專利名稱：傾倒式多晶硅真空拉錠爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空冶煉行業(yè)領(lǐng)域，特別是一種在真空狀態(tài)下冶煉后直接倒入 拉錠機(jī)構(gòu)進(jìn)行拉錠的設(shè)備。
技術(shù)背景目前的真空冶煉爐由于高溫閥門的難以設(shè)計(jì)和控制，往往無(wú)法實(shí)現(xiàn)在真空 狀態(tài)下冶煉和拉錠體化，本發(fā)明將冶煉爐設(shè)計(jì)成可傾到的方式，既解決了制 造真空高溫閥門的高額成本和難度，又操作方便。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明主要是將真空冶煉爐設(shè)計(jì)成可傾倒式，在冶煉爐的兩側(cè)設(shè)計(jì)兩根轉(zhuǎn) 動(dòng)軸， 一頭連接在真空爐體的外部與減速機(jī)相連接，減速機(jī)的轉(zhuǎn)速通過(guò)紅外線探測(cè)儀與自動(dòng)控制PLC系統(tǒng)相連接，當(dāng)冶煉的傾倒液面升高時(shí)，由紅外線探測(cè) 儀通知PLC停止傾倒。反之傾倒運(yùn)行，從而來(lái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)傾倒拉錠的目的。
具體實(shí)施方式
該設(shè)備主要有水冷雙壁爐體、感應(yīng)加熱系統(tǒng)、坩堝、坩堝和感應(yīng)線圈傾倒轉(zhuǎn) 動(dòng)系統(tǒng)、拉錠機(jī)構(gòu)、和電控系統(tǒng)等組成。當(dāng)多晶硅在真空爐內(nèi)冶煉完畢后，通 過(guò)坩堝和線圈傾倒轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)將冶煉液體根據(jù)流量的需要將冶煉溶液慢慢傾倒致 拉錠機(jī)構(gòu)的漏斗內(nèi)，通過(guò)水冷卻系統(tǒng)，將多晶硅拉錠成型。
權(quán)利要求
1.在真空狀態(tài)將熔煉好的多晶硅直接倒入拉錠機(jī)構(gòu)進(jìn)行拉錠成型。
全文摘要
傾倒式多晶硅真空拉錠爐屬于真空冶煉行業(yè)領(lǐng)域，特別是一種在真空狀態(tài)下冶煉后直接倒入拉錠機(jī)構(gòu)進(jìn)行拉錠的設(shè)備。該設(shè)備主要是將真空冶煉爐設(shè)計(jì)成可傾倒式，在冶煉爐的兩側(cè)設(shè)計(jì)兩根轉(zhuǎn)動(dòng)軸，一頭連接在真空爐體的外部與減速機(jī)相連接，減速機(jī)的轉(zhuǎn)速通過(guò)紅外線探測(cè)儀與自動(dòng)控制PLC系統(tǒng)相連接，當(dāng)冶煉的傾倒液面升高時(shí)，由紅外線探測(cè)儀通知PLC停止傾倒。反之傾倒運(yùn)行，從而來(lái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)傾倒拉錠的目的。其結(jié)構(gòu)主要有水冷雙壁爐體、感應(yīng)加熱系統(tǒng)、坩堝、坩堝和感應(yīng)線圈傾倒轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)、拉錠機(jī)構(gòu)、和電控系統(tǒng)等組成。當(dāng)多晶硅在真空爐內(nèi)冶煉完畢后，通過(guò)坩堝和線圈傾倒轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)將冶煉液體根據(jù)流量的需要將冶煉溶液慢慢傾倒致拉錠機(jī)構(gòu)的漏斗內(nèi)，通過(guò)水冷卻系統(tǒng)，將多晶硅拉錠成型。
文檔編號(hào)C30B15/00GK101250748SQ200710190889
公開(kāi)日2008年8月27日 申請(qǐng)日期2007年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月29日
發(fā)明者李榮華 申請(qǐng)人:蘇州市萬(wàn)泰真空爐研究所有限公司