專利名稱：：剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法岡lJ-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及線路板制造技術(shù)，尤其是一種可增強(qiáng)剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合輕度的表面處理方法。
背景技術(shù)：
：剛-撓結(jié)合線路板是由剛性線路板和撓性線路板結(jié)合在一起的。制作過程中，撓性線路板上完成線路布設(shè)后，在撓性線路板的朝向剛性線路板的一面上貼合覆蓋膜，然后將剛性線路板和撓性線路板結(jié)合在一起。為了改善剛性線路板和撓性線路板的結(jié)合效果、增強(qiáng)剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合力、防止分層和起泡，在剛性線路板和撓性線路板結(jié)合之前先要對(duì)覆蓋膜的朝向剛性線路板的表面進(jìn)行處理?，F(xiàn)有技術(shù)中的覆蓋膜表面處理方法有磨板、化學(xué)清洗和噴砂。磨板是采用機(jī)械打磨的方式對(duì)覆蓋膜的表面進(jìn)行刷磨，以起到清潔作用并使覆蓋膜表面形成一定的粗糙面；化學(xué)清洗是利用化學(xué)藥水對(duì)覆蓋膜表面進(jìn)行清潔除去覆蓋膜表面的油污，提高其壓合的表面潔凈度；噴砂是將主要由AU03和Si02組成微小顆粒(直徑20-30um左右)與水混合，在攪拌成懸浮狀態(tài)時(shí)高壓噴射到覆蓋膜表面，利用該微小顆粒的高硬度在高壓的情況下對(duì)覆蓋膜表面進(jìn)行撞擊，從而使其表面形成一定凸凹不平的粗糙面。這幾種方法的處理效果都不是十分理想。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種可增強(qiáng)剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合輕度的表面處理方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，包括對(duì)撓性板內(nèi)層表面的覆蓋膜進(jìn)行等離子蝕刻的過程。這里所說的撓性板內(nèi)層表面是指撓性線路板的朝向剛性線路板的一面，覆蓋膜貼合在撓性板內(nèi)層表面上。本發(fā)明方法采用等離子蝕刻，等離子體對(duì)覆蓋膜表面進(jìn)行凹蝕和離子轟擊，使覆蓋膜表面達(dá)到分子級(jí)范圍內(nèi)的"粗糙"程度，從而改變其表面的粘接特性，使剛-撓結(jié)合線路板具有較高的結(jié)合強(qiáng)度。在此基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地對(duì)撓性板內(nèi)層表面覆蓋膜進(jìn)行等離子蝕刻的過程包括以下步驟3a.將覆蓋膜或貼有覆蓋膜的撓性板置于真空腔內(nèi)；b.向真空腔內(nèi)充入蝕刻氣體，并對(duì)真空腔中的蝕刻氣體加載電磁場以使蝕刻氣體產(chǎn)生等離子體，等離子體對(duì)撓性板內(nèi)層表面覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行蝕刻處理；步驟b中的覆蓋膜的結(jié)合面是指覆蓋膜的與剛性板結(jié)合的表面。采用本發(fā)明方法，可以在覆蓋膜貼合在撓性線路板上之后對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行蝕刻處理，再將覆蓋膜的結(jié)合面與剛性線路板結(jié)合；也可以先對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行蝕刻處理，再將覆蓋膜與撓性線路板、剛性線路板結(jié)合。步驟b中所用蝕刻氣體為N2、CR和02中的一種或一種以上的組合。蝕刻氣體可以采用一種氣體，也可以采用兩種或兩種以上氣體組成的混合氣體。步驟b的一種具體實(shí)施方式包括以下過程在對(duì)真空腔中的蝕刻氣體加載電磁場的情況下進(jìn)行以下四個(gè)階段第一階段，真空腔中的蝕刻氣體為N2氣，處理3-15分鐘；第二階段，真空腔中的蝕刻氣體為CF4和02二種氣體，處理10-50分鐘；第三階段，真空腔中的蝕刻氣體為02氣，處理5-15分鐘；第四階段，真空腔中的蝕刻氣體為N2氣，處理3-10分鐘。為了保證良好的結(jié)合效果，步驟b結(jié)束后，經(jīng)蝕刻處理的覆蓋膜在6小時(shí)內(nèi)與剛性板壓合。為了排除異物，在蝕刻之前對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行清洗并干燥；在與蝕刻處理后的覆蓋膜壓合之前，對(duì)剛性線路板的結(jié)合面進(jìn)行清洗并干燥。剛性線路板的結(jié)合面是指剛性板的與覆蓋膜結(jié)合的表面。本發(fā)明的有益效果是可以明顯提高剛-撓結(jié)合線路板的剝離強(qiáng)度，解決了剛-撓結(jié)合線路板在惡劣條件下易分層的難題；蝕刻處理是對(duì)覆蓋膜表面進(jìn)行微蝕和粗化，對(duì)撓性線路板的尺寸穩(wěn)定性影響較小，不會(huì)影響撓性線路板的外觀，尤其適合撓性線路板上帶有金手指以及剛-撓結(jié)合線路板中撓性線路板大面積外露的情形；對(duì)覆蓋膜的外觀影響較小；生產(chǎn)過程清潔，無污染。下面通過具體實(shí)施方式并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明圖1是本發(fā)明一種具體實(shí)施方式的流程示意圖。具體實(shí)施方式實(shí)施例一本實(shí)施例中制作剛-撓結(jié)合線路板的過程如圖1所示。本實(shí)施例所用撓性板的材質(zhì)為lmilPI厚度，10Z銅厚，雙面無膠電解銅；剛性板的材質(zhì)為FR4，銅厚1/20Z(不含銅)，總厚度0.2mm，TG》17(TC，無字黃料；覆蓋膜的材質(zhì)為聚酰亞胺(PI)。制作剛-撓結(jié)合線路板的具體過程如下1.撓性板開料按照設(shè)計(jì)的尺寸準(zhǔn)備撓性板坯料；內(nèi)層線路在撓性板坯料上布設(shè)線路-，內(nèi)層貼覆蓋膜在撓性線路板朝向剛性線路板的一面上貼合覆蓋膜等離子蝕刻將撓性板平放在等離子機(jī)處理腔內(nèi)的托盤上，關(guān)上真空腔，按正常開機(jī)程序進(jìn)入后按以下等離子蝕刻參數(shù)處理第一階段，只充入N2氣，功率3000W，流量250cc/rain，處理3分鐘；第二階段，充入CF4+02，功率3000W，流量80+160cc/min，處理10分鐘；第三階段，充入02氣，功率3000W，流量250cc/min，處理5分鐘；第四階段，充入N2氣，功率3000W，流量250cc/min，處理3分鐘。在等離子蝕刻過程中，在真空電場環(huán)境中，蝕刻氣體產(chǎn)生高蝕刻強(qiáng)度的等離子體(活性基團(tuán))對(duì)覆蓋膜(PI)表面進(jìn)行凹蝕和離子轟擊，使覆蓋膜(PI)表面形成分子級(jí)范圍內(nèi)的"粗糙"，從而改變其表面的粘接特性。2.剛性板開料按照設(shè)計(jì)的尺寸準(zhǔn)備剛性板坯料；外層線路在剛性板坯料上布設(shè)線路；3.剛-撓貼合將剛性板和撓性板貼合，覆蓋膜的結(jié)合面與剛性板接觸;4.壓合使用真空傳壓機(jī)壓制步驟3得到的剛-撓貼合板，壓合參數(shù)為140°CX100PSIX15MIN，在真空傳壓機(jī)中同時(shí)壓制6塊步驟3得到的剛-撓貼合板，疊板方式如下上承載板牛皮紙(8張牛皮紙)鋼板硅膠離型膜FR4FPC剛-撓貼合板(撓性板朝下)疊放6層-離型膜(便于將無膠區(qū)的氣體排盡)-鋼板-牛皮紙(8張牛皮紙)下承載板75.壓制后固化:160。CX60MIN采用以上方法最終制得剛-撓結(jié)合線路板。上述方法中，除等離子蝕刻過程外，其它過程均可采用現(xiàn)有技術(shù)中的制作過程。實(shí)施例二本實(shí)施例與實(shí)施例一的區(qū)別僅在于采用了不同的等離子蝕刻參第一階段，只充入N2氣，功率3800W，流量320cc/min，處理8分鐘；第二階段，充入CF4+02，功率3800W，流量100+200cc/min，處理30分第三階段，充入02氣，功率3800W，流量320cc/min，處理8分鐘；第四階段，充入N2氣，功率3800W，流量320cc/min，處理6分鐘。實(shí)施例三本實(shí)施例與實(shí)施例一的區(qū)別僅在于采用了不同的等離子蝕刻參數(shù)第一階段，只充入N2氣，功率4500W，流量400cc/min，處理15分鐘；第二階段，充入CF4+02,功率4500W，流量120+240cc/min，處理50分第三階段，充入02氣，功率4500W，流量400cc/min，處理15分鐘；第四階段，充入N2氣，功率4500W，流量400cc/min，處理10分鐘。對(duì)比例一(噴砂)本對(duì)比例與實(shí)施例一的區(qū)別僅在于實(shí)施例一采用等離子蝕刻方法對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行處理，而本對(duì)比例使用水平噴砂機(jī)對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面按以下條件進(jìn)行噴砂處理AL力3濃度10%，噴砂速度1.8m/min，上噴淋壓力1.0kg/cm2，下噴淋壓力1.2kg/cm2;處理完成后使用水平洗板機(jī)清洗，條件酸洗濃度2.5%，上噴淋壓力1.2kg/cm2，下噴淋壓力1.2kg/cm2，速度1.8m/min，烘干溫度85°C。對(duì)比例二(磨板)本對(duì)比例與實(shí)施例一的區(qū)別僅在于實(shí)施例一采用等離子蝕刻方法對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行處理，而本對(duì)比例使用水平磨板機(jī)對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面按以下條件進(jìn)行磨板處理磨刷電流2.9A，磨板速度1.8m/min，磨刷目數(shù)500s、800s，磨痕要求1020mm。處理完成后使用水平洗板機(jī)清洗，條件酸洗濃度2.5%，上噴淋壓力1.2kg/cm2，下噴淋壓力1.2kg/cm2，速度1.8m/min，烘干溫度85°C。對(duì)比例三(化學(xué)清洗)本對(duì)比例與實(shí)施例一的區(qū)別僅在于實(shí)施例一采用等離子蝕刻方法對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行處理，而本對(duì)比例使用水平化學(xué)清洗機(jī)對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面按以下條件進(jìn)行化學(xué)清洗(微蝕)處理微蝕壓力0.9kg/cm2，微蝕溫度30°C，微蝕速率0.5um/min，過機(jī)速度1.8m/min。處理完成后使用水平洗板機(jī)清洗，條件酸洗濃度2.5%，上噴淋壓力1.2kg/cm2，下噴淋壓力1.2kg/cm2，速度1.8m/min，烘干溫度85°C。測試將以上各實(shí)施例和對(duì)比例得到的剛-撓結(jié)合線路板進(jìn)行剝離強(qiáng)度測試和熱沖擊測試。強(qiáng)度測試方法用90度剝離強(qiáng)度測試儀，將樣板裁切成1X25cm的條狀測試物，用火機(jī)點(diǎn)燃試樣一端，使撓性板與剛性板離起0.5mm長度，固定試樣在剝離機(jī)固定軸上，用夾子夾住已剝離的撓性板，打開剝離測試機(jī)和打印機(jī)記錄數(shù)據(jù)。測試結(jié)果見表一。熱沖擊測試方法取樣尺寸8X10cm，烘烤15CTCX60min，錫爐加溫288。C，將試樣垂直浸入錫面下，秒表計(jì)時(shí)10S后取出，重復(fù)以上方法測試5次。測試結(jié)果見表二。表一剝離強(qiáng)度測試結(jié)果<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>表一中"等離子蝕刻處理"一欄中的①、②、③分別代表實(shí)施例一、二、三所得剛-撓結(jié)合線路板進(jìn)行剝離強(qiáng)度測試的數(shù)據(jù)。從表一數(shù)據(jù)可知，采用本發(fā)明方法對(duì)覆蓋膜結(jié)合面進(jìn)行等離子蝕刻處理得到的剛-撓結(jié)合板的剝離強(qiáng)度明顯優(yōu)于采用現(xiàn)有技術(shù)中的噴砂、磨板和化學(xué)清洗對(duì)覆蓋膜結(jié)合面進(jìn)行處理得到的剛-撓結(jié)合板的剝離強(qiáng)度。表二熱沖擊測試結(jié)果<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>表二中"處理方法"一欄中的①、②、③分別代表實(shí)施例一、二、三所得剛-撓結(jié)合線路板進(jìn)行熱沖擊測試的結(jié)果。從表二中的測試結(jié)果可知，采用本發(fā)明方法對(duì)覆蓋膜結(jié)合面進(jìn)行等離子蝕刻處理得到的剛-撓結(jié)合板在連續(xù)第5次熱沖擊測試后才出現(xiàn)輕微分層，而采用現(xiàn)有技術(shù)中的化學(xué)清洗對(duì)覆蓋膜結(jié)合面進(jìn)行處理得到的剛-撓結(jié)合板在第2次熱沖擊測試后就出現(xiàn)輕微分層、采用現(xiàn)有技術(shù)中的噴砂、磨板對(duì)覆蓋膜結(jié)合面進(jìn)行處理得到的剛-撓結(jié)合板在第3次熱沖擊測試就出現(xiàn)輕微分層。采用本發(fā)明方法對(duì)覆蓋膜結(jié)合面進(jìn)行等離子蝕刻處理得到的剛-撓結(jié)合板的耐熱沖擊性能明顯優(yōu)于采用現(xiàn)有技術(shù)中的噴砂、磨板和化學(xué)清洗對(duì)覆蓋膜結(jié)合面進(jìn)行處理得到的剛-撓結(jié)合板的耐熱沖擊性能。以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不能認(rèn)定本發(fā)明的具體實(shí)施只局限于這些說明。對(duì)于本發(fā)明所屬
技術(shù)領(lǐng)域：
的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。權(quán)利要求1、一種剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，其特征在于包括對(duì)撓性板內(nèi)層表面的覆蓋膜進(jìn)行等離子蝕刻的過程。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，其特征在于對(duì)撓性板內(nèi)層表面覆蓋膜進(jìn)行等離子蝕刻的過程包括以下步驟a.將覆蓋膜或貼有覆蓋膜的撓性板置于真空腔內(nèi)；b.向真空腔內(nèi)充入蝕刻氣體，并對(duì)真空腔中的蝕刻氣體加載電磁場以使蝕刻氣體電離產(chǎn)生等離子體，等離子體對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行蝕刻處理；步驟b中的覆蓋膜的結(jié)合面是指覆蓋膜的與剛性板結(jié)合的表面。3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，其特征在于步驟b中所用蝕刻氣體為N2、CF4和02中的一種或一種以上的組合。4、根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，其特征在于步驟b包括以下過程在對(duì)真空腔中的蝕刻氣體加載電磁場的情況下進(jìn)行以下四個(gè)階段:第一階段，真空腔中的蝕刻氣體為N2氣，處理3-15分鐘；第二階段，真空腔中的蝕刻氣體為CF4和02二種氣體，處理10-50分鐘；第三階段，真空腔中的蝕刻氣體為02氣，處理5-15分鐘；第四階段，真空腔中的蝕刻氣體為N2氣，處理3-10分鐘。5、根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，其特征在于步驟b結(jié)束后，經(jīng)蝕刻處理的覆蓋膜在6小時(shí)內(nèi)與剛性板壓合。6、根據(jù)權(quán)利要求4所述的剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，其特征在于步驟b結(jié)束后，經(jīng)蝕刻處理的覆蓋膜在6小時(shí)內(nèi)與剛性線路板壓合。7、根據(jù)權(quán)利要求5所述的剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，其特征在于在蝕刻之前對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行清洗并干燥；在與蝕刻處理后的覆蓋膜壓合之前，對(duì)剛性線路板的結(jié)合面進(jìn)行清洗并干燥。8、根據(jù)權(quán)利要求6所述的剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，其特征在于在蝕刻之前對(duì)覆蓋膜的結(jié)合面進(jìn)行清洗并干燥；在與蝕刻處理后的覆蓋膜壓合之前，對(duì)剛性線路板的結(jié)合面進(jìn)行清洗并干燥。全文摘要本發(fā)明提供一種剛-撓結(jié)合線路板的結(jié)合表面處理方法，包括對(duì)撓性板內(nèi)層表面的覆蓋膜進(jìn)行等離子蝕刻的過程。采用本發(fā)明方法可以明顯提高剛-撓結(jié)合線路板的剝離強(qiáng)度，解決了剛-撓結(jié)合線路板在惡劣條件下易分層的難題；等離子蝕刻處理是對(duì)覆蓋膜表面進(jìn)行微蝕和粗化，對(duì)撓性線路板的尺寸穩(wěn)定性影響較小，不會(huì)影響撓性線路板的外觀，尤其適合撓性線路板上帶有金手指以及剛-撓結(jié)合線路板中撓性線路板大面積外露的情形；對(duì)覆蓋膜的外觀影響較??；生產(chǎn)過程清潔，無污染。文檔編號(hào)H05K3/36GK101483980SQ200910105009公開日2009年7月15日申請(qǐng)日期2009年1月15日優(yōu)先權(quán)日2009年1月15日發(fā)明者沈繼堂申請(qǐng)人:景旺電子(深圳)有限公司