亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動機構(gòu)的制作方法

文檔序號:8065609閱讀:252來源:國知局
專利名稱:大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及應(yīng)用于大型光學(xué)鏡面離子束修形設(shè)備中,使大直徑圓柱形鐘 罩垂直升降和水平移動的機構(gòu)。
技術(shù)背景現(xiàn)有技術(shù)中,大型光學(xué)鏡面離子束修形設(shè)備中的鐘罩直徑達1200mm,可加 工工件直徑800mm,采用離子束源在真空室內(nèi)移動掃描的方式對工件表面進行微 細加工;常規(guī)的方法是采用離子束源不動,工件移動的方式加工工件,鐘罩移動 采用葫戶吊從鐘罩中間起吊的方式,因而,高度上需留出葫蘆吊的位置,增加了 設(shè)備的整體高度,對于需放在老式樓房中(高度只有2600mm)使用的用戶,不能 采用葫蘆吊升降的方式。鐘罩吊裝方式有懸臂吊和龍門吊等方式,懸臂吊時由于 鐘罩直徑大,重心偏移大,如不配重,起吊時翻轉(zhuǎn)力矩很大,不利于鐘罩升起 后的移動。實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是,為了克服傳統(tǒng)升降機構(gòu)所需高度尺寸大, 運行不平穩(wěn)的缺點,設(shè)計一種大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動機構(gòu), 該機構(gòu)能實現(xiàn)大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動并節(jié)約高度空間,傳動 平穩(wěn),方便設(shè)備場地高度不足的用戶使用該類大型設(shè)備。還設(shè)有水平行走機構(gòu), 方便設(shè)備維修保養(yǎng)。本實用新型所采用的技術(shù)方案是,所述大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降 與移動機構(gòu)有一桁架,該桁架相對兩側(cè)分別有垂直設(shè)置的第一直線導(dǎo)軌和第二 直線導(dǎo)軌,鐘罩置于該兩直線導(dǎo)軌之間;第一直線導(dǎo)軌上裝有滾珠滑塊,該滾 珠滑塊同第一連接板固定連接而該第一連接板又同鐘罩一側(cè)固定連接;第二直線導(dǎo)軌是橫截面為U形的U型導(dǎo)軌,第二連接板的一側(cè)同鐘罩另一側(cè)固定連接,A 支撐塊的一端同第二連接板另一側(cè)固定連接而該A支撐塊的另一端裝有可在所述U型導(dǎo)軌的U型槽底滑動的滾珠軸承,B支撐塊的一端亦同第二連接板另一側(cè)固 定連接而該B支撐塊的另一端裝有可在所述U型導(dǎo)軌的U型槽側(cè)面滑動的滾珠軸承;由動力驅(qū)動且垂直安裝在所述桁架上而只能作軸向轉(zhuǎn)動的絲桿上裝有絲套, 連接塊分別同該絲套和第一連接板固定連接。 以下對本實用新型做出進一步說明。參見圖l,本實用新型有一桁架2,該桁架2相對兩側(cè)分別有垂直設(shè)置的第一 直線導(dǎo)軌6和第二直線導(dǎo)軌7,鐘罩1置于該兩直線導(dǎo)軌6、 7之間;如圖1和圖3所 示,第一直線導(dǎo)軌6上裝有滾珠滑塊3,該滾珠滑塊3同第一連接板8固定連接而 該第一連接板8又同鐘罩1一側(cè)固定連接;如圖1和圖4所示,第二直線導(dǎo)軌7是橫 截面為U形的U型導(dǎo)軌,第二連接板9的一側(cè)同鐘罩1另一側(cè)固定連接,A支撐塊IO 的一端同第二連接板9另一側(cè)固定連接而該A支撐塊10的另一端裝有可在所述第 二直線導(dǎo)軌7的U型槽底滑動的滾珠軸承11, B支撐塊12的一端亦同第二連接板9 另一側(cè)固定連接而該B支撐塊12的另一端裝有可在所述第二直線導(dǎo)軌7的U型槽 側(cè)面滑動的滾珠軸承13;如圖2和圖5所示,由動力驅(qū)動且垂直安裝在所述桁架2 上而只能作軸向轉(zhuǎn)動的絲桿14上裝有絲套15,連接塊16分別同該絲套15和第一 連接板8固定連接。所述絲桿14的動力驅(qū)動機構(gòu)可由渦輪蝸桿減速機與電動機組成,即絲桿14 的一端經(jīng)聯(lián)軸器同渦輪蝸桿減速機25的輸出軸聯(lián)接,而該渦輪蝸桿減速機25的 輸入軸同電動機26的主軸聯(lián)接(參見圖2)。如圖l、 2、 6所示,還可在所述桁架2底部兩側(cè)分別安裝置于對應(yīng)兩條地面軌道17、 18上的行走輪19、 20,渦輪蝸桿減速機21裝在桁架2上,主同步帶 輪22裝在渦輪蝸桿減速機21的輸出軸上,電動機24主軸同渦輪蝸桿減速機21 的輸入軸聯(lián)接;從動輪20與一個行走輪19相連,主同步帶輪22通過同步帶23 與從動輪20連接;工作時,電動機24通過渦輪蝸桿減速機21帶動主同步帶輪 22轉(zhuǎn)動,從動輪20隨著轉(zhuǎn)動,帶動行走輪19轉(zhuǎn)動,行走輪19、 20通過軸承與 桁架2相連,行走輪19、 20在地面導(dǎo)軌17、 18上轉(zhuǎn)動,從而帶動桁架2水平移 動。本實用新型的設(shè)計原理是,由裝在鐘罩1一側(cè)的第一直線導(dǎo)軌6和滾珠滑塊3 等組成主導(dǎo)向機構(gòu);由裝在鐘罩1另一側(cè)的U型導(dǎo)軌一第二直線導(dǎo)軌7及第二連接 板9、 A支撐塊IO、可在所述第二直線導(dǎo)軌7的U型槽底滑動的滾珠軸承11、 B支撐 塊12、可在所述第二直線導(dǎo)軌7的U型槽側(cè)面滑動的滾珠軸承13等組成輔助導(dǎo)向 機構(gòu),它與主導(dǎo)向機構(gòu)在同一平面內(nèi),可限制鐘罩l繞兩個互相垂直軸轉(zhuǎn)動的自 由度;升降機構(gòu)采用滾珠絲桿副傳動,鐘罩1及升降機構(gòu)裝在桁架2上,桁架2采 用四輪雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),輪子內(nèi)側(cè)有凸檐,限制輪子向外移動。桁架2的移動采用同 步帶傳動,具有緩沖功能,避免氣動時的沖擊。移動的前后位置有限位開關(guān)定 位。該結(jié)構(gòu)能使鐘罩在空間高度不足時移動到最大高度。整機的工作過程為裝取樣品時,上段鐘罩l上升,中段圓柱形真空室4及 下段底板不動。樣品從前面送入內(nèi)部工件架上。然后合上鐘罩l對真空室抽真空, 當(dāng)真空達到離子源工作條件后,通入工作氣體,然后給離子源加電引出離子束, 開動工件轉(zhuǎn)動,對工件進行離子束加工。加工完后,關(guān)掉離子源電源停止工件 轉(zhuǎn)動,關(guān)閉真空抽氣閥,對真空室充氣,充氣完成后,升起鐘罩,將工件從前 方取出,到此完成一個工作周期。維修內(nèi)部離子源運動系統(tǒng)時,將鐘罩l升起后,整個桁架2向后移動,中段圓柱形真空室4及內(nèi)部各部件均全部暴露在維修者面 前,使其有足夠的維修空間。如果需要,還可將中段圓柱形真空室4移走。鐘罩l運動過程中重心在主、輔導(dǎo)(支撐)向機構(gòu)中間,升起后桁架移動時 很平穩(wěn)。考慮安全性,可采用渦輪蝸桿減速器傳動,利用其自鎖特性使鐘罩在 任意位置都能停穩(wěn)。同時,可在上下到位處裝有自停開關(guān),到位后自動停止。 在上下到位開關(guān)外側(cè)還可安裝有極限開關(guān),當(dāng)限位開關(guān)失效時極限開關(guān)起作用, 鐘罩碰到極限開關(guān)后仍將自動停止。極限開關(guān)將起到二次保護的作用。為防止 意外,在接近限位開關(guān)處還可安裝到位提醒開關(guān),鐘罩經(jīng)過此開關(guān)后將發(fā)出聲 音提示,提醒操作者注意。
一旦發(fā)生意外,操作者可立刻切斷電源。由以上可知,本實用新型為一種大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動 機構(gòu),它能使鐘罩在空間高度不足時移動到最大高度,甚至與建筑物頂面接觸, 升降機構(gòu)不會增加工件升起后所在位置的空間高度,解決了圓柱形鐘罩需升起的大型設(shè)備在高度有限的廠房中使用的難題;還使桁架移動具有緩沖功能,避免了啟動時的沖擊。

圖l是本實用新型一種實施例主視結(jié)構(gòu)示意圖(帶有局部剖視);圖2是圖1所示裝置的右視結(jié)構(gòu)示意圖(帶有局部剖視); 圖3是圖1所示裝置左側(cè)主導(dǎo)向機構(gòu)的局部放大結(jié)構(gòu)示意圖; 圖4是圖1所示裝置右側(cè)輔助導(dǎo)向機構(gòu)的局部放大結(jié)構(gòu)示意圖; 圖5是圖2所示裝置中升降傳動機構(gòu)的局部放大結(jié)構(gòu)示意圖; 圖6是圖2所示裝置下部的行走機構(gòu)放大圖。 在上述附圖中1 —-鐘罩,2 —-桁架,3 —-滾珠滑塊,4 —-下真空室,5 —-渦輪蝸桿減速機6 —-第一直線導(dǎo)軌,7—-第二直線導(dǎo)軌,8—-第一連接板,9—-第二連接板,10-一A支撐塊,11-一滾珠軸承,12--B支撐塊,13-一滾珠軸承,14-一絲桿,15-一絲套,16-一連接塊,17-一地面軌道,18--地面軌道,19-一行走輪,20-—行走輪,21--渦輪蝸桿減速機22-一主同步帶輪,23-—同步帶,24--電動機,25-一渦輪蝸桿減速機,26-—電動機。
具體實施方式
如圖1所示,本實用新型有一桁架2,該桁架2相對兩側(cè)分別有垂直設(shè)置的第 一直線導(dǎo)軌6和第二直線導(dǎo)軌7,鐘罩1置于該兩直線導(dǎo)軌6、 7之間;如圖1和圖3 所示,第一直線導(dǎo)軌6上裝有滾珠滑塊3,該滾珠滑塊3同第一連接板8固定連接 而該第一連接板8又同鐘罩1一側(cè)固定連接;如圖1和圖4所示,第二直線導(dǎo)軌7是 橫截面為U形的U型導(dǎo)軌,第二連接板9的一側(cè)同鐘罩1另一側(cè)固定連接,A支撐塊 10的一端同第二連接板9另一側(cè)固定連接而該A支撐塊10的另一端裝有可在所述 第二直線導(dǎo)軌7的U型槽底滑動的滾珠軸承11, B支撐塊12的一端亦同第二連接板 9另一側(cè)固定連接而該B支撐塊12的另一端裝有可在所述第二直線導(dǎo)軌7的U型槽 側(cè)面滑動的滾珠軸承13;如圖2和圖5所示,由動力驅(qū)動且垂直安裝在所述桁架2 上而只能作軸向轉(zhuǎn)動的絲桿14上裝有絲套15,連接塊16分別同該絲套15和第一 連接板8固定連接。所述絲桿14的動力驅(qū)動機構(gòu)由渦輪蝸桿減速機與電動機組成,即絲桿14的一端經(jīng)聯(lián)軸器同渦輪蝸桿減速機25的輸出軸聯(lián)接,而該渦輪蝸桿減速機25的輸入軸同電動機26的主軸聯(lián)接(參見圖2)。如圖l、 2、 6所示,還可在所述桁架2底部兩側(cè)分別安裝置于對應(yīng)兩條地面軌 道17、 18上的行走輪19、 20,渦輪蝸桿減速機21裝在桁架2上,主同步帶輪22裝 在渦輪蝸桿減速機21的輸出軸上,電動機24主軸同渦輪蝸桿減速機21的輸入軸 聯(lián)接;從動輪20與一個行走輪19相連,主同步帶輪22通過同步帶23與從動輪20 連接;工作時,電動機24通過渦輪蝸桿減速機21帶動主同步帶輪22轉(zhuǎn)動,從動 輪20隨著轉(zhuǎn)動,帶動行走輪19轉(zhuǎn)動,行走輪19、 20通過軸承與桁架2相連,行走 輪19、 20在地面導(dǎo)軌17、 18上轉(zhuǎn)動,從而帶動桁架2水平移動。
權(quán)利要求1、一種大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動機構(gòu),有一桁架(2),其特征是,該桁架(2)相對兩側(cè)分別有垂直設(shè)置的第一直線導(dǎo)軌(6)和第二直線導(dǎo)軌(7),鐘罩(1)置于該兩直線導(dǎo)軌(6、7)之間;第一直線導(dǎo)軌(6)上裝有滾珠滑塊(3),該滾珠滑塊(3)同第一連接板8固定連接而該第一連接板(8)又同鐘罩(1)一側(cè)固定連接;第二直線導(dǎo)軌(7)是橫截面為U形的U型導(dǎo)軌,第二連接板(9)的一側(cè)同鐘罩(1)另一側(cè)固定連接,A支撐塊(10)的一端同第二連接板(9)另一側(cè)固定連接而該A支撐塊(10)的另一端裝有可在所述第二直線導(dǎo)軌(7)的U型槽底滑動的滾珠軸承(11),B支撐塊(12)的一端亦同第二連接板(9)另一側(cè)固定連接而該B支撐塊(12)的另一端裝有可在所述第二直線導(dǎo)軌(7)的U型槽側(cè)面滑動的滾珠軸承(13);由動力驅(qū)動且垂直安裝在所述桁架(2)上而只能作軸向轉(zhuǎn)動的絲桿(14)上裝有絲套(15),連接塊(16)分別同該絲套(15)和第一連接板(8)固定連接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動機構(gòu),其 特征是,所述絲桿(14)的動力驅(qū)動機構(gòu)為,絲桿14的一端經(jīng)聯(lián)軸器同渦輪蝸 桿減速機(25)的輸出軸聯(lián)接,而該渦輪蝸桿減速機(25)的輸入軸同電動機(26)的主軸聯(lián)接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動機構(gòu),其 特征是,在所述桁架(2)底部兩側(cè)分別安裝置于對應(yīng)兩條地面軌道(17、 18) 上的行走輪(19、 20),渦輪蝸桿減速機(21)裝在桁架(2)上,主同步帶輪(22)裝在渦輪蝸桿減速機(21)的輸出軸上,電動機(24)主軸同渦輪蝸桿 減速機(21)的輸入軸聯(lián)接;從動輪(20)與一個行走輪(19)相連,主同步 帶輪(22)通過同步帶(23)與從動輪(20)連接。
專利摘要一種大直徑圓柱形真空鐘罩的垂直升降與移動機構(gòu),它的桁架相對兩側(cè)有垂直的兩直線導(dǎo)軌,鐘罩1置于該兩直線導(dǎo)軌之間;裝在第一直線導(dǎo)軌上的滾珠滑塊同第一連接板連接而該連接板又同鐘罩一側(cè)連接;第二直線導(dǎo)軌是U型導(dǎo)軌,第二連接板的一側(cè)同鐘罩1另一側(cè)連接,A支撐塊的一端同第二連接板另一側(cè)連接而該A支撐塊另一端裝有可在第二直線導(dǎo)軌U型槽底滑動的滾珠軸承,B支撐塊的一端同第二連接板另一側(cè)連接而B支撐塊的另一端裝有可在第二直線導(dǎo)軌7的U型槽側(cè)面滑動的滾珠軸承;由動力驅(qū)動且垂直安裝在所述桁架上的絲桿上裝有絲套,連接塊同該絲套和第一連接板固定連接。桁架底部裝有平移機構(gòu)。它能使大型圓柱型真空室的上部鐘罩升降并水平移動。
文檔編號B66F19/00GK201165463SQ20072006547
公開日2008年12月17日 申請日期2007年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月17日
發(fā)明者陳特超 申請人:中國電子科技集團公司第四十八研究所
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1