一種用于消除靜電吸附板靜電的電路的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于消除靜電吸附板靜電的電路。
【背景技術(shù)】
[0002]目前現(xiàn)有的，如圖1所示，在高壓發(fā)生器對靜電吸附板進(jìn)行充電產(chǎn)生靜電后，在工作完成后，其輸出電壓為直接斷電，讓靜電吸附板常規(guī)的進(jìn)行消除靜電，其靜電釋放階段中的釋放區(qū)中該消除靜電時(shí)間比較長，同時(shí)消除靜電的能力也得不到保證，從而需要更長時(shí)間來消除靜電，提高了成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種用于消除靜電吸附板靜電的電路。
[0004]本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
[0005]一種用于消除靜電吸附板靜電的電路，包括信號控制模塊，所述信號控制模塊的輸出端與高壓發(fā)生器的輸入端相連，所述信號控制模塊的輸出端與極性轉(zhuǎn)換模塊的輸入端相連，所述信號控制模塊的輸出端與頻率選擇模塊的輸入端相連，所述極性轉(zhuǎn)換模塊的控制端與高壓發(fā)生器的輸出端相連，所述頻率選擇模塊的控制端與高壓發(fā)生器的輸出端相連；
[0006]所述信號控制模塊由時(shí)鐘發(fā)生器、第一信號輸出模塊組成，所述第一信號輸出模塊的輸出端通過反向施密特觸發(fā)器與第一 D觸發(fā)器的D端相連，所述第一 D觸發(fā)器的Q端與第二 D觸發(fā)器的D端相連，所述第二 D觸發(fā)器的Q端與在串聯(lián)有反向器的第一 D觸發(fā)器的Q端通過與門觸發(fā)器與第四D觸發(fā)器的CK端相連，在串聯(lián)有反向器所述第二 D觸發(fā)器的Q端與第一 D觸發(fā)器的Q端通過與門觸發(fā)器與第三D觸發(fā)器的CK端相連，所述第三D觸發(fā)器的Q端與第四D觸發(fā)器的Q端通過與門觸發(fā)器分別與高壓發(fā)生器的輸入端和極性轉(zhuǎn)換模塊的輸入端相連，所述時(shí)鐘發(fā)生器的輸出端通過反向施密特觸發(fā)器分別與第一 D觸發(fā)器的CK端和第二 D觸發(fā)器的CK端相連；
[0007]所述頻率選擇模塊由第一計(jì)數(shù)器、第二計(jì)數(shù)器、選擇器及比較器，所述第一計(jì)數(shù)器的輸出端與選擇器的輸入端相連，所述選擇器的輸出端與第四D觸發(fā)器的Q端通過與門與第二計(jì)數(shù)器的CK端相連，所述第二計(jì)數(shù)器的輸出端與比較器的輸入端相連，所述比較器的輸出端與第三D觸發(fā)器的復(fù)位端和第四D觸發(fā)器的復(fù)位端相連，所述時(shí)鐘發(fā)生器的輸出端與第一計(jì)數(shù)器的CK端相連。
[0008]優(yōu)選的，所述信號控制模塊還包括第二信號輸出模塊，所述第二信號輸出模塊的輸出端分別與第一計(jì)數(shù)器的復(fù)位端、第二計(jì)數(shù)器的復(fù)位端、第一 D觸發(fā)器的復(fù)位端和第二 D觸發(fā)器的復(fù)位端相連。
[0009]優(yōu)選的，所述極性轉(zhuǎn)換模塊由第一極性轉(zhuǎn)化器和第二極性轉(zhuǎn)換器組成。
[0010]本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和進(jìn)步主要體現(xiàn)在:
[0011]本實(shí)用新型通過信號控制模塊對極性轉(zhuǎn)換模塊轉(zhuǎn)換正負(fù)極性，使高壓發(fā)生器輸出的高壓輸出一正負(fù)矩形波，同時(shí)還通過頻率選擇模塊對高壓發(fā)生器進(jìn)行頻率監(jiān)控來使高壓發(fā)生器產(chǎn)生的矩形波的寬度(即頻率)進(jìn)行監(jiān)控選擇，來滿足最適合的頻率，使之能快速消除靜電吸附板上靜電，提高工作效率。
【附圖說明】
[0012]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說明:
[0013]圖1:常規(guī)消除靜電吸附板靜電的波形示意圖。
[0014]圖2:本實(shí)用新型的構(gòu)造示意圖。
[0015]圖3:本實(shí)用新型的電路連接示意圖。
[0016]圖4:改進(jìn)后消除靜電吸附板靜電的波形示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]如圖2、圖3所示，一種用于消除靜電吸附板靜電的電路，包括信號控制模塊1，所述信號控制模塊I的輸出端與高壓發(fā)生器2的輸入端相連，所述信號控制模塊I的輸出端與極性轉(zhuǎn)換模塊4的輸入端相連，所述信號控制模塊I的輸出端與頻率選擇模塊3的輸入端相連，所述極性轉(zhuǎn)換模塊4的控制端與高壓發(fā)生器2的輸出端相連，所述頻率選擇模塊3的控制端與高壓發(fā)生器2的輸出端相連；
[0018]所述信號控制模塊I由時(shí)鐘發(fā)生器11、第一信號輸出模塊12組成，所述第一信號輸出模塊12的輸出端通過反向施密特觸發(fā)器與第一 D觸發(fā)器13的D端相連，所述第一 D觸發(fā)器13的Q端與第二 D觸發(fā)器14的D端相連，所述第二 D觸發(fā)器14的Q端與在串聯(lián)有反向器的第一 D觸發(fā)器13的Q端通過與門觸發(fā)器與第四D觸發(fā)器16的CK端相連，在串聯(lián)有反向器所述第二 D觸發(fā)器14的Q端與第一 D觸發(fā)器13的Q端通過與門觸發(fā)器與第三D觸發(fā)器15的CK端相連，所述第三D觸發(fā)器15的Q端與第四D觸發(fā)器16的Q端通過與門觸發(fā)器分別與高壓發(fā)生器2的輸入端和極性轉(zhuǎn)換模塊4的輸入端相連，所述時(shí)鐘發(fā)生器11的輸出端通過反向施密特觸發(fā)器分別與第一 D觸發(fā)器13的CK端和第二 D觸發(fā)器14的CK端相連；
[0019]所述頻率選擇模塊3由第一計(jì)數(shù)器31、第二計(jì)數(shù)器33、選擇器32及比較器34，所述第一計(jì)數(shù)器31的輸出端與選擇器31的輸入端相連，所述選擇器32的輸出端與第四D觸發(fā)器16的Q端通過與門與第二計(jì)數(shù)器33的CK端相連，所述第二計(jì)數(shù)器33的輸出端與比較器34的輸入端相連，所述比較器34的輸出端與第三D觸發(fā)器15的復(fù)位端和第四D觸發(fā)器16的復(fù)位端相連，所述時(shí)鐘發(fā)生器11的輸出端與第一計(jì)數(shù)器31的CK端相連，所述極性轉(zhuǎn)換模塊4由第一極性轉(zhuǎn)化器41和第二極性轉(zhuǎn)換器42組成。通過信號控制模塊I對極性轉(zhuǎn)換模塊4轉(zhuǎn)換正負(fù)極性，使高壓發(fā)生器2輸出的高壓輸出一正負(fù)矩形波，同時(shí)還通過頻率選擇模塊3對高壓發(fā)生器2進(jìn)行頻率監(jiān)控來使高壓發(fā)生器產(chǎn)生的矩形波的寬度(即頻率)進(jìn)行監(jiān)控選擇，來滿足最適合的頻率，使之能快速消除靜電吸附板上靜電，提高工作效率。
[0020]所述信號控制模塊I還包括第二信號輸出模塊17，所述第二信號輸出模塊17的輸出端分別與第一計(jì)數(shù)器31的復(fù)位端、第二計(jì)數(shù)器33的復(fù)位端、第一 D觸發(fā)器13的復(fù)位端和第二 D觸發(fā)器14的復(fù)位端相連，采用第二信號輸出模塊17能對上述元件進(jìn)行復(fù)位處理。
[0021]如圖4所示，在輸出電壓在對靜電吸附板進(jìn)行工作后，其靜電吸附板上會(huì)產(chǎn)生靜電，而在需要消除靜電時(shí)通過頻率選擇模塊3和極性轉(zhuǎn)換模塊4對高壓發(fā)生器2工作將其輸出電壓變換呈矩形波，使其對靜電吸附板快速的充放電，該矩形波的時(shí)長受到頻率選擇模塊3的控制，在該矩形波的反復(fù)正負(fù)電壓2000V的點(diǎn)放電后，其靜電釋放階段中可以很明顯得到在釋放區(qū)其消除靜電的時(shí)間變短，從而提高工作效率。
[0022]本實(shí)用新型通過信號控制模塊對極性轉(zhuǎn)換模塊轉(zhuǎn)換正負(fù)極性，使高壓發(fā)生器輸出的高壓輸出一正負(fù)矩形波，同時(shí)還通過頻率選擇模塊3對高壓發(fā)生器進(jìn)行頻率監(jiān)控來使高壓發(fā)生器產(chǎn)生的矩形波的寬度(即頻率)進(jìn)行監(jiān)控選擇，來滿足最適合的頻率，使之能快速消除靜電吸附板上靜電，提高工作效率。
[0023]需要強(qiáng)調(diào)的是:以上僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對本實(shí)用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于消除靜電吸附板靜電的電路，其特征在于:包括信號控制模塊，所述信號控制模塊的輸出端與高壓發(fā)生器的輸入端相連，所述信號控制模塊的輸出端與極性轉(zhuǎn)換模塊的輸入端相連，所述信號控制模塊的輸出端與頻率選擇模塊的輸入端相連，所述極性轉(zhuǎn)換模塊的控制端與高壓發(fā)生器的輸出端相連，所述頻率選擇模塊的控制端與高壓發(fā)生器的輸出端相連； 所述信號控制模塊由時(shí)鐘發(fā)生器、第一信號輸出模塊組成，所述第一信號輸出模塊的輸出端通過反向施密特觸發(fā)器與第一 D觸發(fā)器的D端相連，所述第一 D觸發(fā)器的Q端與第二 D觸發(fā)器的D端相連，所述第二 D觸發(fā)器的Q端與在串聯(lián)有反向器的第一 D觸發(fā)器的Q端通過與門觸發(fā)器與第四D觸發(fā)器的CK端相連，在串聯(lián)有反向器所述第二 D觸發(fā)器的Q端與第一 D觸發(fā)器的Q端通過與門觸發(fā)器與第三D觸發(fā)器的CK端相連，所述第三D觸發(fā)器的Q端與第四D觸發(fā)器的Q端通過與門觸發(fā)器分別與高壓發(fā)生器的輸入端和極性轉(zhuǎn)換模塊的輸入端相連，所述時(shí)鐘發(fā)生器的輸出端通過反向施密特觸發(fā)器分別與第一 D觸發(fā)器的CK端和第二 D觸發(fā)器的CK端相連； 所述頻率選擇模塊由第一計(jì)數(shù)器、第二計(jì)數(shù)器、選擇器及比較器，所述第一計(jì)數(shù)器的輸出端與選擇器的輸入端相連，所述選擇器的輸出端與第四D觸發(fā)器的Q端通過與門與第二計(jì)數(shù)器的CK端相連，所述第二計(jì)數(shù)器的輸出端與比較器的輸入端相連，所述比較器的輸出端與第三D觸發(fā)器的復(fù)位端和第四D觸發(fā)器的復(fù)位端相連，所述時(shí)鐘發(fā)生器的輸出端與第一計(jì)數(shù)器的CK端相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于消除靜電吸附板靜電的電路，其特征在于:所述信號控制模塊還包括第二信號輸出模塊，所述第二信號輸出模塊的輸出端分別與第一計(jì)數(shù)器的復(fù)位端、第二計(jì)數(shù)器的復(fù)位端、第一 D觸發(fā)器的復(fù)位端和第二 D觸發(fā)器的復(fù)位端相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于消除靜電吸附板靜電的電路，其特征在于:所述極性轉(zhuǎn)換模塊由第一極性轉(zhuǎn)化器和第二極性轉(zhuǎn)換器組成。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種用于消除靜電吸附板靜電的電路，包括信號控制模塊，信號控制模塊的輸出端與高壓發(fā)生器的輸入端相連，信號控制模塊的輸出端與極性轉(zhuǎn)換模塊的輸入端相連，信號控制模塊的輸出端與頻率選擇模塊的輸入端相連，極性轉(zhuǎn)換模塊的控制端與高壓發(fā)生器的輸出端相連，頻率選擇模塊的控制端與高壓發(fā)生器的輸出端相連。本實(shí)用新型通過信號控制模塊對極性轉(zhuǎn)換模塊轉(zhuǎn)換正負(fù)極性，使高壓發(fā)生器輸出的高壓輸出一正負(fù)矩形波，同時(shí)還通過頻率選擇模塊對高壓發(fā)生器進(jìn)行頻率監(jiān)控來使高壓發(fā)生器產(chǎn)生的矩形波的寬度（即頻率）進(jìn)行監(jiān)控選擇，來滿足最適合的頻率，使之能快速消除靜電吸附板上靜電，提高工作效率。
【IPC分類】H05F3-00
【公開號】CN204518200
【申請?zhí)枴緾N201520040372
【發(fā)明人】芳賀孝行
【申請人】凱吉?jiǎng)P精密電子技術(shù)開發(fā)（蘇州）有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年1月21日