發(fā)光控制裝置、曝光裝置以及發(fā)光控制裝置的調(diào)整方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于控制激光二極管等的發(fā)光元件的亮度的發(fā)光控制裝置、使用該發(fā)光控制裝置的曝光裝置以及該發(fā)光控制裝置的調(diào)整方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，在通過在感光材料上投影圖案來進(jìn)行曝光的曝光裝置(描畫裝置)中，利用激光二極管等的發(fā)光元件發(fā)出的光的情況比較多。近年來，要求該激光二極管高輸出化，為了使該激光二極管以最大亮度點亮，而需要大的電流。另外，為了縮短從向激光二極管提供電流到點亮為止的時間(上升時間)，已知預(yù)先提供比用于點亮的閾值電流小的偏置電流(微小電流)是有效的。
[0003]為了向激光二極管提供這樣的大電流和微小電流，以往，開發(fā)出具有多個電流輸出用端子的激光二極管驅(qū)動電路，例如，有非專利文獻(xiàn)1(日本發(fā)明推進(jìn)協(xié)會公開技報公技號碼2013-503715號)所公開的激光二極管驅(qū)動電路等。
[0004]在具有上述那樣的多個電流輸出用端子的激光二極管驅(qū)動電路中，將從某一個電流輸出用端子輸出的電流控制在微小的電流值的范圍內(nèi)，將從其他的某一個電流輸出用端子輸出的電流控制在大的電流值的范圍內(nèi)。并且，將從這些電流輸出用端子輸出的電流提供給激光二極管。這樣一來，能夠?qū)㈦娏髦悼刂圃谖⑿〉姆秶鷥?nèi)并能夠向激光二極管提供大電流。
[0005]非專利文獻(xiàn)1:日本發(fā)明推進(jìn)協(xié)會公開技報公技號碼2013-503715號
[0006]但是，使用上述以往的具有多個電流輸出用端子的激光二極管驅(qū)動電路進(jìn)行上述那樣的控制時，就從各端子輸出電流的值而言，其大部分與理想值產(chǎn)生各自不同的量的誤差(偏差)。例如，從提供相同輸出目標(biāo)值的兩個電流輸出用端子輸出的電流的值，因驅(qū)動電路的個體差異或針對每個端子設(shè)置的(內(nèi)置的)D/A轉(zhuǎn)換電路等的個體差異等而未成為相同的值，會產(chǎn)生規(guī)定量的偏差。而且，該偏差量也因輸出的電流的值的不同而變化。其結(jié)果，在上述那樣的以往的結(jié)構(gòu)中，存在激光二極管的光量(發(fā)光亮度)從目標(biāo)值偏移或急劇變化的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種發(fā)光控制裝置以及具有該發(fā)光控制裝置的曝光裝置，該發(fā)光控制裝置使用具有多個輸出用端子的激光二極管驅(qū)動電路，即使將從不同的輸出用端子輸出的電流或者電壓分別控制在大小不同的范圍內(nèi)，也不會發(fā)生從目標(biāo)值偏移或急劇變化、或者抑制從目標(biāo)值偏移或急劇變化。
[0008]本發(fā)明的第一技術(shù)方案為一種發(fā)光控制裝置，用于使發(fā)光元件點亮，其特征在于，
[0009]具有:
[0010]點亮電路，其具有多個輸出管腳，所述多個輸出管腳包括用于分別輸出應(yīng)提供給所述發(fā)光元件的電壓或電流作為第一以及第二點亮信號的第一以及第二輸出管腳，該點亮電路以與通過所接收的數(shù)字驅(qū)動信號針對各輸出管腳離散性地決定的電壓或電流的總和相對應(yīng)的光量，使所述發(fā)光元件點亮，
[0011]控制部，以在與所述第一點亮信號能夠取值的離散值中的相鄰的兩個值之差相等的范圍內(nèi)，離散性地決定所述第二信號的值的方式，將所述數(shù)字驅(qū)動信號提供給所述點亮用電路；
[0012]所述控制部具有補正部，該補正部以使利用用于表示應(yīng)提供給所述發(fā)光元件的電壓或電流的所述數(shù)字驅(qū)動信號的目標(biāo)值能夠取值的值中的相鄰的兩個值分別示出的電壓或電流來使所述發(fā)光元件進(jìn)行發(fā)光的發(fā)光量之差，在與該兩個值分別對應(yīng)的所述第一點亮信號的值不同的情況和相同的情況下相等的方式，對所述目標(biāo)值進(jìn)行補正，
[0013]將通過所述補正部補正后的所述目標(biāo)值作為所述數(shù)字驅(qū)動信號提供給所述點亮電路。
[0014]本發(fā)明的第二技術(shù)方案，在第一技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，其特征在于，
[0015]所述補正部以如下方式對所述目標(biāo)值進(jìn)行補正，即，利用變更值與在所述第一點亮信號的值不同的情況下的所述兩個值中的所述第一點亮信號的值大的值分別示出的電壓或電流使所述發(fā)光元件進(jìn)行發(fā)光的發(fā)光量相等，所述變更值是將與所述兩個值中的所述第一點亮信號的值小的值對應(yīng)的所述第二點亮信號的值變更成相鄰的大的第二點亮信號的值后的值。
[0016]本發(fā)明的第三技術(shù)方案，在第一技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，其特征在于，
[0017]所述補正部以如下方式對所述目標(biāo)值進(jìn)行補正，S卩，利用變更值與在所述第一點亮信號的值不同的情況下的所述兩個值中的所述第一點亮信號的值小的值分別示出的電壓或電流使所述發(fā)光元件進(jìn)行發(fā)光的發(fā)光量相等，所述變更值是將與所述兩個值中的所述第一點亮信號的值大的值對應(yīng)的所述第二點亮信號的值變更成相鄰的小的第二點亮信號的值后的值。
[0018]本發(fā)明的第四的技術(shù)方案，在第二或第三技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，其特征在于，
[0019]所述補正部保存與所述變更值或用于確定該變更值的值對應(yīng)的數(shù)字值，基于所保存的值來求出補正后的所述目標(biāo)值。
[0020]本發(fā)明的第五技術(shù)方案，從第一至第四技術(shù)方案中任一技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，其特征在于，
[0021]所述目標(biāo)值由低位部分和高位部分構(gòu)成，所述低位部分是用于決定所述第二點亮信號的值的由多個位組成的部分，所述高位部分是用于決定所述第一點亮信號的值的由一個以上的位組成的部分。
[0022]本發(fā)明的第六技術(shù)方案，在第二技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，其特征在于，
[0023]所述目標(biāo)值由低位部分和高位部分構(gòu)成，所述低位部分是用于決定所述第二點亮信號的值的由多個位組成的部分，所述高位部分是用于決定所述第一點亮信號的值的由一個以上的位組成的部分，
[0024]所述補正部基于補正表格來對用于表示應(yīng)提供給所述發(fā)光元件的電壓或電流的所述數(shù)字驅(qū)動信號的目標(biāo)值進(jìn)行補正，該補正表格將補正前的所述目標(biāo)值能夠取值的值即多個補正前候補值以維持大小關(guān)系方式，分別與補正后的所述目標(biāo)值能夠取值的值即多個補正后候補值建立對應(yīng)，
[0025]在所述補正表格中，針對所述多個補正后候補值的高位部分的各值，在所述低位部分能夠取值的值中，將由在與該高位部分的該值組合時組合而成的兩值決定的所述第一以及第二點亮信號的值之和與由比該高位部分的該值大I的值決定的所述第一點亮信號的值相等的所述低位部分的值，作為相當(dāng)于所述變更值的值，將比該低位部分的該值小I的值作為與該高位部分的該值組合的低位部分的最大值。
[0026]本發(fā)明的第七技術(shù)方案，在第三技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，其特征在于，
[0027]所述目標(biāo)值由低位部分和高位部分構(gòu)成，所述低位部分是用于決定所述第二點亮信號的值的由多個位組成的部分，所述高位部分是用于決定所述第一點亮信號的值的由一個以上的位組成的部分，
[0028]所述補正部基于補正表格來對用于表示應(yīng)提供給所述發(fā)光元件的電壓或電流的所述數(shù)字驅(qū)動信號的目標(biāo)值進(jìn)行補正，該補正表格將補正前的所述目標(biāo)值能夠取值的值即多個補正前候補值以維持大小關(guān)系方式，分別與補正后的所述目標(biāo)值能夠取值的值即多個補正后候補值建立對應(yīng)，
[0029]在所述補正表格中，針對所述多個補正后候補值的高位部分的各值，在所述低位部分能夠取值的值中，將由在與該高位部分的該值組合時組合而成的兩值決定的所述第一以及第二點亮信號的值之和與由比該高位部分的該值小I的值決定的所述第一點亮信號的值和所述第二點亮信號能夠取值的最大值之和相等的所述低位部分的值，作為相當(dāng)于所述變更值的值，將比該低位部分的該值大I的值作為與該高位部分組合的低位部分的最小值。
[0030]本發(fā)明的第八技術(shù)方案，從第一至第七技術(shù)方案中任一技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，其特征在于，
[0031]所述多個輸出管腳相互連接，
[0032]多個所述點亮信號是電流信號。
[0033]本發(fā)明的第九技術(shù)方案為一種曝光裝置，其特征在于，
[0034]具有:
[0035]技術(shù)方案I?8中任一項所述的發(fā)光控制裝置，
[0036]發(fā)光兀件，出射曝光用光，
[0037]光量傳感器，輸出與所述曝光用光的光量相應(yīng)的測定信號，
[0038]描畫部，通過將從所述發(fā)光元件出射的所述曝光用光向?qū)ο笪镎丈?