上軸承座的安裝孔，使絲杠上軸 承座與導(dǎo)軌柱成為一體式結(jié)構(gòu)，這種一體式結(jié)構(gòu)具有很好的強(qiáng)度和剛度。在絲杠上軸承座 的安裝孔上開一個(gè)缺口，在更換絲杠及絲杠上軸承等零件時(shí)不需把下傳動(dòng)完全拆卸下來， 從缺口處就可把絲杠取出及安裝上，這樣免去了重新找坩堝軸及爐底盤的水平度和同心度 這步工作，方便操作的同時(shí)提高了工作效率。[0015]圖3中，在下鋼板4上加工出3個(gè)安裝孔，前面兩個(gè)關(guān)于中心對稱，后面一個(gè)在中 心線上，用來固定導(dǎo)軌柱，并且使整個(gè)結(jié)構(gòu)的承重重心位于三點(diǎn)之內(nèi)，這樣下傳動(dòng)具有很好 的穩(wěn)定性。
權(quán)利要求1.一種硅單晶爐的導(dǎo)軌柱部件，其特征是它是由上下鋼板，扁鋼，方鋼和板筋焊接而 成的一體化結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)力要求1所述的一種硅單晶爐的導(dǎo)軌柱部件，其特征是兩扁鋼左右對稱的 焊接在上下鋼板之間，扁鋼中裝有吸震性材料。
3.根據(jù)權(quán)力要求1所述的一種硅單晶爐的導(dǎo)軌柱部件，其特征是在兩扁鋼前各焊接 有一方鋼，方鋼表面上有安裝面和安裝螺孔。
4.根據(jù)權(quán)力要求1所述的一種硅單晶爐的導(dǎo)軌柱部件，其特征是在上鋼板安裝孔上 開一個(gè)缺口，缺口下面焊有板筋。
5.根據(jù)權(quán)力要求1所述的一種硅單晶爐的導(dǎo)軌柱部件，其特征是在下鋼板上開三個(gè) 安裝螺釘?shù)耐祝懊鎯蓚€(gè)關(guān)于中心對稱，后面一個(gè)在中心線上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅單晶爐的導(dǎo)軌柱部件，它由上鋼板、扁鋼、方鋼、下鋼板和板筋焊接而成。起支柱作用的扁鋼中裝有吸震材料；方鋼上加工有線性滑軌的安裝面和安裝螺紋孔；在上鋼板安裝絲桿軸承座的安裝孔上開一個(gè)缺口，方便絲杠的安裝和更換；在下鋼板上開三個(gè)孔，用來固定導(dǎo)軌柱。這種導(dǎo)軌柱部件吸震性好，剛度好，加工成本低，且在更換絲杠及絲杠上的軸承等零件時(shí)無需重新調(diào)整坩堝軸與爐底盤的水平和同心度，提高了工作效率。
文檔編號(hào)C30B15/00GK201817572SQ20102057781
公開日2011年5月4日 申請日期2010年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月27日
發(fā)明者馮冬芳, 康志伯, 梁仁和 申請人:北京京儀世紀(jì)電子股份有限公司