1.一種電容式麥克風(fēng)半成品的氧化層粗糙面平坦化的方法，其特征在于，包括如下步驟：
提供待加工的電容式麥克風(fēng)半成品，所述電容式麥克風(fēng)半成品包括具有粗糙表面的氧化層；
將所述電容式麥克風(fēng)半成品安置于工作臺(tái)上；
利用拋光機(jī)的磨片打磨所述氧化層的粗糙表面至粗糙表面平坦。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容式麥克風(fēng)半成品的氧化層粗糙面平坦化的方法，其特征在于，在所述利用拋光機(jī)的磨片打磨所述氧化層的粗糙表面至粗糙表面平坦步驟之前，還包括：
在拋光機(jī)的磨片與所述氧化層的粗糙表面之間加入改善打磨性能的漿料。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容式麥克風(fēng)半成品的氧化層粗糙面平坦化的方法，其特征在于，所述漿料為PH值3-5的酸性漿料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式麥克風(fēng)半成品的氧化層粗糙面平坦化的方法，其特征在于，所述漿料包括直徑30nm-60nm的顆粒物。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容式麥克風(fēng)半成品的氧化層粗糙面平坦化的方法，其特征在于，所述拋光機(jī)設(shè)有用于注入所述漿料的注入孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的電容式麥克風(fēng)半成品的氧化層粗糙面平坦化的方法，其特征在于，所述磨片的硬度大于50度。