技術(shù)編號(hào)：9359
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于傳感器制造領(lǐng)域。本實(shí)用新型現(xiàn)有技術(shù)領(lǐng)域中的已有技術(shù)是1.整體硅杯制作，其制作方法復(fù)雜、工藝周期長(zhǎng)，硅杯底部膜片的厚度和均勻度不易精密控制，以致硅杯制造的成品率很低、精度低、成本高。國(guó)外制造廠(chǎng)家利用靜電封結(jié)技術(shù)制造硅杯，其工藝復(fù)雜、要求必需將玻璃環(huán)端面和硅膜片拋光到鏡面狀態(tài)并且需要專(zhuān)門(mén)的靜電封結(jié)設(shè)備、封結(jié)速度慢、封結(jié)的膜片和玻璃環(huán)的連接強(qiáng)度較低，并且封結(jié)的硅杯只適宜作低量程傳感器，無(wú)法作中高壓壓阻壓力傳感器。2.在底座固定的剛性結(jié)構(gòu)傳感器，雖然結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但硅杯直接和殼體的底部連接，硅杯易受由殼體傳入的外...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。