專(zhuān)利名稱(chēng)：一種兩自由度微動(dòng)定位平臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及微動(dòng)定位裝置，特別是涉及一種兩自由度微動(dòng)定位平臺(tái)。
背景技術(shù)：
微動(dòng)定位平臺(tái)是精密工程領(lǐng)域里的關(guān)鍵部件，在集成電路制造，精密機(jī)械，光學(xué)儀 器和生物醫(yī)學(xué)操作等方面有著廣泛的應(yīng)用。目前，隨著以上領(lǐng)域的飛速發(fā)展，越來(lái)越多地對(duì) 微動(dòng)定位平臺(tái)提出了大行程(大于100微米)、高頻響和小體積的要求。現(xiàn)有的微動(dòng)定位平 臺(tái)，一部分只具有較小的運(yùn)動(dòng)范圍(幾微米到幾十微米)，行程較大的微定位平臺(tái)卻普遍存 在一階固有頻率較低(一般在200Hz以下)和體積較大的問(wèn)題。對(duì)于具有X方向和Y方向 兩個(gè)自由度的微動(dòng)定位平臺(tái)，兩個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)耦合對(duì)定位精度有重要的影響，需要設(shè)計(jì)一 定的結(jié)構(gòu)進(jìn)行兩個(gè)自由度的解耦。
發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有的兩自由度微動(dòng)定位平臺(tái)的不足，滿足精密定位領(lǐng)域的發(fā)展要求， 本實(shí)用新型的目的在于提供一種兩自由度的微動(dòng)定位平臺(tái)，該微動(dòng)定位平臺(tái)不僅能實(shí)現(xiàn)大 行程的精密定位，而且具有較高的一階固有頻率(大于500Hz)，結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，復(fù)合平 行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)能有效減小X方向和Y方向的運(yùn)動(dòng)耦合。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是本實(shí)用新型包括基座、X方向放大杠桿、Y方向放大杠桿、復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 以及運(yùn)動(dòng)平臺(tái)；X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器相互垂直的放置在基座上 各自的矩形槽內(nèi)，χ方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的輸出端通過(guò)擰緊χ方向預(yù)緊螺母緊靠在χ方向 放大杠桿的輸入鉸鏈上，X方向放大杠桿的固支鉸鏈與基座鉸接，X方向放大杠桿的輸出鉸 鏈與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的中部鉸接，Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的輸出端通過(guò)擰緊Y方向 預(yù)緊螺母緊靠在Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈上，Y方向放大杠桿的固支鉸鏈與基座鉸接， Y方向放大杠桿的輸出鉸鏈與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的中部鉸接，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位于基座的中 部，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第三組柔性鉸鏈，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第四組柔性鉸鏈，復(fù)合 平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第七組柔性鉸鏈和復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第八組柔性鉸鏈分別鉸接在 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的四個(gè)側(cè)面。所述的復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)其第六組柔性鉸鏈一端與基座鉸接，另一端與X 方向放大杠桿輸出鉸鏈鉸接；其第五組柔性鉸鏈一端與基座鉸接，另一端與第三組柔性鉸 鏈鉸接；其第一組柔性鉸鏈一端與基座鉸接，另一端與Y方向放大杠桿輸出鉸鏈鉸接；其 第二組柔性鉸鏈一端與基座鉸接，另一端與第八組柔性鉸鏈鉸接；其第四組柔性鉸鏈一端 與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的一個(gè)側(cè)面鉸接，另一端與X方向放大杠桿輸出鉸鏈鉸接，其第三組柔性鉸鏈 一端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的一個(gè)側(cè)面鉸接，另一端與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第五組柔性鉸鏈鉸接， 其第七組柔性鉸鏈一端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的一個(gè)側(cè)面鉸接，另一端與Y方向放大杠桿輸出鉸鏈鉸 接，其第八組柔性鉸鏈一端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的一個(gè)側(cè)面鉸接，另一端與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第二組柔性鉸鏈鉸接。所述的復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的第一組柔性鉸鏈、第二組柔性鉸鏈、第三組柔性 鉸鏈、第四組柔性鉸鏈、五組柔性鉸鏈、第六組柔性鉸鏈、第七組柔性鉸鏈和第八組柔性鉸 鏈均為葉狀柔性鉸鏈；X方向放大杠桿的固支鉸鏈、X方向放大杠桿的輸入鉸鏈、X方向放大 杠桿的輸出鉸鏈、Y方向放大杠桿的固支鉸鏈、Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈和Y方向放大杠 桿的輸出鉸鏈均為圓弧狀柔性鉸鏈。所述的X方向放大杠桿的固支鉸鏈、X方向放大杠桿的輸入鉸鏈、X方向放大杠桿 的輸出鉸鏈有相同的柔性鉸鏈半徑R為1.5mm和不同的鉸鏈寬度t，X方向放大杠桿的固支 鉸鏈的t為0. 5mm，X方向放大杠桿的輸入鉸鏈的t為0. 4mm，X方向放大杠桿的輸出鉸鏈的 t為0. 25mm ；Y方向放大杠桿的固支鉸鏈、Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈、Y方向放大杠桿的輸 出鉸鏈有相同的柔性鉸鏈半徑R為1.5mm和不同的鉸鏈寬度t，Y方向放大杠桿的固支鉸鏈 的t為0. 5mm，Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈的t為0. 4mm，X方向放大杠桿的輸出鉸鏈的t為 0. 25mm。該一體式柔性鉸鏈平臺(tái)選用的材料是楊氏模量與密度的比值(E/P)較高的 7075A1。本實(shí)用新型具有的有益效果是由于采用了特殊結(jié)構(gòu)的放大杠桿和復(fù)合平形四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，微定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊 湊，體積小，能在實(shí)現(xiàn)大的運(yùn)動(dòng)范圍的同時(shí)保證高的頻響，X方向和Y方向的運(yùn)動(dòng)能有效解 耦，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和柔性鉸鏈平臺(tái)的組合保證了運(yùn)動(dòng)傳遞的無(wú)摩擦，無(wú)間隙、高精度、高 穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。平臺(tái)幾何尺寸為90mm*90mm*15mm，最大輸出位移120um*120um，耦合位 移小于1%，一階固有頻率543Hz。

圖1是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)原理示意圖。圖2是本實(shí)用新型未安裝壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的立體結(jié)構(gòu)圖。圖3是復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的原理圖(以運(yùn)動(dòng)平臺(tái)發(fā)生Y方向的運(yùn)動(dòng)為例)。圖4是圓弧狀柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)圖。圖5是葉狀柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)圖。圖中1-1，1-2-復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第一組柔性鉸鏈，2-1，2-2-復(fù)合平行四桿 導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第二組柔性鉸鏈，3-1，3-2-復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第三組柔性鉸鏈，4-1，4-2-復(fù) 合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第四組柔性鉸鏈，5-1，5-2-復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第五組柔性鉸鏈， 6-1,6-2-復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第六組柔性鉸鏈，7-1，7-2-復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第七 組柔性鉸鏈，8-1，8-2-復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第八組柔性鉸鏈，9-基座，IO-X方向放大杠 桿的固支鉸鏈，Il-X方向放大杠桿，12-X方向放大杠桿的輸入鉸鏈，13-X方向放大杠桿的 輸出鉸鏈，14-X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，15-運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，16-X方向預(yù)緊螺母，17-Y方向預(yù)緊螺 母，18-Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，19-Y方向放大杠桿的固支鉸鏈，20-Y方向放大杠桿的輸入 鉸鏈，21-Y方向放大杠桿，22-Y方向放大杠桿的輸出鉸鏈。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明如圖1所示，本實(shí)用新型包括基座9、X方向放大杠桿11、Y方向放大杠桿21、復(fù)合 平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)以及運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15 ;Χ方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器14與Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器 18相互垂直的放置在基座9上各自的矩形槽內(nèi)，X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器14的輸出端通過(guò) 擰緊X方向預(yù)緊螺母16緊靠在X方向放大杠桿的輸入鉸鏈12上，X方向放大杠桿的固支 鉸鏈13與基座9鉸接，X方向放大杠桿11的輸出鉸鏈10與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)一側(cè)的 中部鉸接，Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器18的輸出端通過(guò)擰緊Y方向預(yù)緊螺母17緊靠在Y方向 放大杠桿的輸入鉸鏈20上，Y方向放大杠桿的固支鉸鏈19與基座9鉸接，Y方向放大杠桿 21的輸出鉸鏈22與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)一側(cè)的中部鉸接，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15位于基座15的中 部，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第三組柔性鉸鏈3-1、3-2，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第四組柔性鉸 鏈4-1、4-2，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第七組柔性鉸鏈7-1、7-2和復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第 八組柔性鉸鏈8-1、8-2分別對(duì)稱(chēng)地鉸接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15的四個(gè)側(cè)面。如圖1、圖3所示，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15發(fā)生X方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第六組 柔性鉸鏈6-1、6-2 —端與基座9相連，另一端與X方向放大杠桿輸出鉸鏈10相連，第五組 柔性鉸鏈5-1、5-2 —端與基座9相連，另一端通過(guò)第三組柔性鉸鏈3-1、3-2與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15 的一個(gè)側(cè)面相連，第七組柔性鉸鏈7-1、7-2 —端通過(guò)第一組柔性鉸鏈1-1、1_2與基座9相 連，一端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15的一個(gè)側(cè)面相連，第八組柔性鉸鏈8-1、8-2 —端通過(guò)第二組柔性鉸 鏈2-1、2-2與基座9相連，另一端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15的一個(gè)側(cè)面相連，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15通過(guò)第四組 柔性鉸鏈4-1、4-2與X方向放大杠桿輸出鉸鏈10相連，同時(shí)與第三組柔性鉸鏈3-1、3-2相 連。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15發(fā)生Y方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第一組柔性鉸鏈1-1、1_2—端 與基座9相連，另一端與Y方向放大杠桿輸出鉸鏈20相連，第二組柔性鉸鏈2-1、2-2 —端 與基座9相連，另一端通過(guò)第八組柔性鉸鏈8-1、8-2與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15的一個(gè)側(cè)面相連，第三 組柔性鉸鏈3-1、3-2 —端通過(guò)第五組柔性鉸鏈5-1、5-2與基座9相連，另一端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 15的一個(gè)側(cè)面相連，第四組柔性鉸鏈4-1、4-2 —端通過(guò)第六組柔性鉸鏈6-1、6-2與基座9 相連，另一端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15的一個(gè)側(cè)面相連，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)15通過(guò)第七組柔性鉸鏈7-1、7-2與 Y方向放大杠桿輸出鉸鏈20相連，同時(shí)與第八組柔性鉸鏈8-1、8-2相連?？梢员ＷC微動(dòng)定 位平臺(tái)在沿著運(yùn)動(dòng)的方向有很好的剛性，在垂直于運(yùn)動(dòng)的方向有很好的柔性，從而有效地 減小了 X方向和Y方向的運(yùn)動(dòng)耦合。如圖1所示復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的第一組柔性鉸鏈1-1、1_2、第二組柔性鉸鏈 2-1、2-2、第三組柔性鉸鏈3-1、3-2、第四組柔性鉸鏈4_1、4_2、第五組柔性鉸鏈5_1、5_2、第 六組柔性鉸鏈6-1、6-2、第七組柔性鉸鏈7-1、7-2和第八組柔性鉸鏈8-1、8-2是葉狀柔性鉸 鏈；X方向放大杠桿的固支鉸鏈13、X方向放大杠桿的輸入鉸鏈12、X方向放大杠桿的輸出 鉸鏈10、Υ方向放大杠桿的固支鉸鏈19、Υ方向放大杠桿的輸入鉸鏈20、Υ方向放大杠桿的 輸出鉸鏈22為圓弧狀柔性鉸鏈。葉狀柔性鉸鏈具有較好的柔性，適應(yīng)大位移的運(yùn)動(dòng)，適合 用在復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)中，圓弧狀柔性鉸鏈的轉(zhuǎn)角精度較高，適合用在放大杠桿上。如圖1、圖4、圖5所示，X方向放大杠桿的固支鉸鏈13、Χ方向放大杠桿的輸入鉸鏈 12、Χ方向放大杠桿的輸出鉸鏈10有相同的柔性鉸鏈半徑R為1. 5mm和不同的鉸鏈寬度t， X方向放大杠桿的固支鉸鏈13的t為0. 5mm，X方向放大杠桿的輸入鉸鏈12的t為0. 4mm,X方向放大杠桿的輸出鉸鏈10的t為0. 25mm，Y方向放大杠桿的固支鉸鏈19、Y方向放大杠 桿的輸入鉸鏈20、Υ方向放大杠桿的輸出鉸鏈22有相同的柔性鉸鏈半徑R為1. 5mm和不同 的鉸鏈寬度t，Y方向放大杠桿的固支鉸鏈19的t為0. 5mm，Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈20 的t為0. 4mm，X方向放大杠桿的輸出鉸鏈22的t為0. 25mm。對(duì)放大杠桿上的柔性鉸鏈采 用以上的尺寸參數(shù)設(shè)計(jì)可以有效減小柔性鉸鏈的拉伸和壓縮變形對(duì)平臺(tái)放大倍數(shù)的影響， 擴(kuò)大平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)范圍。 如圖2所示，該一體式柔性鉸鏈平臺(tái)選用材料7075A1。7075A1的楊氏模量與密度 的比值(Ε/ρ)較高，有助于提高平臺(tái)的機(jī)械剛度，改善動(dòng)態(tài)特性。
權(quán)利要求一種兩自由度微動(dòng)定位平臺(tái)，其特征在于包括基座(9)、X方向放大杠桿(11)、Y方向放大杠桿(21)、復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)以及運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(15)；X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(14)與Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(18)相互垂直的放置在基座(9)上各自的矩形槽內(nèi)，X方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(14)的輸出端通過(guò)擰緊X方向預(yù)緊螺母(16)緊靠在X方向放大杠桿的輸入鉸鏈(12)上，X方向放大杠桿的固支鉸鏈(13)與基座(9)鉸接，X方向放大杠桿(11)的輸出鉸鏈(10)與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的中部鉸接，Y方向壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(18)的輸出端通過(guò)擰緊Y方向預(yù)緊螺母(17)緊靠在Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈(20)上，Y方向放大杠桿的固支鉸鏈(19)與基座(9)鉸接，Y方向放大杠桿(21)的輸出鉸鏈(22)與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的中部鉸接，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(15)位于基座(9)的中部，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第三組柔性鉸鏈(3 1、3 2)，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第四組柔性鉸鏈(4 1、4 2)，復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第七組柔性鉸鏈(7 1、7 2)和復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第八組柔性鉸鏈(8 1、8 2)分別鉸接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(15)的四個(gè)側(cè)面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種兩自由度微動(dòng)定位平臺(tái)，其特征在于所述的復(fù)合平行 四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)其第六組柔性鉸鏈(6-1、6-2) —端與基座(9)鉸接，另一端與X方向放大杠 桿(11)輸出鉸鏈(10)鉸接；其第五組柔性鉸鏈(5-1、5-2) —端與基座(9)鉸接，另一端與 第三組柔性鉸鏈(3-1、3-2)鉸接；其第一組柔性鉸鏈(1-1、1_2) —端與基座(9)鉸接，另一 端與Y方向放大杠桿(21)輸出鉸鏈(22)鉸接；其第二組柔性鉸鏈(2-1、2-2) —端與基座(9)鉸接，另一端與第八組柔性鉸鏈(8-1、8-2)鉸接；其第四組柔性鉸鏈(4-1、4-2)—端與 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(15)的一個(gè)側(cè)面鉸接，另一端與X方向放大杠桿輸出鉸鏈(10)鉸接，其第三組柔 性鉸鏈(3-1、3-2) —端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(15)的一個(gè)側(cè)面鉸接，另一端與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 第五組柔性鉸鏈(5-1、5-2)鉸接，其第七組柔性鉸鏈(7-1、7-2) —端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(15)的一 個(gè)側(cè)面鉸接，另一端與Y方向放大杠桿輸出鉸鏈(22)鉸接，其第八組柔性鉸鏈(8-1、8-2) 一端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(15)的一個(gè)側(cè)面鉸接，另一端與復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)第二組柔性鉸鏈 (2-1、2-2)鉸接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種兩自由度微動(dòng)定位平臺(tái)，其特征在于所述的復(fù)合平行 四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的第一組柔性鉸鏈(1-1、1_2)、第二組柔性鉸鏈(2-1、2-2)、第三組柔性鉸 鏈(3-1、3-2)、第四組柔性鉸鏈(4-1、4-2)、第五組柔性鉸鏈(5_1、5_2)、第六組柔性鉸鏈 (6-1、6-2)、第七組柔性鉸鏈(7-1、7-2)和第八組柔性鉸鏈(8_1、8_2)均為葉狀柔性鉸鏈； X方向放大杠桿的固支鉸鏈(10)、Χ方向放大杠桿的輸入鉸鏈(12)、Χ方向放大杠桿的輸出 鉸鏈(13)、Y方向放大杠桿的固支鉸鏈(19)、Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈(20)和Y方向放 大杠桿的輸出鉸鏈(22)均為圓弧狀柔性鉸鏈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種兩自由度微動(dòng)定位平臺(tái)，其特征在于所述的X方向放 大杠桿的固支鉸鏈(13)、Χ方向放大杠桿的輸入鉸鏈(12)、Χ方向放大杠桿的輸出鉸鏈(10) 有相同的柔性鉸鏈半徑R為1.5mm和不同的鉸鏈寬度t，X方向放大杠桿的固支鉸鏈(13) 的t為0. 5mm, X方向放大杠桿的輸入鉸鏈(12)的t為0. 4mm, X方向放大杠桿的輸出鉸鏈(10)的t為0.25mm ；Y方向放大杠桿的固支鉸鏈(19)、Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈(20)、Y 方向放大杠桿的輸出鉸鏈(22)有相同的柔性鉸鏈半徑R為1. 5mm和不同的鉸鏈寬度t，Y方 向放大杠桿的固支鉸鏈(19)的t為0. 5mm，Y方向放大杠桿的輸入鉸鏈(20)的t為0. 4mm, X方向放大杠桿的輸出鉸鏈(22)的t為0. 25mm。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種兩自由度微動(dòng)定位平臺(tái)。它由基座、X方向放大杠桿、Y方向放大杠桿、復(fù)合平行四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)以及運(yùn)動(dòng)平臺(tái)組成，X方向與Y方向的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器相互垂直地分別放置在基座上的兩個(gè)矩形槽內(nèi)，驅(qū)動(dòng)器的輸出端通過(guò)擰緊預(yù)緊螺母緊靠在放大杠桿的輸入鉸鏈上。本實(shí)用新型由于采用了特殊結(jié)構(gòu)的放大杠桿和復(fù)合平形四桿導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，微定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，能在實(shí)現(xiàn)大的運(yùn)動(dòng)范圍的同時(shí)保證高的頻響，X方向和Y方向的運(yùn)動(dòng)能有效解耦，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和柔性鉸鏈平臺(tái)的組合保證了運(yùn)動(dòng)傳遞的無(wú)摩擦，無(wú)間隙、高精度、高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
文檔編號(hào)G12B5/00GK201707930SQ201020243900
公開(kāi)日2011年1月12日 申請(qǐng)日期2010年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月29日
發(fā)明者余建平, 朱珠, 王文 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)