專(zhuān)利名稱(chēng)：El顯示器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及EL(electro luminescence)顯示器及其制造方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，OLED(organic light emitting device)為人們所矚目(非專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。以手機(jī)電話(huà)或數(shù)字照相機(jī)的顯示器為代表，被作為各種產(chǎn)品的顯示器加以利用。
在將眾所周知的OLED適用于全彩色顯示器時(shí)，主要存在以下3種(1)全白色OLED+彩色濾光片、(2)全藍(lán)色OLED+CCM(colorchanging media)、(3)RGB(red green blue)分開(kāi)涂敷法。RGB分開(kāi)涂敷法能實(shí)現(xiàn)發(fā)光效率最好、色純度也高的顯示器，因此，其開(kāi)發(fā)也最深入。
在RGB分開(kāi)涂敷法中，通常采用利用圖4所示的金屬遮罩通過(guò)蒸鍍進(jìn)行涂敷的蔭罩法(非專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。在進(jìn)行分開(kāi)涂敷前，利用CCD(charge coupled device)照相機(jī)測(cè)定遮罩20和設(shè)在基板11上的定位標(biāo)記，根據(jù)相對(duì)位置利用計(jì)算機(jī)計(jì)算出遮罩20的偏移，對(duì)照計(jì)算結(jié)果移動(dòng)遮罩20。這些工序被稱(chēng)為定位。通常，在1次的定位中不能得到足夠的精度，因此，必須反復(fù)進(jìn)行數(shù)次。因此，需要反復(fù)通過(guò)磁體使遮罩20和隔離壁14成為緊密接觸狀態(tài)和脫離狀態(tài)。如圖4所示，在進(jìn)行蒸鍍時(shí)，將遮罩20與基板11對(duì)好位置，以便所有的像素區(qū)域通過(guò)遮罩20的孔部22解放出來(lái)。
《有機(jī)物的全部》城戶(hù)淳二著日本實(shí)業(yè)出版社刊2003年2月20日發(fā)行然而，如以上所述，在使遮罩20與基板11對(duì)位時(shí)，有時(shí)需要將與隔離壁14緊密接觸的遮罩20從隔離壁14處拉開(kāi)，此時(shí)，遮罩20與基板11上的隔離壁14相干涉。此時(shí)，遮罩20可能掛在基板11的隔離壁14上，給基板11的隔離壁14等帶來(lái)劃痕(scratch)、或者傷及遮罩20自身。這是因?yàn)榕c遮罩20接觸的隔離壁14為聚合物，聚合物相對(duì)水的接觸角只有從數(shù)度到數(shù)十度，非常的小，潤(rùn)濕性好。或者可以認(rèn)為，在利用相對(duì)水的接觸角不那么小的聚合物形成隔離壁時(shí)，在陽(yáng)極表面清理時(shí)由于實(shí)施的氧等離子處理或UV臭氧處理使隔離壁的潤(rùn)濕性變好。另外，形成隔離壁的聚合物為感光性的陰極抗蝕劑。
這樣，如果給隔離壁等帶來(lái)劃痕，則EL顯示器的顯示性能有可能降低。另外，如果遮罩產(chǎn)生損傷，則必須進(jìn)行遮罩交換，由于遮罩交換引起的時(shí)間消耗會(huì)使EL顯示器的生產(chǎn)效率降低，使EL顯示器的制造成本上升。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問(wèn)題的存在，本發(fā)明的目的在于抑制在遮罩蒸鍍時(shí)由于遮罩在隔離壁引起的劃痕的發(fā)生，同時(shí)防止遮罩自身的損傷。
本發(fā)明的EL顯示器的主旨是縱橫排列多個(gè)像素的EL顯示器包括基板；配置在基板上、形成與像素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多個(gè)開(kāi)口部的隔離壁；形成在該開(kāi)口部?jī)?nèi)的像素圖案；形成在上述隔離壁上的潤(rùn)滑層。
與上述隔離壁相比，上述潤(rùn)滑層摩擦系數(shù)降低。
構(gòu)成上述潤(rùn)滑層的材料相對(duì)水的接觸角最好在80°-120°范圍內(nèi)。
上述像素圖案可以包含有機(jī)層。
EL顯示器的制造方法的主旨是制備顯示器基板的工序，該顯示器基板包括基板、配置在基板上并形成與像素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多個(gè)開(kāi)口部的隔離壁、形成在該開(kāi)口部?jī)?nèi)的像素圖案、形成在上述隔離壁上的潤(rùn)滑層；使具備與上述開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的孔部的遮罩與上述潤(rùn)滑層接觸并配置在顯示器基板上的工序；使配置在上述遮罩的外側(cè)的蒸發(fā)源蒸發(fā)的同時(shí)，通過(guò)上述遮罩的孔部將該蒸發(fā)物淀積在上述開(kāi)口部?jī)?nèi)的顯示器基板上，形成像素圖案的工序。
其他EL顯示器的制造方法的主旨是制備顯示器基板的工序，該顯示器基板包括基板、配置在基板上并形成與像素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多個(gè)開(kāi)口部的隔離壁；制備在具備與上述開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的孔部的板狀體的至少一個(gè)主面設(shè)有潤(rùn)滑層的遮罩的工序；使上述潤(rùn)滑層與上述隔離壁接觸并將上述遮罩配置在上述顯示器基板上的工序；使配置在上述遮罩的外側(cè)的蒸發(fā)源蒸發(fā)的同時(shí)，通過(guò)上述遮罩的孔部將該蒸發(fā)物淀積在上述開(kāi)口部?jī)?nèi)，形成像素圖案的工序。
與上述隔離壁相比，上述潤(rùn)滑層摩擦系數(shù)降低。
上述潤(rùn)滑層比上述板狀體摩擦系數(shù)小。
包含形成上述潤(rùn)滑層并使構(gòu)成該潤(rùn)滑層的材料相對(duì)水的接觸角在80°-120°范圍內(nèi)的工序。
也可以包含在上述像素圖案中形成有機(jī)層的工序。
上述遮罩由金屬材料形成，并且上述遮罩和上述顯示器基板通過(guò)磁性的吸引力相互接觸。
通過(guò)本發(fā)明可以將遮罩和顯示器基板的相互牽掛。其結(jié)果，可以很好地抑制對(duì)隔離壁等的損傷。另外，可以很好地防止遮罩自身的損傷。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施例所涉及的EL顯示器的剖面圖。
圖2是表示本發(fā)明的EL顯示器的制造方法的圖，(a)是制備顯示器基板的圖，(b)是形成潤(rùn)滑層的圖，(c)是進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的圖。
圖3是表示本發(fā)明的其他EL顯示器的制造方法的圖，(a)是制備顯示器基板的圖，(b)是利用具有潤(rùn)滑層的遮罩進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的圖。
圖4是表示現(xiàn)有的EL顯示器的制造方法的圖，是進(jìn)行顯示器基板和遮罩的定位的圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。說(shuō)明中使用的EL顯示器是有機(jī)EL顯示器。
包含圖1所示的顯示器基板11的本發(fā)明的EL顯示器10a包括基板12；配置在基板12上，形成與像素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多個(gè)開(kāi)口部的隔離壁14；形成在該開(kāi)口部?jī)?nèi)的像素圖案16；形成在上述隔離壁14上的潤(rùn)滑層18。
基板12根據(jù)EL顯示器10a的顯示構(gòu)成而不同。如果是底部發(fā)射型，即為透明的；如果是頂部發(fā)射型即反射光。
隔離壁14圍繞像素的2方或4方形成。隔離壁14的材料采用例如感光性的陰性抗蝕劑。雖然大多相對(duì)水的接觸角為從數(shù)度到數(shù)十度，非常地小，但是，相對(duì)水的接觸角為50度-60度的抗蝕劑比較適用。
最好將潤(rùn)滑層18的摩擦系數(shù)設(shè)定的比隔離壁14小。構(gòu)成潤(rùn)滑層18的材料相對(duì)水的接觸角最好為80°-120°。由于接觸角非常大，所以在顯示器10a的制造中利用遮罩20進(jìn)行蒸鍍時(shí)，遮罩20不容易掛住。因此，不容易給隔離壁14帶來(lái)傷痕。
作為潤(rùn)滑層18的材料可以采用氟系樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂、聚氯乙烯樹(shù)脂等，但是，在采用氟系樹(shù)脂時(shí)，最好滿(mǎn)足CFx(1.3≤x≤2)或者CHxFy(0＜x≤1，l≤y≤2，1.3≤x+y≤2)的組成。CFx或CHxFy膜具有與聚四氟乙烯相近的性質(zhì)。
像素圖案16具有如下構(gòu)成至少包含有機(jī)層26，包括夾持該有機(jī)層26的陽(yáng)極電極24及陰極電極28、用于向陽(yáng)極電極24流入電流的配線圖案或開(kāi)關(guān)元件等。
另外，有機(jī)層26包含發(fā)光層而構(gòu)成，該發(fā)光層由Alq3或蒽、Znq2、Balq2、Almq3、Tb(acac)3、DCJTB、C545T、二萘嵌苯(Perylene)、喹丫啶酮(キナクリドン)感應(yīng)體、蛇麻素(ルブレン)、若丹明(Rhodamine)等經(jīng)通電而發(fā)出規(guī)定波長(zhǎng)的光的有機(jī)材料形成。該有機(jī)層26由于在發(fā)光層相結(jié)合的空穴和電子的再結(jié)合時(shí)釋放出的能量以一定的輝度發(fā)光，進(jìn)行顯示。
由于本發(fā)明的EL顯示器10a在隔離壁14上設(shè)置潤(rùn)滑層18，因此在制造時(shí)不容易帶來(lái)傷痕，是能夠進(jìn)行良好的顯示的EL顯示器10a。
接著，對(duì)上述EL顯示器10a的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
(1)首先如圖2(a)所示，制備顯示器基板11，該顯示器基板11包括基板12、配置在基板12上并形成與像素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多個(gè)開(kāi)口部的隔離壁14。
陽(yáng)極電極24的形成，例如陽(yáng)極電極24由ITO構(gòu)成時(shí)，通過(guò)眾所周知的薄膜形成技術(shù)，具體地講通過(guò)蒸鍍或?yàn)R射等把ITO形成規(guī)定膜厚后，通過(guò)采用光刻法、蝕刻等技術(shù)將其加工成規(guī)定的圖案。另外，隔離壁14通過(guò)利用旋轉(zhuǎn)法等在基板上涂敷規(guī)定厚度的感光性樹(shù)脂(例如，酚醛系樹(shù)脂或環(huán)氧系樹(shù)脂)并在感光成規(guī)定圖案后通過(guò)藥液蝕刻去掉不要的部分而形成。
(2)接著，如圖2(b)所示，在隔離壁14或陽(yáng)極電極24上、形成潤(rùn)滑層18。潤(rùn)滑層18在例如由氟系樹(shù)脂構(gòu)成時(shí)如下形成通過(guò)在碳氟化合物系的氣體的氣體介質(zhì)中使高真空等離子體(壓力0.05-0.3Pa)發(fā)生來(lái)使氣體介質(zhì)中的氣體淀積在隔離壁14上或陽(yáng)極電極24上。此時(shí)，陽(yáng)極電極24的表面被清理的同時(shí)功函數(shù)上升。另外，形成于陽(yáng)極電極層24上的潤(rùn)滑層18具有如下作用，即，由于陽(yáng)極電極24的表面的功函數(shù)增高，和有機(jī)層之間的空穴注入(移動(dòng))的屏障降低，因此，其使向之后形成的有機(jī)層注入空穴變得容易。
(3)接著，如圖2(c)所示，使具備與上述開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的孔部22的遮罩20與隔離壁14上的潤(rùn)滑層18接觸并配置在顯示器基板11上。
在顯示基板11的與形成隔離壁14的一面相對(duì)的一面配置磁體，通過(guò)該磁體的磁力使遮罩20與隔離壁14上的潤(rùn)滑層18緊密接觸。另外，這樣通過(guò)磁體的磁力固定遮罩20的位置時(shí)，遮罩20由磁性體、例如Ni合金或Ni-Co合金、Fe-Ni-Co合金等形成。
顯示基板11和遮罩20的定位如下進(jìn)行通過(guò)CCD照相機(jī)分別對(duì)設(shè)置的定位標(biāo)記進(jìn)行攝影，根據(jù)相對(duì)距離計(jì)算出顯示基板11和遮罩20的偏移，對(duì)照計(jì)算結(jié)果移動(dòng)遮罩20。通常，1次定位不能達(dá)到要求的精度，需多次反復(fù)進(jìn)行。此時(shí)，通過(guò)潤(rùn)滑層18，可以很好地抑制隔離壁14和遮罩20相牽掛，防止給顯示器基板11帶來(lái)劃痕，可以抑制遮罩20的損傷。
(4)然后，利用遮罩20進(jìn)行蒸鍍。如果詳細(xì)敘述，即在顯示器基板11，使配置在配置遮罩20一側(cè)的上方的蒸發(fā)源蒸發(fā)。使蒸發(fā)物通過(guò)遮罩20的孔部22淀積在開(kāi)口部?jī)?nèi)的顯示器基板11上，形成像素圖案16。蒸發(fā)物是構(gòu)成有機(jī)層的有機(jī)材料或構(gòu)成陽(yáng)極電極的金屬材料(例如Ca或Mg、LiF/Al、AlLi等)。另外，有時(shí)利用保護(hù)陽(yáng)極電極的SiN系或SiO系等無(wú)機(jī)質(zhì)材料形成保護(hù)膜。
如以上所述，本發(fā)明通過(guò)設(shè)置潤(rùn)滑層18可以防止在遮罩20的定位時(shí)給顯示器基板11帶來(lái)的劃痕或?qū)φ谡?0的損傷。因此，可以抑制EL顯示器10a的性能降低。
在上述說(shuō)明中，雖然是在EL顯示器10a上設(shè)置潤(rùn)滑層18的構(gòu)成，但也可以不在EL顯示器上設(shè)置潤(rùn)滑層18，而在遮罩上設(shè)置潤(rùn)滑層，這可以達(dá)到同樣的效果。一下對(duì)其制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
(1)如圖3(a)所示，制備顯示器基板11，該顯示器基板11包括基板12、配置在基板12上并形成與像素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多個(gè)開(kāi)口部的隔離壁14。顯示器基板11的制造方法除去不設(shè)置潤(rùn)滑層18以外與上述相同，因此省略其說(shuō)明。
(2)如圖3(b)所示，制備遮罩20，該遮罩20具備與開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的孔部22，至少在其一主面設(shè)置潤(rùn)滑層18；使?jié)櫥瑢?8與隔離壁14上接觸而將遮罩20配置在顯示器基板11上。
通過(guò)與形成在隔離壁14上或電極24上時(shí)同樣的方法形成遮罩20上的潤(rùn)滑層18。另外，在顯示器基板11的與形成隔離壁相對(duì)的一面配置磁體，通過(guò)該磁體的磁力使遮罩20和顯示器基板11接觸而使遮罩20與隔離壁14緊密相接。
遮罩20和顯示器基板11的定位與上述定位相同。與上述說(shuō)明不同的是在遮罩20上有潤(rùn)滑層18。潤(rùn)滑層18的構(gòu)成與設(shè)在上述隔離壁14上的潤(rùn)滑層18相同。因?yàn)樵谡谡?0上設(shè)置潤(rùn)滑層18，因此，與上述同樣，遮罩20和隔離壁14不容易相互牽掛。因此，可以降低給顯示器基板11帶來(lái)劃痕，可以減少遮罩20的損傷。
(3)使配置在遮罩20的外側(cè)的蒸發(fā)源蒸發(fā)的同時(shí)，通過(guò)遮罩20的孔部22使蒸發(fā)物淀積在開(kāi)口部?jī)?nèi)，形成像素圖案16。在像素圖案16中包含有機(jī)層或陰極電極。通過(guò)有機(jī)層發(fā)光可以進(jìn)行顯示。
在該實(shí)施例中，由于在遮罩20上設(shè)有潤(rùn)滑層18，所以遮罩20和隔離壁14不容易相互牽掛，可以很好地解決給顯示器基板11帶來(lái)劃痕這一問(wèn)題。因此，可以高度地維持EL顯示器10b的顯示性能。另外，也可以防止遮罩20的損傷，減少遮罩20的替換次數(shù)，從而可以在提高生產(chǎn)效率的同時(shí)降低制造成本。
上述實(shí)施例雖然是在顯示器基板11或遮罩20上設(shè)置潤(rùn)滑層18，但也可以是在其兩方上設(shè)置潤(rùn)滑層18的構(gòu)成。
另外，在上述實(shí)施例中，以有機(jī)EL顯示器為例進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以是無(wú)機(jī)層發(fā)光的無(wú)機(jī)EL顯示器。
另外，如果是利用遮罩20進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)(alignment)，則制造工序并不局限于蒸鍍。另外，在隔離壁的形成中采用了陰性抗蝕劑，但是也可以使用陽(yáng)性抗蝕劑，這是不言而喻的。另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不超出其主旨的范圍內(nèi)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改進(jìn)、修改、變更。
權(quán)利要求
1.一種EL顯示器，排列有多個(gè)像素，其特征在于，包括基板；設(shè)置在所述基板上、用于形成多個(gè)開(kāi)口的壁；形成在所述開(kāi)口中的多個(gè)像素圖案；和形成在所述壁上的第一潤(rùn)滑層。
2.如權(quán)利要求1所述的EL顯示器，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層的摩擦系數(shù)小于所述壁的摩擦系數(shù)。
3.如權(quán)利要求1所述的EL顯示器，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層由相對(duì)水具有80°-120°的接觸角的材料構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求1所述的EL顯示器，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層由氟系樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂或聚氯乙烯構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求1所述的EL顯示器，其特征在于，所述像素圖案包括有機(jī)發(fā)光層。
6.如權(quán)利要求1所述的EL顯示器，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層由CFx(1.3≤x≤2)或CHxFy(0＜x≤1，1≤y≤2，1.3≤x+y≤2)構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求1所述的EL顯示器，其特征在于，所述像素圖案包括第一電極、在所述第一電極上的第二潤(rùn)滑層、在所述第二潤(rùn)滑層上的有機(jī)層和在所述有機(jī)層上的第二電極，所述第二潤(rùn)滑層和所述第一潤(rùn)滑層由相同的材料制成。
8.一種EL顯示器的制造方法，其特征在于，包括以下工序制備顯示器基板，該顯示器基板包括基板、設(shè)置在所述基板上的用于形成多個(gè)開(kāi)口的壁和形成在所述壁上的第一潤(rùn)滑層；制備具有與所述開(kāi)口對(duì)應(yīng)的多個(gè)孔的遮罩；把所述遮罩設(shè)置在所述顯示器基板上，使得與所述第一潤(rùn)滑層接觸；蒸發(fā)設(shè)置在所述遮罩外部的蒸發(fā)源；并且通過(guò)上述遮罩的孔將來(lái)自所述蒸發(fā)源的該蒸發(fā)物淀積在上述開(kāi)口內(nèi)、所述顯示器基板上，形成多個(gè)像素圖案。
9.一種EL顯示器的制造方法，包括以下工序制備顯示器基板，所述顯示器基板包括基板、設(shè)置在所述基板上的用于形成多個(gè)開(kāi)口的壁；利用在一個(gè)板狀件的至少主表面上形成的第一潤(rùn)滑層制備具有與所述開(kāi)口對(duì)應(yīng)的多個(gè)孔的遮罩；用這種方式把所述遮罩設(shè)置在所述顯示器基板上，使得所述第一潤(rùn)滑層在所述壁上實(shí)現(xiàn)接觸；蒸發(fā)設(shè)置在所述遮罩外部的蒸發(fā)源；以及通過(guò)所述遮罩的孔在所述開(kāi)孔中淀積來(lái)自所述蒸發(fā)源的蒸發(fā)物，以形成多個(gè)像素圖案。
10.如權(quán)利要求8所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層具有比所述壁小的摩擦系數(shù)。
11.如權(quán)利要求9所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層具有比所述板狀件小的摩擦系數(shù)。
12.如權(quán)利要求8所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層由相對(duì)水具有80°-120°的接觸角的材料構(gòu)成。
13.如權(quán)利要求9所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層由相對(duì)水具有80°-120°的接觸角的材料構(gòu)成。
14.如權(quán)利要求8所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層由氟系樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂或聚氯乙烯構(gòu)成。
15.如權(quán)利要求9所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述第一潤(rùn)滑層由氟系樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂或聚氯乙烯構(gòu)成。
16.如權(quán)利要求8所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述遮罩由金屬材料制成，并且設(shè)置在顯示器基板上的所述遮罩和所述顯示器基板借助于磁吸引力相互保持接觸。
17.如權(quán)利要求9所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述遮罩由金屬材料制成，并且設(shè)置在顯示器基板上的所述遮罩和所述顯示器基板借助于磁吸引力相互保持接觸。
18.如權(quán)利要求8所述的EL顯示器的制造方法，其特征在于，所述像素圖案包括第一電極、在所述第一電極上的第二潤(rùn)滑層、在所述第二潤(rùn)滑層上的有機(jī)層和在所述有機(jī)層上的第二電極，所述第一潤(rùn)滑層和所述第二潤(rùn)滑層由相同工序形成。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于抑制在遮罩蒸鍍時(shí)在隔離壁引起的劃痕的發(fā)生，同時(shí)防止遮罩自身的損傷。本發(fā)明的EL顯示器10a包括基板12；配置在基板12上、形成與像素區(qū)域相對(duì)應(yīng)的多個(gè)開(kāi)口部的隔離壁14；形成在該開(kāi)口部?jī)?nèi)的像素圖案16；形成在上述隔離壁14上的潤(rùn)滑層18。
文檔編號(hào)H05B33/00GK1713790SQ200510078980
公開(kāi)日2005年12月28日 申請(qǐng)日期2005年6月21日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月21日
發(fā)明者村山浩二, 辻村隆俊 申請(qǐng)人:奇美電子股份有限公司, 京都陶瓷株式會(huì)社