專利名稱：區(qū)熔單晶硅生長(zhǎng)爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種區(qū)熔單晶硅生長(zhǎng)爐。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的單晶硅爐主要用于生產(chǎn)硅半導(dǎo)體材料，單晶硅爐包括硅半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)合成的主爐室、主軸升降傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和電控自動(dòng)糸統(tǒng)。傳統(tǒng)的單晶硅爐的主軸升降傳動(dòng)結(jié)構(gòu)采用齒條單點(diǎn)傳動(dòng)平衡穩(wěn)定性差，不容易保證上下主軸的動(dòng)態(tài)真空度，使生產(chǎn)出的硅籽晶質(zhì)量很差，造成產(chǎn)品正品率低。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是設(shè)計(jì)一種區(qū)熔單晶硅生長(zhǎng)爐，使其能用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)主軸升降傳動(dòng)結(jié)構(gòu)平衡穩(wěn)定性好，保證上下主軸的動(dòng)態(tài)真空度，以達(dá)到理想的使用效果。為此，本實(shí)用新型采用呈矩形四角分布的四個(gè)導(dǎo)柱的上下端分別固設(shè)在頂板和底板的對(duì)應(yīng)角上，對(duì)應(yīng)兩邊的兩導(dǎo)柱之間設(shè)有絲桿，兩絲桿上端與對(duì)應(yīng)的頂板軸接，兩絲桿下端軸接穿過(guò)底板分別與兩減速箱輸出端相接，兩減速箱輸入端通過(guò)連軸器與電機(jī)軸相接，滑座四角通過(guò)直線軸承與四個(gè)導(dǎo)柱滑配并與兩絲桿螺接，滑座中部設(shè)有中心軸。上述結(jié)構(gòu)達(dá)到了本實(shí)用新型的目的。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是能用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)主軸升降傳動(dòng)結(jié)構(gòu)平衡穩(wěn)定性好，保證上下主軸的動(dòng)態(tài)真空度，達(dá)到了理想的使用效果，大幅度提高了產(chǎn)品的正品率，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作使用成本低，維修和使用簡(jiǎn)便效果好。


圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖2為圖1的A-A剖面結(jié)構(gòu)示意圖圖3為為圖1的右側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖圖4為圖3的仰視面結(jié)構(gòu)示意圖具體實(shí)施方案如圖1至圖4所示，一種區(qū)熔單晶硅生長(zhǎng)爐，由底板3、頂板10和減速箱所組成，呈矩形四角分布的四個(gè)導(dǎo)柱21的上下端分別固設(shè)在頂板和底板的對(duì)應(yīng)角上。對(duì)應(yīng)兩邊的兩導(dǎo)柱之間設(shè)有絲桿5，兩絲桿上端與對(duì)應(yīng)的頂板軸接，兩絲桿下端軸接穿過(guò)底板分別與兩減速箱14、12輸出端相接，兩減速箱輸入端通過(guò)連軸器2、13與電機(jī)11軸相接?；?四角通過(guò)直線軸承16與四個(gè)導(dǎo)柱滑配并與兩絲桿螺接?；胁吭O(shè)有中心軸9?；粋?cè)設(shè)有電機(jī)支架18，電機(jī)支架上固設(shè)滑座電機(jī)17，電機(jī)軸帶動(dòng)帶輪19并通過(guò)皮帶20傳動(dòng)中心軸上的皮帶輪7帶動(dòng)中心軸緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)。
所述的中心軸為空心軸，中心軸(或稱主軸)下端位于滑座下端并與水管進(jìn)口6相連。用以引入冷卻水進(jìn)入中心軸內(nèi)，對(duì)其降溫。中心軸下端與滑座之間設(shè)有止動(dòng)架15以隨時(shí)止動(dòng)中心軸。為支撐底頂板，在底頂板之間可設(shè)支撐架4，防止導(dǎo)柱和絲桿承重變形。
電機(jī)11通過(guò)連軸器傳動(dòng)減速箱12，該減速箱再通過(guò)小軸1傳動(dòng)減速箱14同步減速帶動(dòng)兩絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)使與兩絲桿螺接的滑座同步平穩(wěn)沿四導(dǎo)柱上下移動(dòng)。
總之，本實(shí)用新型能用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)主軸升降傳動(dòng)結(jié)構(gòu)平衡穩(wěn)定性好，保證上下主軸的動(dòng)態(tài)真空度，達(dá)到了理想的使用效果，大幅度提高了產(chǎn)品的正品率，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作使用成本低，維修和使用簡(jiǎn)便效果好。
權(quán)利要求1.一種區(qū)熔單晶硅生長(zhǎng)爐，由底板、頂板和減速箱所組成，其特征在于呈矩形四角分布的四個(gè)導(dǎo)柱的上下端分別固設(shè)在頂板和底板的對(duì)應(yīng)角上，對(duì)應(yīng)兩邊的兩導(dǎo)柱之間設(shè)有絲桿，兩絲桿上端與對(duì)應(yīng)的頂板軸接，兩絲桿下端軸接穿過(guò)底板分別與兩減速箱輸出端相接，兩減速箱輸入端通過(guò)連軸器與電機(jī)軸相接，滑座四角通過(guò)直線軸承與四個(gè)導(dǎo)柱滑配并與兩絲桿螺接，滑座中部設(shè)有中心軸。
2.按權(quán)利要求1所述的區(qū)熔單晶硅生長(zhǎng)爐，其特征在于所述的中心軸為空心軸，中心軸下端位于滑座下端并與水管進(jìn)口相連。
專利摘要本實(shí)用新型屬于一種區(qū)熔單晶硅生長(zhǎng)爐，采用呈矩形四角分布的四個(gè)導(dǎo)柱的上下端分別固設(shè)在頂板和底板的對(duì)應(yīng)角上，對(duì)應(yīng)兩邊的兩導(dǎo)柱之間設(shè)有絲桿，兩絲桿上端與對(duì)應(yīng)的頂板軸接，兩絲桿下端軸接穿過(guò)底板分別與兩減速箱輸出端相接，兩減速箱輸入端通過(guò)連軸器與電機(jī)軸相接，滑座四角通過(guò)直線軸承與四個(gè)導(dǎo)柱滑配并與兩絲桿螺接，滑座中部設(shè)有中心軸。本實(shí)用新型能用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)主軸升降傳動(dòng)結(jié)構(gòu)平衡穩(wěn)定性好，保證上下主軸的動(dòng)態(tài)真空度，以達(dá)到理想的使用效果。
文檔編號(hào)C30B13/00GK2913391SQ20062011781
公開(kāi)日2007年6月20日 申請(qǐng)日期2006年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月29日
發(fā)明者張志新, 王軍, 安桂正 申請(qǐng)人:北京東方科運(yùn)晶體技術(shù)有限公司