專利名稱:燒結(jié)式硅杯及燒結(jié)式硅杯固定、懸浮式高壓傳感器的制作方法
本實(shí)用新型屬于傳感器制造領(lǐng)域。
本實(shí)用新型現(xiàn)有技術(shù)領(lǐng)域：
中的已有技術(shù)是1.整體硅杯制作，其制作方法復(fù)雜、工藝周期長(zhǎng)，硅杯底部膜片的厚度和均勻度不易精密控制，以致硅杯制造的成品率很低、精度低、成本高。國外制造廠家利用靜電封結(jié)技術(shù)制造硅杯，其工藝復(fù)雜、要求必需將玻璃環(huán)端面和硅膜片拋光到鏡面狀態(tài)并且需要專門的靜電封結(jié)設(shè)備、封結(jié)速度慢、封結(jié)的膜片和玻璃環(huán)的連接強(qiáng)度較低，并且封結(jié)的硅杯只適宜作低量程傳感器，無法作中高壓壓阻壓力傳感器。2.在底座固定的剛性結(jié)構(gòu)傳感器，雖然結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但硅杯直接和殼體的底部連接，硅杯易受由殼體傳入的外界應(yīng)力及其它因素的影響而使性能變壞。3.橡膠圈夾持的懸浮結(jié)構(gòu)傳感器，雖然裝配工藝簡(jiǎn)單，但結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，在較低量程中性能較好，量程稍一增高，密封可靠性就變差，蠕變就增大。4.支持式懸浮結(jié)構(gòu)傳感器，為滿足氣密性好，因而制作工藝復(fù)雜并受支持管的連接強(qiáng)度的影響，無法制作高量程壓力傳感器。
本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)上述存在的問題，設(shè)計(jì)一種燒結(jié)式硅杯及燒結(jié)式硅杯 固定、懸浮式壓力傳感器。
本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)方案是一種燒結(jié)式硅杯，其實(shí)質(zhì)是硅彈性膜片和玻璃環(huán)的組合是通過在玻璃環(huán)的端面上涂低溫?zé)Y(jié)粉后與硅彈性膜片中的圖形對(duì)正后推入燒結(jié)爐、在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下加熱到430～480℃燒結(jié)而形成的高強(qiáng)度組合硅杯。硅彈性膜片中的圖形為惠斯登電橋并且與玻璃環(huán)的內(nèi)徑相互對(duì)正。其簡(jiǎn)單工藝流程為在單晶硅上定向切割硅膜片→粗磨→拋光→用半導(dǎo)體平面工藝在硅膜片上擴(kuò)散制作多組惠斯登電橋→將擴(kuò)散有多組惠斯登電橋的大片劃片切割成含有單組惠斯登電橋的小膜片→用玻璃管切玻璃環(huán)→在玻璃環(huán)的端面上涂低溫?zé)Y(jié)粉→將玻璃環(huán)的內(nèi)徑與硅膜片的圖形(惠斯登電橋)對(duì)正并推入爐內(nèi)、在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下加熱到430～480℃燒結(jié)形成高強(qiáng)度組合硅杯。
一種燒結(jié)式硅杯 固定、懸浮式高壓傳感器，它包括殼體、高強(qiáng)度組合硅杯、基座、接線板、殼體帽和電纜線，其實(shí)質(zhì)是在車有外螺紋的圓柱基座內(nèi)、鏜一凹孔并在凹孔的底部鉆有穿金絲的小孔，高強(qiáng)度組合硅杯倒裝入凹孔并用環(huán)氧膠粘接成固定結(jié)構(gòu)，然后將固定有高強(qiáng)度組合硅杯的基座倒旋入傳感器殼體內(nèi)即組成燒結(jié)式硅杯 固定、懸浮式高壓傳感器，此種結(jié)構(gòu)的高壓傳感器能夠保證傳感器裝配過程及使用過程中的工作特征的穩(wěn)定可靠性。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，燒結(jié)式硅杯的燒結(jié)部位的連接強(qiáng)度高、硅膜片的加工精度易控制、加工方法簡(jiǎn)單、成本低，并且硅膜片與玻璃環(huán)的連接強(qiáng)度高等特點(diǎn)；燒結(jié)式硅杯固定、懸浮式高壓傳感器，此種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、氣密性好、連接強(qiáng)度高、受外界附加應(yīng)力及溫度變化影響小，并且宜制作高精度、中高量程的壓阻壓力傳感器。
圖1是燒結(jié)式硅杯 固定、懸浮式高壓傳感器的剖視圖。
圖2是燒結(jié)式硅杯的剖視圖。
實(shí)施例圖1是燒結(jié)式硅杯 固定、懸浮式高壓傳感器的一種實(shí)施例。
圖2是燒結(jié)式硅杯的一種實(shí)施例。
燒結(jié)式硅杯固定 懸浮式高壓傳感器的實(shí)施在傳感器殼體(1)內(nèi)，倒旋入基座(3)，在基座(3)凹孔內(nèi)用環(huán)氧膠粘接倒裝的高強(qiáng)度組合硅杯(2)形成高強(qiáng)度組合硅杯對(duì)基座的固定連接，再將接線板(4)貼在基座的后面供硅杯中的惠斯登電橋引出金絲和電纜引線(6)接線用，然后將電纜線從殼體帽(5)中穿過，最后將殼體帽壓入殼體的凹槽中即可。
燒結(jié)式硅杯的實(shí)施首先將低溫?zé)Y(jié)粉涂在玻璃環(huán)(8)的端面，再將玻璃環(huán)的內(nèi)徑與硅彈性膜片(7)上的圖形對(duì)正，然后推入燒結(jié)爐，在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下加熱到430～480℃燒結(jié)即可。
權(quán)利要求
1.一種燒結(jié)式硅杯，其特征在于硅彈性膜片(7)和玻璃環(huán)(8)的組合是通過在玻璃環(huán)的端面上涂低溫?zé)Y(jié)粉后與硅彈性膜片中的圖形對(duì)正后推入燒結(jié)爐，在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下加熱到430～480℃燒結(jié)而形成的高強(qiáng)度組合硅杯。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的燒結(jié)式硅杯，其特征是硅彈性膜片中的圖形與玻璃環(huán)的內(nèi)徑相互對(duì)正。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1或2所述的燒結(jié)式硅杯，其特征是硅彈性膜片中的圖形為惠斯登電橋。
4.一種燒結(jié)式硅杯固定懸浮式高壓傳感器，其特征在于在車有外螺紋的園柱基座(3)內(nèi)、鏜一凹孔并在凹孔的底部鉆有穿金絲的小孔，高強(qiáng)度組合硅杯(2)倒裝入凹孔并用環(huán)氧膠粘接成固定結(jié)構(gòu)，然后將固定有高強(qiáng)度組合硅杯的基座倒旋入傳感器殼體(1)內(nèi)即組成燒結(jié)式硅杯固定、懸浮式高壓傳感器。
專利摘要
燒結(jié)式硅杯及燒結(jié)式硅杯固定、懸浮式高壓傳感器，其實(shí)質(zhì)是硅彈性膜片和玻璃環(huán)的組合是通過燒結(jié)爐加熱燒結(jié)而成的一種高強(qiáng)度組合硅杯；而燒結(jié)式硅杯固定、懸浮式高壓傳感器，是采用高強(qiáng)度組合硅杯并倒裝入基座的凹孔后粘接固定形成一個(gè)固定的整體，同時(shí)將這個(gè)整體旋入殼體而形成“固定——懸浮式結(jié)構(gòu)”，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、氣密性好、連接強(qiáng)度高、受外界附加應(yīng)力及溫度變化影響小，并且宜制作高精度、中高量程的壓阻壓力傳感器。
文檔編號(hào)H04R31/00GK87207601SQ87207601
公開日1988年2月3日 申請(qǐng)日期1987年5月1日
發(fā)明者朱勝志, 孫富峰, 呂新華 申請(qǐng)人:寶雞市秦嶺晶體管廠導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan