專(zhuān)利名稱(chēng)：?jiǎn)尉t三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)及其測(cè)試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試方法，尤指一種單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)及其測(cè)試方法。該測(cè)試系統(tǒng)和測(cè)試方法主要用于直拉法單晶爐(包括常規(guī)的丘克拉斯基法(Cz法)、液封直拉法(LEC法)和蒸氣壓控制直拉法(VCZ法))，梯度凝固法單晶爐(包括垂直梯度凝固法(VGF法)、水平梯度凝固法(HGF法))，布里支曼法單晶爐(包括水平布里支曼法(HB法)、垂直布里支曼法(VB法))的三維熱場(chǎng)分布測(cè)試，還可以用于其它具有圓柱形分布的熱場(chǎng)的自動(dòng)測(cè)試。
背景技術(shù)：
目前，單晶爐的熱場(chǎng)測(cè)試一般采用測(cè)量熱場(chǎng)中幾個(gè)到幾十個(gè)非常分散的溫度點(diǎn)的方法來(lái)粗略評(píng)估熱場(chǎng)分布，這些溫度點(diǎn)一般只有簡(jiǎn)單的幾何分布規(guī)律(如沿著某些特定的線，面)，甚至沒(méi)有明顯的分布規(guī)律，完全依靠測(cè)試者的經(jīng)驗(yàn)來(lái)確定測(cè)試點(diǎn)，熱場(chǎng)中其余點(diǎn)的溫度變化情況完全憑借對(duì)有限測(cè)試點(diǎn)的分析或通過(guò)經(jīng)驗(yàn)估計(jì)得到。由于取樣點(diǎn)少，離散性大，測(cè)試人員主觀作用較明顯，所測(cè)結(jié)果誤差較大，不能客觀準(zhǔn)確的反映熱場(chǎng)的變化情況，特別是局部的溫度變化情況，不利于晶體生長(zhǎng)技術(shù)的開(kāi)發(fā)和研究。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)和不足，本發(fā)明提供一種單晶爐熱場(chǎng)分布的全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)及其測(cè)試方法，使用本發(fā)明提供的測(cè)試系統(tǒng)和測(cè)試方法可以方便、準(zhǔn)確地測(cè)量單晶爐熱場(chǎng)的三維分布情況，該系統(tǒng)具有很好的空間分辨率，可以快速獲得在熱場(chǎng)中分布比較均勻的幾百萬(wàn)個(gè)以上的資料點(diǎn)，并將測(cè)試結(jié)果自動(dòng)記錄入數(shù)據(jù)庫(kù)，繪制出比較精確的熱場(chǎng)三維溫度分布圖，并可作任意角度的二維剖面圖，得到比較真實(shí)的溫度分布剖面圖，為單晶爐熱場(chǎng)研究提供了一種方便的測(cè)試系統(tǒng)和測(cè)試方法。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一種單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，主要由數(shù)據(jù)采集單元、信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元、模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元、數(shù)據(jù)分析處理單元和數(shù)據(jù)顯示輸出單元組成，各單元之間通過(guò)信號(hào)線進(jìn)行連接；所述數(shù)據(jù)采集單元由熱電偶陣列、高度信號(hào)傳感器和偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)傳感器組成；所述信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元由信號(hào)匯集環(huán)和信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)器組成；所述數(shù)據(jù)分析處理單元由計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理軟件、資料存儲(chǔ)系統(tǒng)和熱場(chǎng)分析系統(tǒng)組成。
所述熱電偶陣列由測(cè)溫元件、支架和中空坩鍋桿組成。
所述支架包括上下兩個(gè)橫梁，橫梁中間有孔，用來(lái)固定測(cè)溫元件。
所述中空坩鍋桿與支架通過(guò)螺紋、焊接或鉚接方式連接。
所述中空坩鍋桿與信號(hào)匯集環(huán)通過(guò)螺紋、焊接或鉚接方式連接。
所述偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)傳感器可以是編碼器或角度傳感器或由轉(zhuǎn)速計(jì)配合系統(tǒng)內(nèi)部時(shí)鐘來(lái)完成。
所述信號(hào)線從測(cè)溫元件穿過(guò)中空坩鍋桿與所述信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)器通過(guò)電刷方式相接觸。
所述模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元為高速多路模/數(shù)轉(zhuǎn)換板。
一種實(shí)施上述權(quán)利要求的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試的方法，它包括以下步驟1)通過(guò)計(jì)算機(jī)輸入支架轉(zhuǎn)速的角速度、支架高度、坩堝桿升降速度和熱電偶排列間隔；2)熱電偶陣列測(cè)量熱場(chǎng)中的溫度信號(hào)，高度傳感器測(cè)量熱電偶陣列在熱場(chǎng)中的高度信號(hào)，偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)傳感器測(cè)量熱電偶陣列在熱場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)，并將測(cè)試到的信號(hào)通過(guò)信號(hào)線傳輸?shù)叫盘?hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元；3)信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元將各熱電偶信號(hào)進(jìn)行耦合放大并轉(zhuǎn)發(fā)到模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元；4)模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元將測(cè)試到的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為計(jì)算機(jī)可識(shí)別的數(shù)字信號(hào)，并將數(shù)字信號(hào)傳送到數(shù)據(jù)分析處理單元；5)數(shù)據(jù)分析處理單元對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行插值處理，將測(cè)試結(jié)果存入數(shù)據(jù)庫(kù)，將溫度、高度和偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)一一對(duì)應(yīng)，繪制出單晶爐三維熱場(chǎng)分布圖，將熱場(chǎng)分布圖輸出到數(shù)據(jù)顯示輸出單元。
由于本發(fā)明采用了以上技術(shù)方案，故具有以下優(yōu)點(diǎn)1、測(cè)試數(shù)據(jù)量大，分布均勻，能夠詳實(shí)的反映熱場(chǎng)的溫度分布情況。2、自動(dòng)化程度高，數(shù)據(jù)采集、插值處理等相關(guān)操作完全由計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制處理，研究人員只需設(shè)定幾個(gè)簡(jiǎn)單直觀的參數(shù)(如支架轉(zhuǎn)速、支架高度、坩堝桿升降速度等)即可獲得熱場(chǎng)的三維分布圖。3、可利用軟件求出任意橫截面和縱剖面的熱場(chǎng)數(shù)據(jù)，并繪制該截面上的溫度分布二維圖，極大地方便了熱場(chǎng)研究工作。4、還可以利用模擬晶體，在接近真實(shí)晶體生長(zhǎng)的環(huán)境下，進(jìn)行熱場(chǎng)模擬試驗(yàn)，以獲得更接近實(shí)際生長(zhǎng)的熱場(chǎng)資料，方便了晶體生長(zhǎng)的研究工作。


圖1為本發(fā)明的系統(tǒng)模塊連接關(guān)系2為本發(fā)明的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意3為本發(fā)明的信號(hào)處理流程圖具體實(shí)施方式
如圖1所示，本發(fā)明的單晶爐三維熱場(chǎng)分布的全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)由數(shù)據(jù)采集單元、信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元、模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元、數(shù)據(jù)分析處理單元和數(shù)據(jù)顯示輸出單元組成，各單元之間通過(guò)信號(hào)線進(jìn)行連接。
如圖2、圖3所示，數(shù)據(jù)采集單元由熱電偶陣列、高度信號(hào)傳感器和偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)傳感器組成。
熱電偶陣列由測(cè)溫元件1、支架2和中空坩鍋桿4組成。
支架2由上下兩個(gè)橫梁21和22組成，橫梁中間有孔用來(lái)固定測(cè)溫元件1，測(cè)溫元件1從孔中穿過(guò)，根據(jù)測(cè)試的溫度區(qū)間的不同，測(cè)溫元件1可以自由選用各種形式的熱電偶、熱敏電阻等電學(xué)元件。
支架2可由石墨、氧化鋁、碳化硅、氮化硼、氮化鋁、二氧化硅等耐高溫陶瓷材料制成，保證其在高溫下不變形，如果測(cè)試的溫度較低，也可采用鋼鐵、銅、鋁等金屬或合金材料制得。
中空坩鍋桿4與支架2的下橫梁22通過(guò)螺紋、焊接或鉚接方式連接。測(cè)溫元件1測(cè)試出的信號(hào)通過(guò)信號(hào)線3進(jìn)行傳送，信號(hào)線3從測(cè)溫元件1穿過(guò)中空坩堝桿4匯集到信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元。
高度傳感器安裝在中空坩鍋桿4旁，用來(lái)測(cè)量熱電偶陣列在熱場(chǎng)中的高度，可采用光柵尺來(lái)實(shí)現(xiàn)。
偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)傳感器用來(lái)測(cè)量熱電偶陣列在熱場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)角度，偏轉(zhuǎn)角度傳感器可采用轉(zhuǎn)速計(jì)配合系統(tǒng)內(nèi)部時(shí)鐘或編碼器或角度傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)。根據(jù)所采用的設(shè)備的不同，轉(zhuǎn)速計(jì)、編碼器或角度傳感器可靈活選擇采用軟件或硬件的形式，信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元由信號(hào)匯集環(huán)5和信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)器6組成。
中空坩鍋桿4與信號(hào)匯集環(huán)5通過(guò)螺紋、焊接或鉚接方式連接。信號(hào)匯集環(huán)5和信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)器6二者配合使用，不斷將旋轉(zhuǎn)著的測(cè)溫元件1產(chǎn)生的信號(hào)傳遞給靜止不動(dòng)的模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元7。固定于爐體上的信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)器6通過(guò)電刷和信號(hào)匯集環(huán)5中的信號(hào)線3相接觸，取得在旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下的信號(hào)匯集環(huán)5上的由測(cè)溫元件1產(chǎn)生的溫度信號(hào)，信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)器6將從信號(hào)匯集環(huán)5上傳來(lái)的信號(hào)進(jìn)行放大，放大到適合作為模/數(shù)轉(zhuǎn)換板單元的輸入信號(hào)后，再將該信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)到模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元7上。
中空坩堝桿4可帶動(dòng)支架2轉(zhuǎn)動(dòng)，在中空坩堝桿4上可套接皮帶輪，通過(guò)皮帶、電機(jī)驅(qū)動(dòng)中空坩堝桿4轉(zhuǎn)動(dòng)。
模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元7負(fù)責(zé)將測(cè)溫元件1測(cè)出的溫度信號(hào)、高度信號(hào)和偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)轉(zhuǎn)換成計(jì)算機(jī)可以識(shí)別的數(shù)字信號(hào)。為了滿(mǎn)足測(cè)量實(shí)時(shí)性的要求，模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元7必須采用高速多路模/數(shù)轉(zhuǎn)換板，如研華PCL-818#L型，這種轉(zhuǎn)換板可以在很短的時(shí)間內(nèi)一次完成所有溫度信號(hào)的轉(zhuǎn)換，可有效消除因測(cè)溫元件位置的不斷變化(測(cè)溫組件在不停的旋轉(zhuǎn))所帶來(lái)的誤差。
數(shù)據(jù)分析處理單元8由計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理軟件、資料存儲(chǔ)系統(tǒng)和熱場(chǎng)分析系統(tǒng)組成。計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理軟件將模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元7產(chǎn)生的位置和溫度相關(guān)電信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換，根據(jù)操作人員輸入的參數(shù)，如支架轉(zhuǎn)速、支架高度、坩堝桿升降速度、熱電偶排列間隔，利用轉(zhuǎn)速計(jì)配合系統(tǒng)內(nèi)部時(shí)鐘或編碼器或角度傳感器均可以得到熱電偶支架在熱場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)角度參量θ。根據(jù)所采用的設(shè)備的不同，轉(zhuǎn)速計(jì)、編碼器或角度傳感器可靈活選擇采用軟件或硬件的形式，如采用轉(zhuǎn)速計(jì)配合內(nèi)部時(shí)鐘，偏轉(zhuǎn)角θ＝轉(zhuǎn)速×?xí)r間-n×2π，如果用角度傳感器或編碼器，其信號(hào)可以直接給出偏轉(zhuǎn)角度大小。利用支架本身的尺寸和熱電偶的排列分布可確定徑向長(zhǎng)度參數(shù)ρ，利用在坩堝桿旁邊安裝的光柵尺等高度傳感器可以得到軸向參數(shù)z，從而得到較為準(zhǔn)確的空間位置(包括ρ，θ，z三個(gè)坐標(biāo))和在該位置上的溫度。
計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理軟件將處理后得到的位置和溫度信息的資料按照預(yù)先規(guī)定的格式和排列順序存儲(chǔ)入數(shù)據(jù)存儲(chǔ)系統(tǒng)。由于測(cè)試點(diǎn)數(shù)據(jù)量很大，為了便于保存和進(jìn)一步處理，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)系統(tǒng)需將測(cè)試數(shù)據(jù)存入合適的數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)中，如SQL Server，ACCESS，DB2，Oracle，也可以自己開(kāi)發(fā)的數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)。
熱場(chǎng)分析系統(tǒng)可進(jìn)行信號(hào)匯總，將溫度、高度、偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)一一對(duì)應(yīng)，得出溫度信號(hào)與位置信號(hào)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，由于測(cè)試出的數(shù)值仍然是離散的數(shù)據(jù)點(diǎn)，熱場(chǎng)分析系統(tǒng)可以利用平均插值，拉格朗日插值或B樣條插值等插值算法對(duì)測(cè)試到的離散數(shù)據(jù)進(jìn)行插值處理，對(duì)沒(méi)有測(cè)量到的位置的數(shù)據(jù)進(jìn)行填補(bǔ)，繪制出單晶爐三維熱場(chǎng)的分布圖，還可以分析繪制出任意橫截面和縱剖面上的溫度分布，并輸出到數(shù)據(jù)顯示輸出單元。
數(shù)據(jù)顯示輸出單元可將測(cè)試出的單晶爐三維熱場(chǎng)分布圖在計(jì)算機(jī)上顯示出來(lái)，并可根據(jù)需要對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行打印輸出。
下面對(duì)本發(fā)明的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試的方法進(jìn)行說(shuō)明當(dāng)需要對(duì)單晶爐三維熱場(chǎng)分布進(jìn)行測(cè)試時(shí)，操作人員根據(jù)測(cè)試需要，可以人工通過(guò)計(jì)算機(jī)設(shè)定一些基本參數(shù)，包括支架轉(zhuǎn)速的角速度ω、支架高度z、坩堝桿升降速度和熱電偶排列間隔，在熱場(chǎng)中某一個(gè)特定高度z1上，當(dāng)支架轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，在模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元7的一個(gè)采樣周期T內(nèi)，N支熱電偶將采集N路溫度信號(hào)，即沿半徑方向獲得N個(gè)溫度數(shù)據(jù)點(diǎn)，沿每個(gè)圓形橫截面的直徑方向?qū)@得(2N-1)個(gè)溫度數(shù)據(jù)點(diǎn)。支架以角速度ω每轉(zhuǎn)動(dòng)一周，將測(cè)出(2π/(ωT))×(N-1)+1個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，可以根據(jù)這些資料點(diǎn)繪制出熱場(chǎng)中某一個(gè)特定高度的橫截面上的溫度分布二維圖。中空坩堝桿下降到另一給定高度z2，重復(fù)以上測(cè)量，可以得到新的橫截面上的溫度分布二維圖。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)系統(tǒng)將測(cè)試出的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)入計(jì)算機(jī)中的數(shù)據(jù)庫(kù)中，由于這些資料點(diǎn)仍然是離散的，熱場(chǎng)分析系統(tǒng)利用平均插值，拉格朗日插值，B樣條插值等插值算法，填補(bǔ)沒(méi)有測(cè)量到的位置，可以繪制出熱場(chǎng)中溫度的三維分布圖，并可截取任意橫截面和縱剖面的熱場(chǎng)數(shù)據(jù)，繪制該截面上的溫度分布二維圖，為熱場(chǎng)研究工作提供詳實(shí)的實(shí)驗(yàn)測(cè)試資料和比較直觀的分析。所有分析結(jié)果可以送彩色打印機(jī)輸出。另外還可以對(duì)熱電偶排列間隔進(jìn)行調(diào)整，以便于進(jìn)行細(xì)致的局部熱場(chǎng)分布的研究。
本發(fā)明即可以測(cè)量空載熱場(chǎng)，也可以將熱電偶插入模擬晶體中，在接近真實(shí)晶體生長(zhǎng)的環(huán)境下，進(jìn)行熱場(chǎng)模擬試驗(yàn)，以獲得更接近實(shí)際生長(zhǎng)的熱場(chǎng)資料，可以有效地減少昂貴的真實(shí)實(shí)驗(yàn)次數(shù)和資金投入。
權(quán)利要求
1.一種單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于它主要由數(shù)據(jù)采集單元、信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元、模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元、數(shù)據(jù)分析處理單元和數(shù)據(jù)顯示輸出單元組成，各單元之間通過(guò)信號(hào)線進(jìn)行連接；所述數(shù)據(jù)采集單元由熱電偶陣列、高度信號(hào)傳感器和偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)傳感器組成；所述信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元由信號(hào)匯集環(huán)和信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)器組成；所述數(shù)據(jù)分析處理單元由計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理軟件、資料存儲(chǔ)系統(tǒng)和熱場(chǎng)分析系統(tǒng)組成。
2.如權(quán)利要求1所述的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，所述熱電偶陣列由測(cè)溫元件、支架和中空坩鍋桿組成。
3.如權(quán)利要求2所述的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述支架包括上下兩個(gè)橫梁，橫梁中間有孔，用來(lái)固定測(cè)溫元件。
4.如權(quán)利要求2所述的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述中空坩鍋桿與支架通過(guò)螺紋、焊接或鉚接方式連接。
5.如權(quán)利要求2所述的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述中空坩鍋桿與信號(hào)匯集環(huán)通過(guò)螺紋、焊接或鉚接方式連接。
6.如權(quán)利要求1所述的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，所述偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)傳感器可以是編碼器或角度傳感器或由轉(zhuǎn)速計(jì)配合系統(tǒng)內(nèi)部時(shí)鐘來(lái)完成。
7.如權(quán)利要求1所述的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述信號(hào)線從測(cè)溫元件穿過(guò)中空坩鍋桿與信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)器通過(guò)電刷方式相接觸。
8.如權(quán)利要求1所述的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元為高速多路模/數(shù)轉(zhuǎn)換板。
9.一種實(shí)施上述權(quán)利要求的單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試方法，它包括以下步驟1)設(shè)定支架轉(zhuǎn)速的角速度、支架高度、坩堝桿升降速度和熱電偶排列間隔；2)熱電偶陣列測(cè)量熱場(chǎng)中的溫度信號(hào)，高度傳感器測(cè)量熱電偶陣列在熱場(chǎng)中的高度信號(hào)，偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)傳感器測(cè)量熱電偶陣列在熱場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)，并將測(cè)試到的信號(hào)通過(guò)信號(hào)線傳輸?shù)叫盘?hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元；3)信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元將各熱電偶信號(hào)進(jìn)行耦合放大并轉(zhuǎn)發(fā)到模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元；4)模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元將測(cè)試到的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為計(jì)算機(jī)可識(shí)別的數(shù)字信號(hào)，并將數(shù)字信號(hào)傳送到數(shù)據(jù)分析處理單元；5)數(shù)據(jù)分析處理單元對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行插值處理，將測(cè)試結(jié)果存入數(shù)據(jù)庫(kù)，將溫度、高度和偏轉(zhuǎn)角度信號(hào)一一對(duì)應(yīng)，繪制出單晶爐三維熱場(chǎng)分布圖，將熱場(chǎng)分布圖輸出到數(shù)據(jù)顯示輸出單元。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶爐三維熱場(chǎng)分布全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)及其測(cè)試方法，該測(cè)試系統(tǒng)主要由數(shù)據(jù)采集單元、信號(hào)匯集轉(zhuǎn)發(fā)單元、模/數(shù)轉(zhuǎn)換單元、數(shù)據(jù)分析處理單元和數(shù)據(jù)顯示輸出單元組成，各單元之間通過(guò)信號(hào)線進(jìn)行連接；使用本發(fā)明提供的測(cè)試系統(tǒng)和測(cè)試方法可以方便、準(zhǔn)確地測(cè)量單晶爐熱場(chǎng)的三維分布情況，可以快速獲得在熱場(chǎng)中分布比較均勻的幾百萬(wàn)個(gè)以上的資料點(diǎn)，并將測(cè)試結(jié)果自動(dòng)記錄入數(shù)據(jù)庫(kù)，繪制出比較精確的熱場(chǎng)三維溫度分布圖，并可作任意角度的二維剖面圖，得到比較真實(shí)的溫度分布剖面圖，為單晶爐熱場(chǎng)研究提供了一種方便的測(cè)試設(shè)備。
文檔編號(hào)C30B15/20GK1510176SQ0215793
公開(kāi)日2004年7月7日 申請(qǐng)日期2002年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月20日
發(fā)明者屠海令, 張峰燚, 石瑛, 鄭杰, 周新民, 朱力, 馬慶祥, 王鉞 申請(qǐng)人:北京有色金屬研究總院