專利名稱：一種無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光伏電池的生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及硅電池片燒結(jié)爐。
背景技術(shù)：
在太陽電池片的整個(gè)生產(chǎn)工藝流程中，擴(kuò)散、鍍膜和燒結(jié)三道工序最為重要，其中 燒結(jié)是使晶體硅基片真正具有光電轉(zhuǎn)換功能的至關(guān)重要的一步。因此，燒結(jié)設(shè)備的性能好 壞直接影響著電池片的質(zhì)量。目前，國內(nèi)外的太陽能電池生產(chǎn)制造廠家普遍使用歐美企業(yè)生產(chǎn)的網(wǎng)帶式隧道燒 結(jié)爐，在燒結(jié)爐的縱向上依次設(shè)有預(yù)熱排膠區(qū)、升溫區(qū)、燒結(jié)區(qū)和降溫區(qū)，在不同區(qū)域布置 不同密度的加熱燈管來控制各區(qū)域的溫度，印刷電極的硅片通過網(wǎng)帶傳輸，依次經(jīng)過燒結(jié) 爐的不同爐溫區(qū)，完成預(yù)熱排膠、升溫、燒結(jié)和降溫的電極燒結(jié)過程，雖然這種網(wǎng)帶式隧道 燒結(jié)技術(shù)比較成熟，但整個(gè)燒結(jié)爐的縱向占地面積大，需要設(shè)計(jì)很長的爐體才能保證硅片 在隧道傳輸過程中的預(yù)熱排膠、升溫、燒結(jié)、降溫過程，特別是高溫?zé)Y(jié)區(qū)需要在850-950°C 之間，需要設(shè)計(jì)2-3米的隧道長度才能達(dá)到如此高的溫度，這使得網(wǎng)帶式燒結(jié)爐的體積都 比較龐大。若縮小則網(wǎng)帶式隧道燒結(jié)爐的爐溫區(qū)就不明確，無法滿足燒結(jié)工藝要求。另外， 耐高溫網(wǎng)帶在運(yùn)轉(zhuǎn)的過程中，需要繞爐體內(nèi)外循環(huán)運(yùn)轉(zhuǎn)，網(wǎng)帶部分伴隨硅片接受升溫和降 溫的過程，因此，在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，網(wǎng)帶會(huì)從爐內(nèi)攜帶出大量的熱量，而這部分熱量將全部作 為損耗，不僅造成了大量能量的浪費(fèi)，而且也升高了工作環(huán)境溫度，尤其在嚴(yán)熱的夏天，操 作人員的連續(xù)工作時(shí)間只能在2小時(shí)，否則，操作者就容易中署。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有太陽能電池網(wǎng)帶式隧道燒結(jié)爐的不足，本發(fā)明提供了一種無網(wǎng)帶硅 電池片燒結(jié)爐。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，它包括進(jìn)料臺(tái)、隧道式燒結(jié)箱、出料臺(tái)、硅片輸送裝 置和爐體架，沿隧道式燒結(jié)箱的縱向依次設(shè)有預(yù)熱排膠區(qū)、升溫區(qū)、燒結(jié)區(qū)和降溫區(qū)四個(gè)區(qū) 域，其特征是在預(yù)熱排膠區(qū)、升溫區(qū)、燒結(jié)區(qū)和降溫區(qū)之間均設(shè)有隔熱板，在預(yù)熱排膠區(qū)、 升溫區(qū)和燒結(jié)區(qū)內(nèi)設(shè)有加熱燈管；出料臺(tái)的結(jié)構(gòu)與進(jìn)料臺(tái)的結(jié)構(gòu)相同，且兩者對(duì)稱設(shè)置，它 們都包括固定底板、固定架、導(dǎo)向桿、導(dǎo)向套、活動(dòng)板、滑軌和滑動(dòng)板，滑軌分別固定在活動(dòng) 板上，滑動(dòng)板分別套裝在滑軌上，活動(dòng)板分別通過導(dǎo)向桿和導(dǎo)向套的套裝結(jié)構(gòu)與固定底板 相連接，固定底板都安裝在爐體架上；在固定底板和活動(dòng)板之間設(shè)有往復(fù)升降機(jī)構(gòu)，在固定 底板與滑動(dòng)板之間設(shè)有往復(fù)平移機(jī)構(gòu)，往復(fù)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)活動(dòng)板相對(duì)于固定底板周期性地 完成上升和下降動(dòng)作，往復(fù)平移機(jī)構(gòu)帶動(dòng)滑動(dòng)板相對(duì)于活動(dòng)板周期性地完成前移和后移動(dòng) 作；硅片輸送裝置包括固定托架和移動(dòng)托架，固定托架的兩端分別固定在進(jìn)料臺(tái)和出料臺(tái) 中的固定架上，移動(dòng)托架的兩端分別固定在進(jìn)料臺(tái)和出料臺(tái)中的滑動(dòng)板上，且固定托架位 于兩相鄰移動(dòng)托架之間。
進(jìn)一步，在活動(dòng)板和固定底板之間通過四根導(dǎo)向桿與導(dǎo)向套的套裝結(jié)構(gòu)可升降滑 動(dòng)地連接；在活動(dòng)板和固定底板之間通過四根導(dǎo)向桿與導(dǎo)向套的套裝結(jié)構(gòu)可升降滑動(dòng)地連 接。進(jìn)一步，固定托架和移動(dòng)托架的結(jié)構(gòu)相同，它們都包括石英玻璃管、金屬套、托腳 和限位螺釘，托腳固定在金屬套上，在金屬套上設(shè)有螺紋孔，金屬套通過限位螺釘?shù)乳g距地 固定在石英玻璃管上。進(jìn)一步，在石英玻璃管上沿軸向方向等距離地開有限位孔；在金屬套上還設(shè)有開 □。進(jìn)一步，所述托腳由鋼絲制成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層。進(jìn)一步，固定托架的兩端通過耳座、固定架分別安裝在固定底板上，兩只托腳對(duì)稱 地固定在金屬套上，且托腳的外伸腳段高于安裝在金屬套上的限位螺釘?shù)耐饴抖?，兩只?腳的外伸腳段之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90。進(jìn)一步，移動(dòng)托架的兩端通過耳座分別安裝在滑動(dòng)板上，所述移動(dòng)托架分為雙腳 托架、左腳托架和右腳托架，在雙腳托架中，兩只托腳對(duì)稱地固定在金屬套上；在左腳托架 中，一只托腳固定在金屬套的右側(cè)上；在右腳托架中，一只托腳固定在金屬套的左側(cè)上；雙 腳托架、左腳托架和右腳托架上的所有托腳均處于同一平面上，且左腳托架與雙腳托架上 相鄰?fù)心_的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ；右腳托架與雙腳托架上相鄰?fù)?腳的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90。進(jìn)一步，所述往復(fù)升降機(jī)構(gòu)包括水平推桿A、擺桿、轉(zhuǎn)軸、軸承座、偏心輪、滾輪、耳 座、活動(dòng)臺(tái)和固定底板，轉(zhuǎn)軸通過軸承座安裝在固定底板上，偏心輪固定安裝在轉(zhuǎn)軸上，擺 桿的上端固定安裝在轉(zhuǎn)軸上，擺桿的下端與水平推桿A鉸接，滾輪通過耳座固定在活動(dòng)板 的下端面上，滾輪與偏心輪相接觸。進(jìn)一步，所述往復(fù)平移機(jī)構(gòu)包括水平推桿B、杠桿、轉(zhuǎn)銷、支承座、滑塊和豎直滑軌， 豎直滑軌豎直地固定在滑動(dòng)板上，滑塊套裝在豎直滑軌上，杠桿的上端與滑塊鉸接，杠桿的 下端與水平推桿B鉸接，杠桿的中部通過轉(zhuǎn)銷安裝在支承座上，支承座安裝在固定底板上。進(jìn)一步，在預(yù)熱排膠區(qū)、升溫區(qū)、燒結(jié)區(qū)和降溫區(qū)之間均設(shè)有氣流隔熱門，并貼近 隔熱板，氣流隔熱門包括噴氣管和抽吸管，兩者均垂直于隧道方向?qū)?yīng)設(shè)置，在噴氣管和抽 吸管之間設(shè)有循環(huán)泵，噴氣管與循環(huán)泵的出氣口相通連，抽吸管與循環(huán)泵的吸氣口相通連。進(jìn)一步，在噴氣管和抽吸管之間還設(shè)有氣流容腔，氣流容腔與循環(huán)泵串聯(lián)。由于在各個(gè)區(qū)之間既設(shè)置了隔熱板，又設(shè)置了氣流隔熱門，通過噴氣管和抽吸管 的壓差形成一道熱氣屏障，能有效地分隔溫區(qū)，使各溫區(qū)內(nèi)溫度更接近燒結(jié)工藝要求，并使 隧道燒結(jié)區(qū)和大氣隔絕，既提高燒結(jié)效率，又減少燒結(jié)爐熱量消耗，從而能使整個(gè)燒結(jié)爐的 爐體長度縮短。當(dāng)硅片燒結(jié)后被運(yùn)行出隧道燒結(jié)區(qū)后能快速降溫，采用這種無網(wǎng)帶硅片傳 輸機(jī)構(gòu)，避免了傳輸裝置運(yùn)行出隧道而將熱量攜帶出隧道，節(jié)省大量的熱量。據(jù)估算，以 100MW產(chǎn)能為標(biāo)準(zhǔn)，使用無網(wǎng)帶高效燒結(jié)爐進(jìn)行太陽能電池的生產(chǎn)，每年可節(jié)約電力約104 萬度，僅電力方面每年為太陽能電池制造廠家節(jié)約生產(chǎn)成本約100萬元人民幣。降低生產(chǎn) 成本是光伏行業(yè)走向大規(guī)模應(yīng)用的必要條件，對(duì)于光伏行業(yè)的健康發(fā)展有非常積極的作 用，響應(yīng)了我國節(jié)能減排政策，符合我國可持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略目標(biāo)。在硅片輸送機(jī)構(gòu)中，移動(dòng)托架和固定托架都采用在石英玻璃管上套裝金屬托架結(jié)構(gòu)，硅片只與金屬托架上的托腳接觸，且接觸形式為點(diǎn)接觸或線接觸，從而降低硅片在燒結(jié) 過程中金屬離子沾污。


圖1為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為隧道式燒結(jié)箱的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為硅片輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4、圖5為硅片輸送裝置中固定托架和移動(dòng)托架的分布示意圖；圖5為圖4中俯視圖，圖4是圖5中C-C剖視圖；圖6為硅片輸送裝置中固定托架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為硅片輸送裝置中移動(dòng)托架的結(jié)構(gòu)示意圖(單腳托架)；圖8為硅片輸送裝置中移動(dòng)托架的結(jié)構(gòu)示意圖(雙腳托架)；圖9為在預(yù)熱排膠區(qū)21、升溫區(qū)22、燒結(jié)區(qū)23和降溫區(qū)M之間設(shè)有的氣流隔熱 系統(tǒng)原理圖；圖10為托架的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1為進(jìn)料臺(tái)；2為隧道式燒結(jié)箱；3為出料臺(tái)；4為硅片輸送裝置；5為爐體 架；8為氣流隔熱門；11、31為固定底板；12、32為固定架；13、33為導(dǎo)向桿；14、34為導(dǎo)向 套；15、35為活動(dòng)板；16、36為滑軌；17、37為滑動(dòng)板；21為預(yù)熱排膠區(qū)；22為升溫區(qū)；23為 燒結(jié)區(qū)；24為降溫區(qū)；25為隔熱板；26為加熱燈管；41為固定托架；411為石英玻璃管；412 為金屬套；413為托腳；414為限位螺釘；415為限位孔；416為螺紋孔；417為開口 ；418為陶 瓷涂層；42為移動(dòng)托架；43為耳座；61為水平推桿A ;62為擺桿；63為轉(zhuǎn)軸；64為軸承座； 65為偏心輪；66為滾輪；67為耳座；71為水平推桿B ；72為杠桿；73為轉(zhuǎn)銷；74為支承座； 75為滑塊；76為豎直滑軌；81為噴氣管；82為抽吸管；83為氣流容腔；84為循環(huán)泵。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合說明附圖來說明本發(fā)明的
具體實(shí)施例方式所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐由進(jìn)料臺(tái)1、隧道式燒結(jié)箱2、出料臺(tái)3、硅片輸送裝置 4和爐體架5組成，如圖1所示；其中，沿隧道式燒結(jié)箱2的縱向依次設(shè)有預(yù)熱排膠區(qū)21、升 溫區(qū)22、燒結(jié)區(qū)23和降溫區(qū)M四個(gè)區(qū)域，在預(yù)熱排膠區(qū)21、升溫區(qū)22、燒結(jié)區(qū)23和降溫區(qū) M之間均設(shè)有隔熱板25和氣流隔熱門8，在預(yù)熱排膠區(qū)21、升溫區(qū)22和燒結(jié)區(qū)23內(nèi)設(shè)有熱 輻射加熱燈管26，隔熱板25垂直于隧道方向設(shè)置，氣流隔熱門8設(shè)置在隔熱板25的一側(cè)， 如圖2所示；所述進(jìn)料臺(tái)1包括固定底板11、固定架12、導(dǎo)向桿13、導(dǎo)向套14、活動(dòng)板15、 滑軌16和滑動(dòng)板17，固定架12安裝在固定底板11上，活動(dòng)板15通過四根導(dǎo)向桿13套裝 在對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向套14中，導(dǎo)向套14固定在固定底板11上，滑軌16固定在活動(dòng)板15上，滑動(dòng) 板17套裝在滑軌16上；出料臺(tái)3的結(jié)構(gòu)與進(jìn)料臺(tái)1的結(jié)構(gòu)相同，并與進(jìn)料臺(tái)1對(duì)稱設(shè)置， 它包括固定底板31、固定架32、導(dǎo)向桿33、導(dǎo)向套34、活動(dòng)板35、滑軌36和滑動(dòng)板37，固定 架32安裝在固定底板31上，活動(dòng)板35通過四根導(dǎo)向桿33套裝在對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向套34中，導(dǎo) 向套；34固定在固定底板31上，滑軌36固定在活動(dòng)板35上，滑動(dòng)板37套裝在滑軌36上； 在固定底板11、31和活動(dòng)板15、35之間設(shè)有往復(fù)升降機(jī)構(gòu)，在爐體架5與滑動(dòng)板17、37之間設(shè)有往復(fù)平移機(jī)構(gòu)，往復(fù)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)活動(dòng)板15、35相對(duì)于固定底板11、31周期性地完 成上升和下降動(dòng)作，往復(fù)平移機(jī)構(gòu)帶動(dòng)滑動(dòng)板17、37相對(duì)于活動(dòng)板15、35周期性地完成前 移和后移動(dòng)作，如圖3所示；硅片輸送裝置4包括固定托架41和移動(dòng)托架42，固定托架41 的兩端通過耳座43固定在進(jìn)料臺(tái)1和出料臺(tái)3中的固定架12、32上，移動(dòng)托架42的兩端 通過耳座43固定在進(jìn)料臺(tái)1和出料臺(tái)3中的滑動(dòng)板17、37上，固定托架41位于兩相鄰移 動(dòng)托架42之間，如圖4、圖5所示；固定托架41和移動(dòng)托架42的結(jié)構(gòu)相同，它們都包括石 英玻璃管411、金屬套412、托腳413和限位螺釘414，托腳413固定在金屬套412上，在金屬 套412上設(shè)有螺紋孔416和開口 417，在石英玻璃管411上沿軸向方向等距離地開有限位孔 415 ；金屬套412通過限位螺釘414等間距地固定在石英玻璃管411上，所述托腳413由鋼 絲制成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層418。固定托架41的兩端通過耳座43、固定架12、32分 別安裝在固定底板11、31上，兩只托腳413對(duì)稱地固定在金屬套412上，且托腳413的外伸 腳段高于安裝在金屬套412上的限位螺釘414的外露端，兩只托腳413的外伸腳段之間的 距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ；移動(dòng)托架42的兩端通過耳座43分別安裝在滑動(dòng)板17、37 上，所述移動(dòng)托架42分為雙腳托架、左腳托架和右腳托架，在雙腳托架中，兩只托腳413對(duì) 稱地固定在金屬套412上；在左腳托架中，一只托腳413固定在金屬套412的右側(cè)上；在右 腳托架中，一只托腳413固定在金屬套412的左側(cè)上；雙腳托架、左腳托架和右腳托架上的 所有托腳413均處于同一平面上，且左腳托架與雙腳托架上相鄰?fù)心_413的外伸端之間的 距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ；右腳托架與雙腳托架上相鄰?fù)心_413的外伸端之間的距 離為硅片寬度的0. 70 0. 90。所述往復(fù)升降機(jī)構(gòu)包括水平推桿A61、擺桿62、轉(zhuǎn)軸63、軸承座64、偏心輪65、滾輪 66、耳座67、活動(dòng)臺(tái)15、35和固定底板11、31，轉(zhuǎn)軸63通過軸承座64安裝在固定底板11、31 上，偏心輪65固定安裝在轉(zhuǎn)軸63上，擺桿62的上端固定安裝在轉(zhuǎn)軸63上，擺桿62的下端 與水平推桿A61鉸接，滾輪66通過耳座67固定在活動(dòng)板15、35的下端面上，滾輪66與偏 心輪65相接觸。所述往復(fù)平移機(jī)構(gòu)包括水平推桿B71、杠桿72、轉(zhuǎn)銷73、支承座74、滑塊75和豎直 滑軌76，豎直滑軌76豎直地固定在滑動(dòng)板17、37上，滑塊75套裝在豎直滑軌76上，杠桿 72的上端與滑塊75鉸接，杠桿72的下端與水平推桿B71鉸接，杠桿72的中部通過轉(zhuǎn)銷73 安裝在支承座74上，支承座74安裝在固定底板11、31上。在預(yù)熱排膠區(qū)21、升溫區(qū)22、燒結(jié)區(qū)23和降溫區(qū)24之間均設(shè)有氣流隔熱門8，氣 流隔熱門8的設(shè)置位置貼近隔熱板25，氣流隔熱門8包括噴氣管81和抽吸管82，兩者均垂 直于隧道方向?qū)?yīng)設(shè)置，在噴氣管81和抽吸管82之間設(shè)有氣流容腔83和循環(huán)泵84，氣流 容腔83與循環(huán)泵84串聯(lián)，噴氣管81與循環(huán)泵84的出氣口相通連，抽吸管82與循環(huán)泵84 的吸氣口相通連，如圖10所示。
權(quán)利要求
1.一種無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，它包括進(jìn)料 臺(tái)(1)、隧道式燒結(jié)箱O)、出料臺(tái)(3)、硅片輸送裝置(4)和爐體架(5)，沿隧道式燒結(jié)箱 (2)的縱向依次設(shè)有預(yù)熱排膠區(qū)(21)、升溫區(qū)(22)、燒結(jié)區(qū)03)和降溫區(qū)04)四個(gè)區(qū)域， 其特征是在預(yù)熱排膠區(qū)(21)、升溫區(qū)(22)、燒結(jié)區(qū)03)和降溫區(qū)04)之間均設(shè)有隔熱 板(25)，在預(yù)熱排膠區(qū)(21)、升溫區(qū)(22)和燒結(jié)區(qū)(23)內(nèi)設(shè)有加熱燈管(26)；出料臺(tái)(3) 的結(jié)構(gòu)與進(jìn)料臺(tái)(1)的結(jié)構(gòu)相同，且兩者對(duì)稱設(shè)置，它們都包括固定底板(11、31)，固定架 (12、32)，導(dǎo)向桿(13、33)，導(dǎo)向套(14、34)，活動(dòng)板(15、35)，滑軌(16,36)和滑動(dòng)板(17、 37)，滑軌(16,36)分別固定在活動(dòng)板(15,35)上，滑動(dòng)板(17,37)分別套裝在滑軌(16、 36)上，活動(dòng)板(15、35)分別通過導(dǎo)向桿(13、33)和導(dǎo)向套(14、34)的套裝結(jié)構(gòu)與固定底板 (11、31)相連接，固定底板(11、31)都安裝在爐體架(5)上；在固定底板(11、31)和活動(dòng)板 (15,35)之間設(shè)有往復(fù)升降機(jī)構(gòu)，在固定底板(11、31)與滑動(dòng)板(17、37)之間設(shè)有往復(fù)平移 機(jī)構(gòu)，往復(fù)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)活動(dòng)板(15、35)相對(duì)于固定底板(11、31)周期性地完成上升和下 降動(dòng)作，往復(fù)平移機(jī)構(gòu)帶動(dòng)滑動(dòng)板(17、37)相對(duì)于活動(dòng)板(15、3幻周期性地完成前移和后 移動(dòng)作；硅片輸送裝置(4)包括固定托架Gl)和移動(dòng)托架(42)，固定托架的兩端分 別固定在進(jìn)料臺(tái)⑴和出料臺(tái)⑶中的固定架(12、32)上，移動(dòng)托架02)的兩端分別固定 在進(jìn)料臺(tái)(1)和出料臺(tái)( 中的滑動(dòng)板(17、37)上，且固定托架Gl)位于兩相鄰移動(dòng)托架 (42)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是在活動(dòng)板(15)和固定底板 (11)之間通過四根導(dǎo)向桿(13)與導(dǎo)向套(14)的套裝結(jié)構(gòu)可升降滑動(dòng)地連接；在活動(dòng)板 (35)和固定底板(31)之間通過四根導(dǎo)向桿(33)與導(dǎo)向套(34)的套裝結(jié)構(gòu)可升降滑動(dòng)地 連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是固定托架Gl)和移動(dòng)托 架(42)的結(jié)構(gòu)相同，它們都包括石英玻璃管(411)、金屬套(412)、托腳(413)和限位螺釘 G14)，托腳013)固定在金屬套G12)上，在金屬套012)上設(shè)有螺紋孔G16)，金屬套 (412)通過限位螺釘(414)等間距地固定在石英玻璃管Gll)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是在石英玻璃管011)上沿 軸向方向等距離地開有限位孔G15)；在金屬套G12)上還設(shè)有開017)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是所述托腳013)由鋼絲制 成，在鋼絲表面涂有陶瓷涂層G18)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是固定托架的兩端通過 耳座(43)、固定架(12、3幻分別安裝在固定底板(11、31)上，兩只托腳(41 對(duì)稱地固定在 金屬套(412)上，且托腳013)的外伸腳段高于安裝在金屬套(412)上的限位螺釘(414) 的外露端，兩只托腳G13)的外伸腳段之間的距離為硅片寬度的0.70 0.90。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是移動(dòng)托架02)的兩端通過 耳座^幻分別安裝在滑動(dòng)板(17、37)上，所述移動(dòng)托架0 分為雙腳托架、左腳托架和右 腳托架，在雙腳托架中，兩只托腳(41 對(duì)稱地固定在金屬套(41 上；在左腳托架中，一只 托腳G13)固定在金屬套G12)的右側(cè)上；在右腳托架中，一只托腳G13)固定在金屬套 (412)的左側(cè)上；雙腳托架、左腳托架和右腳托架上的所有托腳(41 均處于同一平面上， 且左腳托架與雙腳托架上相鄰?fù)心_(413)的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90 ；右腳托架與雙腳托架上相鄰?fù)心_G13)的外伸端之間的距離為硅片寬度的0. 70 0. 90。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是所述往復(fù)升降機(jī)構(gòu)包括水 平推桿A(61)、擺桿(62)、轉(zhuǎn)軸(63)、軸承座(64)、偏心輪(65)、滾輪(66)、耳座(67)、活動(dòng) 臺(tái)(15、35)和固定底板(11、31)，轉(zhuǎn)軸(63)通過軸承座(64)安裝在固定底板(11、31)上， 偏心輪(6 固定安裝在轉(zhuǎn)軸(6 上，擺桿(6 的上端固定安裝在轉(zhuǎn)軸(6 上，擺桿(62) 的下端與水平推桿A(61)鉸接，滾輪(66)通過耳座(67)固定在活動(dòng)板(15、35)的下端面 上，滾輪(66)與偏心輪(65)相接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是所述往復(fù)平移機(jī)構(gòu)包括水 平推桿B(71)、杠桿(72)、轉(zhuǎn)銷(73)、支承座(74)、滑塊(7 和豎直滑軌(76)，豎直滑軌 (76)豎直地固定在滑動(dòng)板(17、37)上，滑塊(7 套裝在豎直滑軌(76)上，杠桿(7 的上 端與滑塊(7 鉸接，杠桿(7 的下端與水平推桿B(71)鉸接，杠桿(7 的中部通過轉(zhuǎn)銷 (73)安裝在支承座(74)上，支承座(74)安裝在固定底板(11、31)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是在預(yù)熱排膠區(qū)(21)、升溫 區(qū)(22)、燒結(jié)區(qū)(23)和降溫區(qū)(24)之間均設(shè)有氣流隔熱門(8)，并貼近隔熱板(25)，氣流 隔熱門(8)包括噴氣管(81)和抽吸管(82)，兩者均垂直于隧道方向?qū)?yīng)設(shè)置，在噴氣管(81)和抽吸管(82)之間設(shè)有循環(huán)泵(84)，噴氣管(81)與循環(huán)泵(84)的出氣口相通連，抽 吸管(82)與循環(huán)泵(84)的吸氣口相通連。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，其特征是在噴氣管(81)和抽吸管(82)之間還設(shè)有氣流容腔(83)，氣流容腔(83)與循環(huán)泵(84)串聯(lián)。
全文摘要
一種無網(wǎng)帶硅電池片燒結(jié)爐，包括進(jìn)料臺(tái)、隧道式燒結(jié)箱、出料臺(tái)和硅片輸送裝置，在沿隧道式燒結(jié)箱的縱向依次設(shè)有預(yù)熱排膠區(qū)、升溫區(qū)、燒結(jié)區(qū)和降溫區(qū)，在各溫度之間均設(shè)有隔熱板和氣流隔熱門，在預(yù)熱排膠區(qū)、升溫區(qū)和燒結(jié)區(qū)內(nèi)設(shè)有加熱燈管，在固定底板和活動(dòng)板之間設(shè)有往復(fù)升降機(jī)構(gòu)，在固定底板與滑動(dòng)板之間設(shè)有往復(fù)平移機(jī)構(gòu)，滑動(dòng)板相對(duì)于固定底板依次完成上升、前移、下移和后移動(dòng)作；硅片輸送裝置包括固定托架和移動(dòng)托架，由于在各個(gè)區(qū)之間設(shè)置了隔熱板和氣流隔熱門，能有效地分隔溫區(qū)，使各溫區(qū)內(nèi)溫度更接近燒結(jié)工藝要求，并使隧道繞結(jié)區(qū)和大氣隔絕，既提高燒結(jié)效率，又減少燒結(jié)爐熱量消耗，從而能使整個(gè)燒結(jié)爐的爐體長度縮短。
文檔編號(hào)F27B9/26GK102062529SQ201010523699
公開日2011年5月18日 申請日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者劉志剛, 姚偉忠, 孫鐵囤, 潘盛, 荀建華, 陳瓊, 高玉山 申請人:常州億晶光電科技有限公司