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具有位置傳感器的MEMS揚聲器的制作方法

文檔序號:12183891閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于生成可聽波長譜中的聲波的MEMS揚聲器1,其具有:電路板10;隔膜2,其能夠相對于電路板10沿著z軸偏移;至少一個壓電執(zhí)行器7,其用于偏移隔膜2;以及完全嵌入在電路板10中的電子控制單元11、尤其是ASIC40,其用于激勵執(zhí)行器7。根據(jù)本發(fā)明,MEMS揚聲器1具有至少一個位置傳感器19,借助于所述位置傳感器19,能夠向控制單元(11)提供依賴于隔膜偏移的傳感器信號.控制單元被構(gòu)造為以基于控制信號受控的方式激勵執(zhí)行器。

技術(shù)研發(fā)人員:安德里亞·韋斯高尼·克萊里西;費魯喬·博托尼
受保護(hù)的技術(shù)使用者:悠聲股份有限公司
文檔號碼:201610742220
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.26
技術(shù)公布日:2017.03.08

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