技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種電容式麥克風(fēng)半成品的氧化層粗糙面平坦化的方法，包括如下步驟：提供待加工的電容式麥克風(fēng)半成品，電容式麥克風(fēng)半成品包括具有粗糙表面的氧化層；將所述待加工的電容式麥克風(fēng)半成品安置于工作臺上；利用拋光機(jī)的磨片打磨所述氧化層的粗糙表面至粗糙表面平坦。與相關(guān)技術(shù)相比，本發(fā)明提供的電容式麥克風(fēng)半成品的氧化層粗糙面平坦化的方法利用拋光機(jī)就能對氧化層的粗糙表面進(jìn)行平坦化打磨，使得生產(chǎn)成本更低，通過提供改善打磨性能的漿料和改變拋光機(jī)的參數(shù)來進(jìn)行打磨，不但工藝步驟簡單，而且打磨效率和質(zhì)量得到顯著提升。

技術(shù)研發(fā)人員：董峰青;鐘曉輝;吳偉昌;黎家健
受保護(hù)的技術(shù)使用者：瑞聲科技（新加坡）有限公司
文檔號碼：201710123296
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.03
技術(shù)公布日：2017.06.20