當?shù)谝簧惦姍C34被致動以使下保持構(gòu)件35上升并從下側(cè)支撐基板2并且基板2從傳送器33提升時(圖8A中的箭頭Al)，夾具驅(qū)動電機36被致動以借助夾具37夾緊并保持基板2(圖8A中的箭頭BI)。
[0043]當基板2如上所述被基板支撐單元21保持時，控制器60利用照相機單元移動機構(gòu)19使照相機單元20移動并利用上方成像照相機20a對掩模側(cè)標記13m進行成像。掩模側(cè)標記13m的成像在基板2將要與第一圖案形成區(qū)域Rl接觸時對第一圖案形成區(qū)域Rl中的掩模側(cè)標記13m來執(zhí)行，而在基板2將要與第二圖案形成區(qū)域R2接觸時對第二圖案形成區(qū)域R2中的掩模側(cè)標記13m來執(zhí)行。在對掩模側(cè)標記13m進行成像之后，控制器60利用下方成像照相機20b對基板側(cè)標記2m進行成像。
[0044]在對掩模側(cè)標記13m和基板側(cè)標記2m進行成像之后，控制器60以與上述相同的方式致動基板保持-移動機構(gòu)12以使基板2與掩模13接觸(圖8B中的箭頭Cl)。因此，基板2的電極2a與掩模13的圖案(第一圖案PTl或第二圖案PT2)匹配(圖8B)。
[0045]在基板2與掩模13接觸之后,控制器60使膏劑量檢查設(shè)備(未不出)檢查第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm(位于與前夾具37F或后夾具37R接觸的掩模13上)中是否存在足夠量的膏劑Pst。當判斷沒有足夠量的膏劑Pst時，控制器60使膏劑供應(yīng)機構(gòu)18向區(qū)域Rm供應(yīng)膏劑Pst。
[0046]作為膏劑量檢查(膏劑供應(yīng)機構(gòu)18供應(yīng)膏劑Pst時,隨后執(zhí)行的膏劑量檢查)的結(jié)果，當判斷第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm中存在足夠量的膏劑Pst時，控制器60使用刮板52執(zhí)行膏劑Pst的刮擦。在刮擦中，控制器60使可移動基座51在Y軸方向上移動，并使印刷頭17在第一圖案形成區(qū)域Rl上或第二圖案形成區(qū)域R2上往復移動(滑動)。通過該刮擦，膏劑Pst被擦在掩模13上以填充掩模13的圖案，由此膏劑Pst被印刷在基板2上。
[0047]在刮擦中，當在基板2上執(zhí)行利用第一圖案PTl的印刷時，首先，使后刮板52R從第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm上方下降，以使其底部與區(qū)域Rm接觸(掩模13與后夾具37R接觸)。以該接觸位置(掩模13上的第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm中的位置)作為移動起始位置，使后刮板52R向前移動(圖9A中的箭頭D1)。當后刮板52R滑過掩模13上的第一圖案形成區(qū)域Rl并到達前夾具37F上方時，后刮板52R被提升，并使前刮板52F下降以與前夾具37F接觸。使前刮板52F從該接觸位置向后移動(圖9B中的箭頭D2)，并且當前刮板52F滑過掩模13上的第一圖案形成區(qū)域Rl并返回至后夾具37R上的移動起始位置時，前刮板52F被提升，并處于待機狀態(tài)。
[0048]另一方面，當在基板2上執(zhí)行利用第二圖案PT2的印刷時，首先，使前刮板52F從第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm上方下降，以使其底部與區(qū)域Rm接觸(掩模13與前夾具37F接觸)。以該接觸位置作為移動起始位置，使前刮板52F向后移動(圖1OA中的箭頭D3)。當前刮板52F滑過掩模13上的第二圖案形成區(qū)域R2并到達后夾具37R上方時，前刮板52F被提升，并使后刮板52R下降以與后夾具37R接觸。使后刮板52R從該接觸位置向前移動(圖1OB中的箭頭D4)，并且當后刮板52R滑過掩模13上的第二圖案形成區(qū)域R2并返回至前夾具37F上的移動起始位置時，后刮板52R被提升，并處于待機狀態(tài)。
[0049]以此方式，在根據(jù)該實施例的絲網(wǎng)印刷設(shè)備5中，印刷頭17通過在掩模13的上方移動而在選擇性地與第一圖案形成區(qū)域Rl和第二圖案形成區(qū)域R2中的一個接觸的基板2上印刷膏劑Pst。此時，印刷頭17將掩模13上的第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm中的一位置設(shè)定為移動起始位置，并操作為:當在與第一圖案形成區(qū)域Rl接觸的基板2上印刷第一圖案PTl時，從移動起始位置沿Y軸方向在第一圖案形成區(qū)域Rl上往復移動并返回到該移動起始位置，并當在與第二圖案形成區(qū)域R2接觸的基板2上印刷第二圖案PT2時，從移動起始位置沿Y軸方向在第二圖案形成區(qū)域R2上往復移動并返回到該移動起始位置。
[0050]當刮板52往復移動以使掩模13的圖案填充有膏劑Pst并將膏劑Pst印刷在基板2上時，控制器60致動第二升降電機42以使升降板31下降(圖1lA中的箭頭C2)，并使基板2與掩模13分離以執(zhí)行基板分離(圖11A)。由此，針對每一基板2的絲網(wǎng)印刷操作結(jié)束。
[0051]在針對每一基板2的絲網(wǎng)印刷操作結(jié)束時，控制器60打開夾具37(圖1lB中的箭頭B2)，使下保持構(gòu)件35下降(圖1lB中的箭頭A2)，并將基板2放置在傳送器33上(圖11B)。然后，致動傳送器33和送出傳送器15，以使它們彼此協(xié)作，從而將基板2送出到絲網(wǎng)印刷設(shè)備5下游的第一元件安裝設(shè)備6。當基板2已經(jīng)被送出之后，控制器60判斷是否存在還未進行絲網(wǎng)印刷的基板2。結(jié)果，當存在還未進行絲網(wǎng)印刷的基板2時，該基板2由送入傳送器14送入，并且當不存在未進行絲網(wǎng)印刷的基板2時，一系列操作結(jié)束。
[0052]在絲網(wǎng)印刷操作中，印刷頭17，從位于掩模13上的第一圖案形成區(qū)域Rl和第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm中的移動起始位置，在第一圖案形成區(qū)域Rl上或在第二圖案形成區(qū)域R2上往復移動，并將膏劑Pst印刷在基板2上。因此，例如，當在第一圖案PTl印刷在第一類型基板2上之后在第二類型基板2上印刷第二圖案PT2時，以及當在第一圖案PTl印刷在第一類型基板2上之后在第一類型基板2上印刷第一圖案PTl時，膏劑Pst都在移動起始位置，該移動起始位置是往復移動的起始位置，因此可以不浪費地使用掩模13上的膏劑Pst。因此，可以減少浪費的膏劑Pst的量。在印刷之后掩模13上的膏劑Pst返回到掩模13上的第一圖案形成區(qū)域Rl與第二圖案形成區(qū)域R2之間的區(qū)域Rm。因此，即使當隨機地送入不同類型的基板2時(即，即使當基板2被送入第一圖案形成區(qū)域Rl和第二圖案形成區(qū)域R2中任一個時)，印刷操作可以立即開始。
[0053]在圖1和2中，每個元件安裝設(shè)備6包括:兩個基板運送通道72 (第一基板運送通道72a和第二基板運送通道72b)，布置在絲網(wǎng)印刷設(shè)備5的掩模13上的圖案布置方向(Y軸方向)上；以及作業(yè)裝置6a，與用于第一類型基板2和第二類型基板2的元件安裝相關(guān)操作的細節(jié)相對應(yīng)。
[0054]元件安裝設(shè)備6利用第一基板運送通道72a或第二基板運送通道72b運送并定位從絲網(wǎng)印刷設(shè)備5接收的基板2，并利用作業(yè)裝置6a執(zhí)行預定的元件安裝相關(guān)操作。例如，當操作是對已經(jīng)由絲網(wǎng)印刷設(shè)備5印刷了膏劑Pst的基板2的檢查操作時，作業(yè)裝置6a是檢查頭。當操作是從元件供應(yīng)單元拾取元件3并將元件3安裝在基板2上的元件安裝操作時，作業(yè)裝置6a是安裝頭。當作業(yè)裝置6a結(jié)束了預定的元件安裝相關(guān)操作時，元件安裝設(shè)備6致動基板運送通道72以將基板2送出到下游工序側(cè)。
[0055]以此方式，安裝在絲網(wǎng)印刷設(shè)備5的下游側(cè)的每個元件安裝設(shè)備6包括布置在絲網(wǎng)印刷設(shè)備5中的掩模13的圖案(第一圖案PTl和第二圖案PT2)的布置方向(Y軸方向)上的第一基板運送通道72a和第二基板運送通道72b，將已經(jīng)印刷了第一圖案PTl的第一類型基板2送入第一基板運送通道72a，對該基板2執(zhí)行元件安裝相關(guān)操作(第一操作步驟)，將已經(jīng)印刷了第二圖案PT2的第二類型基板2送入第二基板運送通道72b，并對該基板2執(zhí)行元件安裝相關(guān)操作(第二操作步驟)。
[0056]另一方面，絲網(wǎng)印刷設(shè)備5根據(jù)基板是否被送入絲網(wǎng)印刷設(shè)備5下游的第二元件安裝設(shè)備6(下文中，被稱為第二元件安裝設(shè)備6)來選擇要送入的基板2的類型。更具體地，被送入第二元件安裝設(shè)備6的兩個基板運送通道72中的要求基板2的一側(cè)的基板運送通道72中的基板2的類型，被設(shè)定作為要送入絲網(wǎng)印刷設(shè)備5的基板2的類型(選擇工序)。當?shù)诙惭b設(shè)備6的兩個基板運送通道72 (第一基板運送通道72a和第二基板運送通道72b)中不存在基板2時，每個元件安裝設(shè)備6向緊鄰上游側(cè)的元件安裝設(shè)備6輸出要求送出基板2的信號(基板要求信號)(絲網(wǎng)印刷設(shè)備5下游的第一元件安裝設(shè)備6 (下文中，被稱為第一元件安裝設(shè)備6)向絲網(wǎng)印刷設(shè)備5輸出基板要求信號)。已經(jīng)接收到基板要求信號的處于可以送出基板2的狀態(tài)的元件安裝設(shè)備6(或絲網(wǎng)印刷設(shè)備5)將基板2送出到第一元件安裝設(shè)備6(即，已經(jīng)輸出基板要求信號的元件安裝設(shè)備6)。
[0057]在該實施例中，第二元件安裝設(shè)備6向絲網(wǎng)印刷設(shè)備5和第一元件安裝設(shè)備6輸出基板要求信號。然后，絲網(wǎng)印刷設(shè)備5基于從第二元件安裝設(shè)備6輸出的基板要求信號來確定要從基板供應(yīng)設(shè)備4送入的基板的類型。
[0058]圖12是示出當基板2的類型要送入絲網(wǎng)印刷設(shè)備5時控制器60所執(zhí)行的判斷流程的流程圖?？刂破?0判斷基板2是否可以由送入傳送器14接收，即，送入傳送器14和基板支撐單元21中是否存在基板2 (步驟STl)。當不能接收基板2時(當送入傳送器14或基板支撐單元21中存在基板2時)，控制器等待直到可以接收基板2。當可以接收基板時，控制器60判斷從第二元件安裝設(shè)備6向第一元件安裝設(shè)備6輸出的基板要求信號是否包括要求第一類型基板2 (稱為A基板)的基板要求信號(稱為A基板要求信號)和要求第二類型基板2 (稱為B基板)的基板要求信號(稱為B基板要求信號)的