pct國內(nèi)申請，說明書已公開。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實施例涉及一種硅麥克風(fēng)裝置，該裝置包括硅麥克風(fēng)本體和防護(hù)單元；硅麥克風(fēng)本體包括：印制電路板、外殼以及容置于印制電路板和外殼形成的腔體中的硅微機電系統(tǒng)MEMS芯片；印制電路板上具有與硅MEMS芯片的振膜相對應(yīng)的第一孔；防護(hù)單元，設(shè)置于印制電路板的位于腔體內(nèi)的表面上，防護(hù)單元為具有微孔結(jié)構(gòu)或網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的片狀單元，微孔結(jié)構(gòu)或網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)覆蓋第一孔。該裝置中的防護(hù)單元具有防塵、防吹擊的作用；同時，在裝配過程中無需具有單獨安裝保護(hù)膜的環(huán)節(jié)，簡化了裝配工序，提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：任艷輝;邱志強;張鐵男
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華為技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.23
技術(shù)公布日：2017.09.26