專利名稱：單晶爐溫度控制單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種控旌i系統(tǒng)，特別涉及一種基于自適應(yīng)技術(shù)的 單晶爐溫度控制單元。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的加熱電源系統(tǒng)采用通用型溫度控制器，使得產(chǎn)品的可靠性 不是很高，溫度控制的精度有些偏低，響應(yīng)速度也比較慢。傳統(tǒng)溫度
控制器中PID參數(shù)均需根據(jù)生產(chǎn)時熱場的不同進(jìn)行手動修改，相對來
說比較麻煩。
發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種 單晶爐溫度控制單元，具有每纟構(gòu)簡單、精度高的特點。
為了達(dá)到上述目的，本實用新型的結(jié)構(gòu)原理是單晶爐溫度控制 單元，包括一溫?？刂破鱨，溫校控制器1的溫度信號輸出端與控溫
裝置模塊2的信號輸入端相超g，控溫裝置模塊2的信號輸出端與信號 隔離轉(zhuǎn)換模塊3的信號輸入錄豸相連，信號隔離轉(zhuǎn)換模塊3的信號輸出 端與加熱電源柜4的信號輸》、端相連，加熱電源柜4與溫度傳感器5 的溫度控制端相連，溫度傳感:器5的溫度控制輸出端與控溫模塊2的 信號輸入端相連。
電網(wǎng)波動加熱器的溫度男纟產(chǎn)生變化，但溫度變化要滯后，由于本實用新型設(shè)計了加熱電源柜，所以電壓電流反饋是在擾動發(fā)生但爐內(nèi) 溫度還未有大波動時就采取轉(zhuǎn)t施，提前克服干擾，讓爐內(nèi)溫度幾乎不 產(chǎn)生波動。

附圖是本實用新型的結(jié)軟3原理圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用菊)f型的結(jié)構(gòu)原理和工作原理做詳細(xì)敘述。 參照附圖，單晶爐溫度招3制單元，包括一溫?？刂破鱨，溫?？刂破?的溫度信號輸出端與招^溫裝置模塊2的信號輸入端相連，控溫 裝置模塊2的信號輸出端與<宵號隔離轉(zhuǎn)換模塊3的信號輸入端相連， 信號隔離轉(zhuǎn)換模塊3的信號1U出端與加熱電源柜4的信號輸入端相 連，加熱電源柜4與溫度傳感器5的溫度控制端相連，溫度傳感器5 的溫度控制輸出端與控溫模塊2的信號輸入端相連。本實用新型的工作原理為溫?？刂破鱨在晶體生長過程中，控 制晶升速度，當(dāng)晶升速度偏離設(shè)定值時，溫?？刂破?改變控溫輸出， 溫度傳感器5產(chǎn)生的溫度信號送入控溫裝置模塊2經(jīng)信號隔離轉(zhuǎn)換模 塊3轉(zhuǎn)換放大送入加熱電源l^ 4加熱電壓。不論外部的干擾使?fàn)t溫升 高還是降低，控溫模塊2總右￡不斷地檢測，不斷地調(diào)整，通過加熱電 源柜4實現(xiàn)這個電網(wǎng)干擾的電壓電流反饋系統(tǒng)。因為溫度系統(tǒng)是一個 熱慣性滯后的控制系統(tǒng)，電網(wǎng)波動了，加熱器的溫度要產(chǎn)生變化，但 溫度變化要滯后，溫度傳感器驗測出溫度變化后系統(tǒng)再去調(diào)節(jié)以維持 爐溫不變，這個過程需要教程!時間，所以電壓電流反饋是在擾動發(fā)生但爐內(nèi)溫度還未有波動時就芽S取措施，提前克服干擾，讓爐內(nèi)溫度幾 乎不產(chǎn)生波動，它的作用比溫度大閉環(huán)反饋快得多。
權(quán)利要求1、單晶爐溫度控制單元，其特征在于，包括一溫?？刂破?1)，溫?？刂破?1)的溫度信號輸出端與控溫裝置模塊(2)的信號輸入端相連，控溫裝置模塊(2)的信號輸出端與信號隔離轉(zhuǎn)換模塊(3)的信號輸入端相連，信號隔離轉(zhuǎn)換模塊(3)的信號輸出端與加熱電源柜(4)的信號輸入端相連，加熱電源柜(4)與溫度傳感器(5)的溫度控制端相連，溫度傳感器(5)的溫度控制輸出端與控溫模塊(2)的信號輸入端相連。
專利摘要單晶爐溫度控制單元，包括一溫校控制器1，溫?？刂破?與控溫裝置模塊2相連，控溫裝置模塊2與信號隔離轉(zhuǎn)換模塊3相連，信號隔離轉(zhuǎn)換模塊3與加熱電源柜4相連，加熱電源柜4與溫度傳感器5相連，溫度傳感器5與控溫模塊2相連，溫?？刂破?在晶體生長過程中，控制晶升速度，溫度傳感器5產(chǎn)生的溫度信號送入控溫裝置模塊2經(jīng)信號隔離轉(zhuǎn)換模塊3轉(zhuǎn)換放大送入加熱電源柜4加熱電壓，不論外部的干擾使?fàn)t溫升高還是降低，控溫模塊2總在不斷地檢測，不斷地調(diào)整，通過加熱電源柜4實現(xiàn)這個電網(wǎng)干擾的電壓電流反饋系統(tǒng)，本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、精度高的特點。
文檔編號C30B15/20GK201390799SQ20092003296
公開日2010年1月27日 申請日期2009年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月6日
發(fā)明者丁積軍, 陽 李 申請人:西安恒新自動控制有限公司