專利名稱：用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置。
背景技術(shù)：
目前國內(nèi)外在有機發(fā)光顯示器的制作過程中，所使用的蒸鍍方式采用將待蒸鍍的基片、蒸發(fā)器置放在真空蒸發(fā)腔中，待蒸鍍的基片位于蒸發(fā)器的上方，所述基片的下表層貼有一層掩模板，蒸發(fā)器里放置鍍膜用的固態(tài)或粉末態(tài)的有機小分子材料，蒸鍍時加熱蒸發(fā)器至預(yù)定溫度，使置放于其中的有機小分子材料升華或蒸發(fā)，最終，沉積在基片上，從而制成各種有機電致發(fā)光顯示器。
但是這種鍍膜工藝中的蒸鍍裝置存在一定的缺陷，主要是由于有機小分子材料本身導(dǎo)熱性能并不強，因此，蒸發(fā)器中最先升華的往往是位于蒸發(fā)器的內(nèi)壁周圍的那部分有機小分子材料，而位于蒸發(fā)器中心部位的有機小分子材料則不易受熱，難以升華。這會使得有機小分子材料不能完全利用，由于蒸鍍發(fā)光顯示器發(fā)光層所用的有機小分子材料價格特別昂貴，比如常用的有機小分子材料NPB的價格達90美元/克，所以此種蒸鍍裝置的有機小分子材料利用率很低致使蒸鍍成本較高。
另外，這種結(jié)構(gòu)的蒸鍍裝置由于將待蒸鍍的基片與蒸發(fā)源置于同一真空腔室中，當(dāng)需要重新添加蒸發(fā)源中有機小分子材料的情況時，必須在大氣狀態(tài)下將該真空腔室打開，裝入有機小分子材料后再關(guān)閉真空室門，重新抽真空，對生產(chǎn)效率影響很大。在生產(chǎn)中，經(jīng)常需要添加或更換蒸發(fā)源中的主材料和摻雜材料，因此，這種結(jié)構(gòu)的蒸鍍裝置的缺陷就更加明顯。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型所要解決的技術(shù)問題是旨在提供一種可以有效地提高有機小分子材料的利用率的蒸鍍裝置。
本實用新型的另一個目的是提供一種生產(chǎn)效率更高的蒸鍍裝置。
根據(jù)本實用新型，一種用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，包括一可以被密封的蒸發(fā)器，所述的蒸發(fā)器的內(nèi)腔至少包括，一個可以置放有機小分子材料的第一腔室，以及一個供所述的有機小分子材料升華的第二腔室，所述的第一腔室與第二腔室相互連通；還包括第一加熱器，所述的第一加熱器位于所述的蒸發(fā)器圍繞第一腔室的壁體之中或壁體的外側(cè)；還包括蒸鍍室，貼有掩模板的待蒸鍍的基片置于所述的蒸鍍室內(nèi)，所述的蒸鍍室與所述的第二腔室相通，其特征在于所述的蒸鍍裝置還包括一個氣源，所述的氣源通過第一管道與所述的蒸發(fā)器的內(nèi)腔相通并可以通過第一管道向所述的有機小分子材料的表面輸送熱氣。
本實用新型還可進一步將所述的蒸鍍室設(shè)置在蒸發(fā)器之外，可以被密封的蒸鍍室通過第二管道與所述的第二腔室相通，所述的第二管道上設(shè)有控制管道開合的閥門。
由于在本實用新型中另外設(shè)置了由氣源和第一管道構(gòu)成的可以向有機小分子材料的表面輸送熱氣的獨立的加熱系統(tǒng)，因此，實際使用中可以由第一加熱器對有機小分子材料進行預(yù)加熱，等到有機小分子材料接近升華狀態(tài)時，可以通過增設(shè)的加熱系統(tǒng)向其表面輸送熱氣，使其表面溫度繼續(xù)升高達到或略高于有機小分子材料蒸發(fā)溫度，這樣，置放在第一腔室中的有機小分子材料升華時總是自其表面由上而下依次升華，并由所輸送氣體攜帶至基片上，不會出現(xiàn)有機小分子材料受熱不均勻、蒸鍍濃度不穩(wěn)定的現(xiàn)象，既有利于提高蒸鍍質(zhì)量，又可以大幅度提高有機小分子材料的利用率，從而有效地降低生產(chǎn)成本。
由于將蒸鍍室設(shè)置在蒸發(fā)器之外，重新添加蒸發(fā)器中的有機小分子材料后，無需再對蒸鍍室重新抽真空，從而可以提高生產(chǎn)效率。
本實用新型的目的，特征及優(yōu)點將通過實施例結(jié)合附圖進行詳細說明。


圖1是本實用新型用于用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型用于用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置另一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體的實施方式參照圖1，一種用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，包括一可以被密封的蒸發(fā)器3，所述的蒸發(fā)器3的內(nèi)腔2至少包括，一個可以置放有機小分子材料5的第一腔室21，以及一個供所述的有機小分子材料升華的第二腔室22，所述的第一腔室21與第二腔室22相互連通；還包括第一加熱器4，所述的第一加熱器4位于所述的蒸發(fā)器3圍繞第一腔室21的壁體之中或壁體的外側(cè)；還包括蒸鍍室9，貼有掩膜板92的待蒸鍍的基片91置于所述的蒸鍍室9內(nèi)，所述的蒸鍍室9與所述的第二腔室22相通，實際上，蒸鍍室9在本實施例中可以與第二腔室22共用，即貼有掩膜板92的待蒸鍍的基片91直接置于第二腔室22內(nèi)，如圖1中所示，基片91位于第二腔室22的上方，掩膜板92則貼于基片91的下表層；所述的蒸鍍裝置還包括一個氣源7，所述的氣源7通過第一管道8與所述的蒸發(fā)器3的內(nèi)腔2相通并可以通過第一管道8向所述的有機小分子材料5的表面輸送熱氣。如圖1中所示，第一管道8從蒸發(fā)器3的底部穿入所述的第一腔室21，第一管道8在第一腔室21內(nèi)的開口處略高于有機小分子材料5的表面，這樣，從第一管道8輸入的熱氣首先加熱處于表面的有機小分子材料5，當(dāng)然，第一管道8的開口也可以在內(nèi)腔2內(nèi)的其他地方，只要能夠使得有機小分子材料5的表面部分先被第一管道8輸入的熱氣加熱即可。
由于在本實用新型中另外設(shè)置了由氣源7和第一管道8構(gòu)成的可以向有機小分子材料5的表面輸送熱氣的獨立的加熱系統(tǒng)，因此，實際使用中，若所使用的有機小分子材料的蒸發(fā)溫度為T，可以由第一加熱器4對該有機小分子材料進行預(yù)加熱，升溫至T1，T1的值略微低于T的值，使得該有機小分子材料接近升華狀態(tài)，此時，可以通過增設(shè)的加熱系統(tǒng)向其表面輸送溫度為T2的熱氣，T2的值略微高于T的值，所輸送的熱氣最好是不會與該有機小分子材料發(fā)生反應(yīng)的氣體，這樣可以保證有機小分子材料原有的性能不變化；經(jīng)該熱氣源第二次加熱后，有機小分子材料的表面溫度繼續(xù)升高達到或略高于其蒸發(fā)溫度T，此時，表面部分的有機小分子材料開始升華，采用本實用新型后，置放在第一腔室21中的有機小分子材料5升華時總是自其表面由上而下依次升華，并由所輸送氣體攜帶至基片上，不會出現(xiàn)不同部位的有機小分子材料5受熱不均勻、氣態(tài)的有機小分子材料濃度前后不穩(wěn)定的現(xiàn)象，既有利于提高蒸鍍質(zhì)量，又可以大幅度提高有機小分子材料5的利用率，從而有效地降低生產(chǎn)成本。同時。本實用新型由于有兩套獨立的加熱系統(tǒng)，還產(chǎn)生了一個另外的效果即可以通過控制進入內(nèi)腔2的熱氣體與加熱器4的溫度差，達到控制有機小分子材料5的升華時間和生產(chǎn)節(jié)拍。
本實用新型還可以在氣源7與第一管道8之間，或直接在第一管道8上進一步設(shè)置一個氣體流量計71，如通常的質(zhì)量或體積流量計，這樣設(shè)置的優(yōu)點是可以有效地控制進入內(nèi)腔2內(nèi)的加熱氣體總量，達到控制有機小分子材料5的升華速率，這一點對于蒸鍍具有不同的或特定要求的有機顯示器膜片往往很重要，生產(chǎn)的可控性得到進一步的加強。
參照圖2，本實用新型還可進一步將所述的蒸鍍室9設(shè)置在蒸發(fā)器3之外，可以被密封的蒸鍍室9通過第二管道6與所述的第二腔室22相通，所述的第二管道6上設(shè)有控制管道開合的閥門61。這樣設(shè)置的優(yōu)點是在需要取出基片的場合，只要將蒸鍍室9打開即可，而在需要添加或更換蒸發(fā)器有機小分子材料的情況時，只要將蒸發(fā)器3打開，由于第二管道6上設(shè)有控制管道開合的閥門61，則在再次蒸鍍時，無需對密閉的蒸鍍室9重新抽真空，從而可以顯著地提高生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求1.一種用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，包括一可以被密封的蒸發(fā)器(3)，所述的蒸發(fā)器(3)的內(nèi)腔(2)至少包括，一個可以置放有機小分子材料(5)的第一腔室(21)，以及一個供所述的有機小分子材料升華的第二腔室(22)，所述的第一腔室(21)與第二腔室(22)相互連通；還包括第一加熱器(4)，所述的第一加熱器(4)位于所述的蒸發(fā)器(3)圍繞第一腔室(21)的壁體之中或壁體的外側(cè)；還包括蒸鍍室(9)，貼有掩模板(92)的待蒸鍍的基片(91)置于所述的蒸鍍室(9)內(nèi)，所述的蒸鍍室(9)與所述的第二腔室(22)相通，其特征在于所述的蒸鍍裝置還包括一個氣源(7)，所述的氣源(7)通過第一管道(8)與所述的蒸發(fā)器(3)的內(nèi)腔(2)相通并可以通過第一管道(8)向所述的有機小分子材料(5)的表面輸送熱氣。
2.如權(quán)利要求1所述的用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，其特征在于所述的蒸鍍室(9)設(shè)置在蒸發(fā)器(3)之外，可以被密封的蒸鍍室(9)通過第二管道(6)與所述的第二腔室(22)相通，所述的第二管道(6)上設(shè)有控制管道開合的閥門(61)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，其特征在于在氣源(7)與第一管道(8)之間或者在第一管道(8)上設(shè)置一個氣體流量計(71)。
專利摘要本實用新型公開了一種用于制作有機電致發(fā)光顯示器的蒸鍍裝置，旨在解決現(xiàn)有的蒸鍍裝置對有機小分子材料的利用率較低等問題，通過在現(xiàn)有的蒸鍍裝置中的蒸發(fā)器(3)上增設(shè)一個氣源(7)，所述的氣源(7)通過第一管道(8)與所述的蒸發(fā)器(3)的內(nèi)腔(2)相通并可以通過第一管道(8)向蒸發(fā)器(3)內(nèi)的有機小分子材料(5)的表面輸送熱氣，使得有機小分子材料(5)蒸發(fā)時從表面自上而下依次蒸發(fā)，提高了有機小分子材料(5)的利用率；此外，本實用新型還可以將蒸鍍室(9)設(shè)置在蒸發(fā)器(3)之外，蒸鍍室(9)通過帶有閥門的第二管道(6)與蒸發(fā)器(3)的內(nèi)腔相通，這樣，可以在添加有機小分子材料時不至于影響生產(chǎn)效率。
文檔編號H05B33/10GK2619451SQ0322607
公開日2004年6月2日 申請日期2003年5月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月8日
發(fā)明者周衛(wèi)華, 付東, 張泓, 尚婭嫻, 舒逸, 姜翠寧, 黃啟耀 申請人:深圳市創(chuàng)歐科技有限公司