專利名稱：還原爐進(jìn)料控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種還原爐，具體涉及一種多晶硅行業(yè)大型還原爐進(jìn)料控制系 統(tǒng)。屬于多晶硅的生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
全球太陽能的開發(fā)和利用帶動(dòng)了光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，同時(shí)世界集成電路市場(chǎng)近 年來穩(wěn)步增長(zhǎng)，多晶硅做為光伏產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)材料，是發(fā)展信息產(chǎn)業(yè)和新能源 產(chǎn)業(yè)的重要基石。還原爐做為多晶硅生產(chǎn)的主要設(shè)備，對(duì)多晶硅的生產(chǎn)起著極其重要的作用。目前 國內(nèi)多晶硅行業(yè)使用的還原爐多采用改良西門子法技術(shù)，進(jìn)料系統(tǒng)不能實(shí)行自動(dòng)控制，對(duì) 硅棒的生長(zhǎng)和成形影響很大。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種進(jìn)料系統(tǒng)能實(shí)行自動(dòng)控制的還原 爐進(jìn)料控制系統(tǒng)。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種還原爐進(jìn)料控制系統(tǒng)，包括還原爐底盤、硅 棒、進(jìn)料口、壓縮空氣控制閥組和PLC控制盤，所述硅棒和進(jìn)料口在還原爐底盤上布置成三 圈，每一進(jìn)料口分別通過一路進(jìn)料支管與混合氣體相連，在每一路進(jìn)料支管上均加裝有一 只進(jìn)料控制閥，各進(jìn)料控制閥均與壓縮空氣控制閥組相連，壓縮空氣控制閥組通過管路與 壓縮空氣相連通，該管路上加裝有氣源調(diào)節(jié)裝置，所述PLC控制盤通過控制信號(hào)與壓縮空 氣控制閥組相連，PLC控制盤的控制按鈕控制各進(jìn)料控制閥的開關(guān)狀態(tài)?；旌蠚怏w通過管道進(jìn)入還原爐各進(jìn)料支管，在每一路進(jìn)料支管上加裝進(jìn)料控制 閥，各進(jìn)料控制閥與壓縮空氣控制閥組相連，通過對(duì)壓縮空氣控制閥組進(jìn)行控制，從而實(shí)現(xiàn) 對(duì)進(jìn)料控制閥的控制，實(shí)現(xiàn)還原爐的自動(dòng)、分圈進(jìn)料和編程控制。本實(shí)用新型的有益效果是原爐可以通過以下模式進(jìn)行控制1、編程模式用戶通過對(duì)進(jìn)料時(shí)間、進(jìn)料順序、進(jìn)料量的分析，自行編制進(jìn)料過程。 PLC控制系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，嚴(yán)格按照預(yù)先設(shè)定值進(jìn)料，實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)控制。2、記憶模式PLC控制系統(tǒng)主動(dòng)記錄每次進(jìn)料過程，并形成單次進(jìn)料過程的文件， 用戶可以根據(jù)硅棒生長(zhǎng)情況，選擇最佳的一次進(jìn)料過程文件導(dǎo)入系統(tǒng)，保證硅棒最佳生長(zhǎng) 環(huán)境。3、手動(dòng)模式用戶通過PLC控制盤(05)的控制按鈕控制進(jìn)料閥的開關(guān)狀態(tài)，硅棒 的整個(gè)生長(zhǎng)過程完全依賴于用戶的操作經(jīng)驗(yàn)。通過上述模式的系統(tǒng)控制，可以自動(dòng)記憶最佳的一次進(jìn)料過程并按此導(dǎo)入及操 作，實(shí)現(xiàn)還原爐的可控進(jìn)料，為硅棒生長(zhǎng)提供最佳環(huán)境，有效提高硅的收率。綜上所述，本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)、分圈進(jìn)料和編程控制，為硅棒生長(zhǎng)提供最佳環(huán)境。

圖1為本實(shí)用新型的還原爐進(jìn)料分布圖。圖2為本實(shí)用新型的還原爐進(jìn)料控制系統(tǒng)圖。圖中附圖標(biāo)記還原爐底盤1、硅棒2、進(jìn)料口 3 ；混合氣體01、壓縮空氣02、氣源調(diào)節(jié)裝置03、壓縮空氣控制閥組04、PLC控制盤 05、進(jìn)料控制閥06、進(jìn)料控制閥07、進(jìn)料控制閥08、進(jìn)料控制閥09、進(jìn)料控制閥10、進(jìn)料控制 閥11、進(jìn)料控制閥12、進(jìn)料控制閥13、進(jìn)料控制閥14、進(jìn)料控制閥15、進(jìn)料控制閥16、進(jìn)料 控制閥17、進(jìn)料控制閥18
具體實(shí)施方式
參見圖1 2，圖1為本實(shí)用新型的還原爐進(jìn)料分布圖。圖2為本實(shí)用新型的還原 爐進(jìn)料控制系統(tǒng)圖。由圖1和圖2可以看出，本實(shí)用新型還原爐進(jìn)料控制系統(tǒng)，包括還原爐 底盤1、硅棒2、進(jìn)料口 3、壓縮空氣控制閥組04和PLC控制盤05，所述硅棒2共有24對(duì)，24 對(duì)硅棒2在還原爐底盤1上布置成三圈，所述進(jìn)料口 3共13只，13只進(jìn)料口 3在還原爐底 盤1上也布置成三圈，每一進(jìn)料口 3分別通過一路進(jìn)料支管與混合氣體01相連，在每一路 進(jìn)料支管上均加裝有一只進(jìn)料控制閥，它們分別為進(jìn)料控制閥06、進(jìn)料控制閥07、進(jìn)料控 制閥08、進(jìn)料控制閥09、進(jìn)料控制閥10、進(jìn)料控制閥11、進(jìn)料控制閥12、進(jìn)料控制閥13、進(jìn) 料控制閥14、進(jìn)料控制閥15、進(jìn)料控制閥16、進(jìn)料控制閥17和進(jìn)料控制閥18，所述進(jìn)料控 制閥06、進(jìn)料控制閥07、進(jìn)料控制閥08、進(jìn)料控制閥09、進(jìn)料控制閥10、進(jìn)料控制閥11、進(jìn) 料控制閥12、進(jìn)料控制閥13、進(jìn)料控制閥14、進(jìn)料控制閥15、進(jìn)料控制閥16、進(jìn)料控制閥17 和進(jìn)料控制閥18均與壓縮空氣控制閥組04相連，壓縮空氣控制閥組04通過管路與壓縮空 氣02相連通，該管路上加裝有一只氣源調(diào)節(jié)裝置03，所述PLC控制盤05通過控制信號(hào)與壓 縮空氣控制閥組04相連，PLC控制盤05的控制按鈕控制各進(jìn)料控制閥的開關(guān)狀態(tài)?？刂葡到y(tǒng)原理如下1、廠區(qū)提供壓縮空氣02，壓縮空氣02參數(shù)約為P = O. 6MPa，Q = O. 6Nm7min，壓 縮空氣02氣源要求無油無水。2、壓縮空氣02進(jìn)入氣源調(diào)節(jié)裝置03，氣源調(diào)節(jié)裝置03的作用是穩(wěn)定壓縮空氣02 的壓力、流量。3、壓縮空氣02進(jìn)入壓縮空氣控制閥組04，壓縮空氣控制閥組04將壓縮空氣02分 為多路，并可控制單路壓縮空氣02的啟閉。4、進(jìn)料控制閥06 18采用氣閉型氣動(dòng)閥，根據(jù)其所在支路的壓縮空氣02啟閉情 況自動(dòng)開關(guān)。5、PLC控制盤05輸出信號(hào)到壓縮空氣控制閥組04，從而控制進(jìn)料控制閥06 18， 實(shí)現(xiàn)還原爐進(jìn)料的自動(dòng)控制。PLC控制盤05具有編程模式、記憶模式、手動(dòng)模式，并可在運(yùn) 行過程中根據(jù)需要隨時(shí)更改進(jìn)料方式。6、PLC控制盤05可詳細(xì)記錄不同時(shí)間段的進(jìn)料狀態(tài)，并形成報(bào)表供用戶分析。[0027] 7、PLC控制盤05帶有鎖定功能，獲知密碼人員才有資格確定還原爐進(jìn)料方式，從 而避免因其他人員操作不當(dāng)而導(dǎo)致的巨大損失。
權(quán)利要求一種還原爐進(jìn)料控制系統(tǒng)，其特征在于所述系統(tǒng)包括還原爐底盤(1)、硅棒(2)、進(jìn)料口(3)、壓縮空氣控制閥組(04)和PLC控制盤(05)，所述硅棒(2)和進(jìn)料口(3)在還原爐底盤(1)上布置成三圈，每一進(jìn)料口(3)分別通過一路進(jìn)料支管與混合氣體(01)相連，在每一路進(jìn)料支管上均加裝有一只進(jìn)料控制閥，各進(jìn)料控制閥均與壓縮空氣控制閥組(04)相連，壓縮空氣控制閥組(04)通過管路與壓縮空氣(02)相連通，該管路上加裝有氣源調(diào)節(jié)裝置(03)，所述PLC控制盤(05)通過控制信號(hào)與壓縮空氣控制閥組(04)相連。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種還原爐進(jìn)料控制系統(tǒng)，屬于多晶硅的生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。所述系統(tǒng)包括還原爐底盤(1)、硅棒(2)、進(jìn)料口(3)、壓縮空氣控制閥組(04)和PLC控制盤(05)，所述硅棒(2)和進(jìn)料口(3)在還原爐底盤(1)上布置成三圈，每一進(jìn)料口(3)分別通過一路進(jìn)料支管與混合氣體(01)相連，在每一路進(jìn)料支管上均加裝有一只進(jìn)料控制閥，各進(jìn)料控制閥均與壓縮空氣控制閥組(04)相連，壓縮空氣控制閥組(04)通過管路與壓縮空氣(02)相連通，該管路上加裝有氣源調(diào)節(jié)裝置(03)，所述PLC控制盤(05)通過控制信號(hào)與壓縮空氣控制閥組(04)相連。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)、分圈進(jìn)料和編程控制，為硅棒生長(zhǎng)提供最佳環(huán)境。
文檔編號(hào)C30B35/00GK201670895SQ201020220210
公開日2010年12月15日 申請(qǐng)日期2010年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月3日
發(fā)明者潘宇輝, 盛斌, 趙建, 陸建旻 申請(qǐng)人:江蘇雙良鍋爐有限公司