專利名稱:電子器件接收裝置及其裝載/卸載電子器件的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及一種電子器件接收裝置以及在電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法，特別涉及使用條帶來接收電子器件的電子器件接收裝置以及在此電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法。
背景技術(shù)：
在稱為浮雕帶的載帶(carrier tape)中分別接收多個電子器件如半導(dǎo)體器件從而運(yùn)載這些電子器件的方法，作為一種運(yùn)載電子器件且不損壞電子器件的方法已經(jīng)投入應(yīng)用。
圖1示出使用載帶的半導(dǎo)體器件的結(jié)構(gòu)。圖2示出載帶的剖面圖。圖3示出將裝載在載帶中的半導(dǎo)體器件從載帶上卸載的過程。
請參閱圖1，半導(dǎo)體器件接收裝置1包括卷軸2，纏繞于卷軸2的載帶3，以及蓋帶4。接收半導(dǎo)體器件5的多個凹部6以指定間隙設(shè)置在載帶3中。
請參閱圖2，半導(dǎo)體器件5接收在載帶3的凹部6中，蓋帶4通過使用加熱后的鏝刀(trowel)、接觸接合鏝刀、熱封(thermal seal)等接觸接合(contact bonding)附著在凹部6上。在此結(jié)構(gòu)下，能防止半導(dǎo)體器件5從凹部6脫落出來。
如圖3所示，為了從載帶3取出容置于凹部6中的半導(dǎo)體器件5，將蓋帶4從載帶3剝離，然后，用附著夾具9將半導(dǎo)體器件5從凹部取出。
然而，在此結(jié)構(gòu)下，由于將蓋帶4從載帶3剝離是將半導(dǎo)體器件5從載帶3中取出的必不可少的過程，因此增加了操作步驟以及蓋帶4的材料費(fèi)和處理費(fèi)。
除此之外，由于載帶3在使用后，蓋帶4的密封殘余物保留在載帶3上，因此不能重復(fù)使用載帶3。
而且，由于未密封的半導(dǎo)體器件等對灰塵或外來顆粒十分敏感，在形成電路時灰塵或外來顆粒會影響連接質(zhì)量。于是，在半導(dǎo)體器件接收裝置1中裝載/卸載半導(dǎo)體器件5的操作必須在凈化室或類似的環(huán)境中進(jìn)行，因此操作過程復(fù)雜化。
日本專利申請第10-116842號公開了一種半導(dǎo)體器件接收裝置，其具有以下結(jié)構(gòu)放置半導(dǎo)體器件的底壁、從底壁兩側(cè)邊緣伸出的側(cè)壁以及具有開口的頂部壁形成在浮雕帶上，半導(dǎo)體器件從頂部壁的開口插入并由側(cè)壁容納的方式置于底壁上。
日本專利申請第9-226828號公開了一種使用容器對電子元件進(jìn)行條帶繞包(tape-wrapping)的方法，該容器具有容納電子元件且能開啟和關(guān)閉用于取出電子元件的開口部分的快門機(jī)構(gòu)(shutter mechanism)，且該容器具有內(nèi)部設(shè)置有附著帶的配置機(jī)構(gòu)(arranging mechanism)和剝離機(jī)構(gòu)的密封結(jié)構(gòu)。
然而，在日本專利申請第10-116842號公開的半導(dǎo)體器件接收裝置中，雖然上述如圖1到圖3示出的因使用蓋帶4所引起的問題，由于不使用蓋帶4而被解決，但灰塵和外來顆粒附著到浮雕帶容納的半導(dǎo)體器件的問題沒有得到解決。因此，必須在凈化室中進(jìn)行在浮雕帶上裝載/卸載半導(dǎo)體器件的操作，且此操作是復(fù)雜的。
除此之外，在日本專利申請第9-226828號的使用容器對電子元件進(jìn)行條帶繞包的方法中，由于使用附著帶固定電子元件，接收電子元件容器的結(jié)構(gòu)較復(fù)雜。此外，附著帶需要反復(fù)纏繞，因此附著帶的可重復(fù)使用率低。

發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的總的目的為提供一種新穎和實(shí)用的電子器件接收裝置以及在電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法。
本發(fā)明的另外和更具體的目的為提供一種電子器件接收裝置以及在該電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法，該接收裝置使用可重復(fù)使用的載帶，且憑此接收裝置，電子器件能免遭灰塵或外來顆粒。
本發(fā)明的上述目的由具有密封結(jié)構(gòu)的電子器件的接收裝置實(shí)現(xiàn)，其包括條帶，用于將電子器件接收到電子器件接收裝置中；其中，條帶彈性容納電子器件且在電子器件接收裝置內(nèi)部運(yùn)行；用于裝載/卸載的敞口部分和條帶拉伸機(jī)構(gòu)設(shè)置在電子器件接收裝置內(nèi)部；用于裝載/卸載的敞口部分設(shè)置在條帶上方，從而將電子器件裝載到條帶上和從條帶上卸載；用于裝載/卸載的敞口部分配置有開啟電子器件接收裝置的開口部分；以及條帶拉伸部分在與條帶的運(yùn)行方向基本垂直的方向上拉伸條帶。
本發(fā)明的上述目的也由在電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法實(shí)現(xiàn)，該電子器件接收裝置具有密封結(jié)構(gòu)，通過使用條帶將電子器件接收到電子器件接收裝置中，該條帶可以彈性容納電子器件并在電子器件接收裝置內(nèi)部運(yùn)行，該方法包括如下步驟當(dāng)條帶的指定部分位于用于裝載/卸載的敞口部分之下時，開啟電子器件接收裝置的用于裝載/卸載的敞口部分；以及在與條帶的運(yùn)行方向基本垂直的方向上，拉伸電子器件接收裝置內(nèi)部的條帶，從而將電子器件裝載到條帶上和從條帶上卸載。
依照本發(fā)明，能提供一種可重復(fù)使用載帶從而能使電子器件免遭灰塵或外來顆粒的電子器件接收裝置，以及提供一種在該電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法。
通過下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更清楚。
圖1為使用載帶的半導(dǎo)體器件接收裝置的示意圖；圖2為圖1中所示的載帶的剖面圖；圖3為將載帶中裝載的半導(dǎo)體器件從載帶上卸載的過程示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體器件接收裝置的示意圖，其示出半導(dǎo)體器件接收裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)；圖5為沿圖4的箭頭A方向的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖；圖6為沿圖4的箭頭B方向的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖；圖7為本發(fā)明實(shí)施例的載帶的示意圖；圖8為本發(fā)明實(shí)施例的載帶的剖面 圖9為圖4中的虛線F所示部分的第一實(shí)例的詳細(xì)示意圖；圖10為圖4中的虛線F所示部分的第二實(shí)例的詳細(xì)示意圖；圖11為圖10所示的第一孔機(jī)構(gòu)(aperture mechnism)的平面圖(部分1)，其示出用于裝載/卸載的敞口部分被開啟的狀態(tài)；圖12為圖10所示的第一孔機(jī)構(gòu)的平面圖(部分2)，其示出用于裝載/卸載的敞口部分被關(guān)閉的狀態(tài)；圖13為沿圖10中的箭頭K方向的用于裝載/卸載的敞口部分的示意圖；圖14為半導(dǎo)體器件接收裝置的內(nèi)在結(jié)構(gòu)的示意圖，該半導(dǎo)體器件接收裝置的用于裝載/卸載的敞口部分不同于圖4中所示的用于裝載/卸載半導(dǎo)體器件接收裝置的敞口部分；圖15為沿圖14中的箭頭A方向的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖；圖16為沿圖14中的箭頭B方向的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖；圖17為圖14中的虛線L所示部分的第一實(shí)例的詳細(xì)視圖；圖18為圖14中的虛線L所示部分的第二實(shí)例的詳細(xì)視圖；圖19為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分的第一實(shí)例的詳細(xì)結(jié)構(gòu)示意圖；圖20為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分的第一實(shí)例的詳細(xì)結(jié)構(gòu)剖面圖；圖21為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分的第一實(shí)例的改型剖面圖；圖22為半導(dǎo)體器件接收裝置的示意圖，其示出載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分的第二實(shí)例的詳細(xì)結(jié)構(gòu)；圖23為圖22中所示的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖；圖24為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分的第二實(shí)例的第一改型剖面圖；圖25為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分的第二實(shí)例的第二改型剖面圖；圖26為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分的第二實(shí)例的第三改型剖面圖；圖27為圖7中所示的載帶的第一改型的載帶的平面圖；圖28為圖27中所示的載帶被拉伸的狀態(tài)示意圖；圖29為圖7中所示的載帶的第二改型的載帶的平面圖；圖30為圖29中所示的載帶被拉伸的狀態(tài)示意圖；以及圖31為半導(dǎo)體器件接收裝置的內(nèi)在結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，載帶的纏繞方式不同于圖4所示的半導(dǎo)體器件接收裝置的載帶的纏繞方式。
具體實(shí)施方式下面參照本發(fā)明實(shí)施例的圖4到圖31進(jìn)行描述。
首先，討論本發(fā)明電子器件接收裝置的實(shí)施例。雖然在隨后的描述中將半導(dǎo)體器件接收裝置作為電子器件接收裝置的實(shí)例進(jìn)行討論，但本發(fā)明并不局限于此。本發(fā)明能應(yīng)用于半導(dǎo)體器件之外的電子器件的接收裝置。
圖4為本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體器件接收裝置的示意圖，其示出半導(dǎo)體器件接收裝置的內(nèi)在結(jié)構(gòu)。圖5為沿圖4中的箭頭A方向的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖。圖6為沿圖4中的箭頭B方向的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖。為了方便描述，在圖4到圖6中，省略了對以下討論的載帶的詳細(xì)結(jié)構(gòu)、用于裝載/卸載的敞口部分的開啟和閉合機(jī)構(gòu)，以及載帶的拉伸機(jī)構(gòu)的說明。
請參閱圖4到圖6，基本上為矩形平行六面體形構(gòu)造的半導(dǎo)體器件接收裝置10具有密封結(jié)構(gòu)。載帶11、第一卷軸13、第二卷軸15、用于裝載/卸載的敞口部分17等均設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10內(nèi)部。
半導(dǎo)體器件能放置在載帶11內(nèi)，以便能將半導(dǎo)體器件裝載到載帶11中或者從載帶11卸載。通過用于裝載/卸載的敞口部分17，能將半導(dǎo)體器件從半導(dǎo)體器件接收裝置10的外部插到載帶11上，以及能將半導(dǎo)體器件從載帶11取出到半導(dǎo)體器件接收裝置10的外部。
在載帶11沿圖4的箭頭C所示的方向運(yùn)行的情況下，第一卷軸13對應(yīng)于載帶11的供帶卷軸，以及第二卷軸15對應(yīng)于載帶11的卷帶卷軸。
在載帶11沿與圖4的箭頭C所示方向相反的方向運(yùn)行的情況下，第二卷軸15對應(yīng)于載帶11的供帶卷軸，以及第一卷軸13對應(yīng)于載帶11的卷帶卷軸。
雖然單個的載帶11、單個的第一卷軸13和單個的第二卷軸15設(shè)置在圖4到圖6所示的半導(dǎo)體器件接收裝置10中，但本發(fā)明并不局限于此。多個載帶11，對應(yīng)于載帶11的多個第一卷軸13和第二卷軸15可以設(shè)置在單個半導(dǎo)體器件接收裝置10中。
除此之外，在半導(dǎo)體器件接收裝置10中，大滾輪12-1和12-2設(shè)置在第一卷軸13和第二卷軸15之間，該大滾輪12-1和12-2配置成改變載帶11大約90度的運(yùn)行方向。小滾輪對14-1和14-2設(shè)置在大滾輪12-1和12-2之間，以便將載帶11放置在小滾輪對14-1和14-2之間且以指定間距運(yùn)行。
第一卷軸13、第二卷軸15、大滾輪12-1和12-2和小滾輪對14-1和14-2由如金屬、聚碳酸酯(PC)樹脂、聚苯醚(PPE)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或聚砜(PSU)樹脂制成，且有耐熱屬性。
鏈輪齒可用于運(yùn)行載帶11。換句話說，鏈輪齒能設(shè)置于載帶11的上下部分或左右部分，以便將載帶11放置在鏈輪齒(sprocket)之間，通過將鏈輪齒的銷(pin)插入載帶11上形成的孔中并且通過旋轉(zhuǎn)鏈輪齒，載帶11能以一定的間距運(yùn)行?？梢赃x擇金屬或樹脂作為鏈輪齒的材料。
下述載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19設(shè)置在載帶11兩側(cè)邊緣的鄰近部分而面向用于裝載/卸載的敞口部分17，從而載帶11放置在用于裝載/卸載的敞口部分17和載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19之間。
除此之外，第一傳感器20設(shè)置在載帶11和用于裝載/卸載的敞口部分17的下面。半導(dǎo)體器件是否被載帶11接收能被第一傳感器20檢測到，由此可以確定用于裝載/卸載的敝口部分17的開啟和關(guān)閉的計時。
如圖4所示，透明窗22設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10上表面的用于裝載/卸載的敞口部分17附近。通過窗22，能從半導(dǎo)體器件接收裝置10的外部，直觀確定在載帶11中半導(dǎo)體器件的接收狀態(tài)。
除此之外，第二傳感器21設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10上表面的窗22的附近。半導(dǎo)體器件是否被載帶11接收第二傳感器21可經(jīng)透明窗22檢測到，由此可以確定用于裝載/卸載的敞口部分17的開啟和關(guān)閉的計時。
進(jìn)氣部分24設(shè)置在從圖4的箭頭B方向看去的半導(dǎo)體器件接收裝置10的下表面，以便半導(dǎo)體器件接收裝置10的內(nèi)部能充滿氣體。
如上所述，半導(dǎo)體器件接收裝置10具有密封結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體器件接收裝置10使用期間，通過從進(jìn)氣部分24不斷地沖氣，半導(dǎo)體器件接收裝置10中的壓力保持在大于1個大氣壓(絕對壓力)。結(jié)果，即使進(jìn)行敞口部分17的開啟和閉合操作，也能防御外部的灰塵或外來顆粒進(jìn)入半導(dǎo)體器件接收裝置10。通過使用惰性氣體如氮或氦，能容易地獲得理想的天然大氣，由此也能避免插入載帶11中的半導(dǎo)體器件的電極和其它部分發(fā)生氧化和顏色改變。
凹槽形成部分16-1和16-2形成于從圖4的箭頭B方向看去的半導(dǎo)體器件接收裝置10的表面。通過凹槽形成部分16-1和16-2，能很容易地將半導(dǎo)體器件接收裝置10附加到其他設(shè)備上。
接下來，參照圖7和圖8，討論載帶11的一種結(jié)構(gòu)，其中，半導(dǎo)體器件能裝載到載帶11上或從載帶11上卸載，載帶11設(shè)置于上述半導(dǎo)體器件的接收裝置10的內(nèi)部。這里，圖7為載帶11的示意圖，以及圖8為載帶11的剖面圖。
例如，浮雕帶能作為載帶11使用。載帶11由具有耐熱屬性的材料如金屬、聚碳酸酯(PC)樹脂、聚苯醚(PPE)樹脂以及聚丙烯(PP)樹脂制成。
請參閱圖7，載帶11包括多個元件接收部分38、側(cè)壁40-1和40-2以及頂部壁41-1和41-2。在元件接收部分38接收半導(dǎo)體器件36。側(cè)壁40-1和40-2從元件接收部分38的相應(yīng)的側(cè)邊緣向上伸出。頂部壁41-1和41-2形成有開口部分46。
頂部壁41-1和41-2由側(cè)壁40-1和40-2的頂部水平地形成，且在與元件接收部分38平行和在載帶11的長度方向上延伸。在每個頂部壁41-1和41-2中，多個孔42以形成一條直線的方式設(shè)置。通過將銷或類似物插入孔42內(nèi)，載帶11能移動(運(yùn)行)，且在與載帶11的移動(運(yùn)行)方向相垂直的水平方向彈性拉伸。此外，凸出物44以固定間距設(shè)置于容納半導(dǎo)體器件36的元件接收部分38之間。
請參閱圖8，元件接收部分38基本上是平坦的。側(cè)壁40-1和40-2以如下方式傾斜隨著側(cè)壁40-1和40-2向上離開底壁38，側(cè)壁40-1和40-2之間的間隔越來越窄。因此，側(cè)壁40-1和40-2底部之間的間隔L1，即側(cè)壁40-1和40-2與元件接收部分38相連接的部分，大于位于從元件接收部分38向上延伸的部分的側(cè)壁40-1和40-2之間的間隔。在側(cè)壁40-1和40-2的頂部的側(cè)壁40-1和40-2之間的間隔用圖8中的長度L2表示。此外，在位于從元件接收部分38向上延伸的側(cè)壁40-1和40-2之間的間隔，小于將容納的半導(dǎo)體器件36的尺寸的長度L3。
因此，當(dāng)使用如附著頭48將半導(dǎo)體器件36接收到載帶11中時，側(cè)壁40-1和40-2分別以箭頭D和E所示的方向彈性拉伸，且半導(dǎo)體器件36從頂部壁41-1和41-2的開口部分46上方插入，從而將半導(dǎo)體器件36放置在元件接收部分38上。
當(dāng)半導(dǎo)體器件36放置在元件接收部分38上時，側(cè)壁40-1和40-2通過各自內(nèi)在的彈力返回到它們的初始位置。結(jié)果，側(cè)壁40-1和40-2與半導(dǎo)體器件36相接觸，從而半導(dǎo)體器件36的一部分由側(cè)壁40-1和40-2覆蓋，由此半導(dǎo)體器件36由彈力容納于載帶11中。
在圖7中示出的實(shí)例中，由側(cè)壁40-1和40-2以及凸出物44形成的元件接收部分38，以形成一條直線的方式沿載帶11的長度方向配置。然而，本發(fā)明并不局限于此。在載帶11的寬度方向上也可形成多條直線的元件接收部分38。
接下來，參照圖9到圖18，討論用于裝載/卸載的敞口部分17的開啟和閉合機(jī)構(gòu)。圖9示出圖4中的虛線F所示部分的第一實(shí)例的詳細(xì)示意圖。
如圖4和圖9所示，用于裝載/卸載的敞口部分17設(shè)置在載帶11的上方且在半導(dǎo)體器件接收裝置10的內(nèi)部。
如圖9所示，用于裝載/卸載的敞口部分17上表面的開口部分50，位于半導(dǎo)體器件接收裝置10的上表面。通過開啟開口部分50，開啟半導(dǎo)體器件接收裝置10。槽51沿箭頭G(H)所示的方向形成于開口部分50的內(nèi)邊緣部分。除此之外，第一門52沿著槽51以箭頭G(H)顯示的方向可滑動地設(shè)置。
第一門52由如金屬、聚碳酸酯(PC)樹脂、聚苯醚(PPE)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或聚砜(PSU)樹脂制成，且有耐熱屬性。
線圈彈簧53設(shè)置于第一門52內(nèi)。第一門52與設(shè)置于半導(dǎo)體器接收裝置10內(nèi)的氣缸54相連接。
第一門52沿圖9中的箭頭G所示的方向從用于裝載/卸載的敞口部分17的開口部分50滑動。換句話說，線圈彈簧53的彈力將第一門52置于開口部分50處，氣缸54在用于裝載/卸載的敞口部分17關(guān)閉的狀態(tài)下運(yùn)行，從而第一門52沿圖9中的箭頭G所示的方向從開口部分50處在同一平面上滑動。結(jié)果，用于裝載/卸載的敞口部分17被開啟。
然后，第一門52沿箭頭H所示的方向滑動且置于開口部分50處，致使用于裝載/卸載的敞口部分17被關(guān)閉。
因此，在此實(shí)施例中，用于裝載/卸載的敞口部分17能被第一門52開啟和關(guān)閉，以便半導(dǎo)體器件36能被裝載到設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10內(nèi)的載帶11的元件接收部分38中和從元件接收部分38中卸載。
進(jìn)行這樣的裝載/卸載操作，只需開啟用于裝載/卸載的敞口部分17的開口部分50，因此確保了半導(dǎo)體器件接收裝置10的密封性。
除此之外，第一門52在水平方向即箭頭G或H所示的方向滑動。因此，與通過旋轉(zhuǎn)第一門52進(jìn)行用于裝載/卸載的敞口部分17的開啟和閉合操作的情況下相比，用于裝載/卸載的敞口部分17的開口的區(qū)域可以做得很小。因此，使半導(dǎo)體器件接收裝置10的小型化成為可能，且可以確保半導(dǎo)體器件接收裝置10的密封性。
用于裝載/卸載的敞口部分17的結(jié)構(gòu)并不局限于圖9所示的實(shí)例，也可以依照圖10到圖14所示的實(shí)例。
圖10為圖4中的虛線F所示部分的第二實(shí)例的詳細(xì)示意圖。圖11為圖10所示的第一孔機(jī)構(gòu)體60的平面圖(部分1)，其示出用于裝載/卸載的敞口部分17被開啟的狀態(tài)。圖12為圖10所示的第一孔機(jī)構(gòu)體60的平面圖(部分2)，其示出用于裝載/卸載的敝口部分17被關(guān)閉的狀態(tài)。圖13為沿圖10中的箭頭K方向的用于裝載/卸載的敝口部分17的示意圖。
第一孔機(jī)構(gòu)體60取代圖9所示的第一門52設(shè)置在圖10所示的實(shí)例中。第一孔機(jī)構(gòu)體60的上表面位于半導(dǎo)體器件接收裝置10的上表面。半導(dǎo)體器件接收裝置10能通過第一孔機(jī)構(gòu)體60的開啟而打開。
第一孔機(jī)構(gòu)體60由如金屬、聚碳酸酯(PC)樹脂、聚苯醚(PPE)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或聚砜(PSU)樹脂制成，且有耐熱屬性。
請參閱圖11和圖12，第一孔機(jī)構(gòu)體60包括圓形基座61、多個(在此實(shí)例中為7個)孔翼63和旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70等。孔翼63能通過旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70相對基座61旋轉(zhuǎn)。
孔翼63具有基本上為棱形的結(jié)構(gòu)。支撐銷65從孔翼63的端部凸出。接合銷67從孔翼63的與支撐銷65分離指定長度的部分凸出。每個孔翼63具有相同的結(jié)構(gòu)且基本形成在同一平面上。
通過將支撐銷65插入基座61的支撐孔(未顯示)之內(nèi)，孔翼63支撐旋轉(zhuǎn)在基座61上。通過將接合銷67插入形成于旋轉(zhuǎn)環(huán)62中的凸輪槽64內(nèi)，沿著凸輪槽64引導(dǎo)孔翼63。
如圖11所示，多個孔翼63放置且形成多個孔翼部分重疊的環(huán)狀。如圖11中，開口部分66開啟。
另一方面，通過將旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70沿圖11中箭頭J所示的方向從圖11中所示的開啟狀態(tài)旋轉(zhuǎn)，以相同的方向旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)環(huán)62，接合銷67在相應(yīng)的凸輪槽64中移動。結(jié)果，孔翼63沿圖10、圖11和圖13的箭頭J所示方向的相反方向在基本相同的平面上旋轉(zhuǎn)，致使開口部分66關(guān)閉，如圖12所示。
為了再次開啟開口部分66，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70沿與圖10、圖11和圖13的箭頭J所示方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。
請參照圖13，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70從形成在用于裝載/卸載的敞口17的側(cè)表面上的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件槽71處凸出。旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70能在半導(dǎo)體器件接收裝置10的外部手動操作。
因此，在此實(shí)例中，用于裝載/卸載的敝口部分17能被第一孔機(jī)構(gòu)體60開啟和關(guān)閉，以便進(jìn)行圖7所示的半導(dǎo)體器件36的裝載和卸載操作，以及設(shè)置于半導(dǎo)體器件接收裝置10內(nèi)的載帶11的其它操作。對于此操作，即，在設(shè)置于半導(dǎo)體器件接收裝置10內(nèi)的載帶11中進(jìn)行半導(dǎo)體器件36的裝載和卸載的操作，僅僅開啟第一孔機(jī)構(gòu)體60，從而能維持和確保半導(dǎo)體器件接收裝置10的密封性。
除此之外，第一孔機(jī)構(gòu)體60中的孔翼63在相同的表面旋轉(zhuǎn)。因此，與旋轉(zhuǎn)第一門52(見圖9)使其位于與箭頭G或H所示方向相垂直的方向從而使用于裝載/卸載的敞口17開啟和關(guān)閉的情況相比，用于裝載/卸載的敞口部分17能做得很小，從而半導(dǎo)體器件接收裝置10的體積也能做得很小。
同時，在此實(shí)例中，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70能在半導(dǎo)體器件接收裝置10的外部手動操作，使孔翼63旋轉(zhuǎn)。然而，本發(fā)明并不局限于此。例如，能從半導(dǎo)體器件接收裝置10的外部施加一個力，然后在半導(dǎo)體器件接收裝置10內(nèi)部對該力進(jìn)行機(jī)械轉(zhuǎn)換，使孔翼63旋轉(zhuǎn)。
除此之外，在圖4到圖6以及圖9到圖13所示的實(shí)例中，單個門52或單個孔機(jī)構(gòu)體60設(shè)置在用于裝載/卸載的敞口17的上表面的開口部分50處。然而，本發(fā)明并不局限于這些結(jié)構(gòu)?？稍O(shè)置多個門或多個孔機(jī)構(gòu)。
圖14為半導(dǎo)體器件接收裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖，該半導(dǎo)體器件接收裝置的用于裝載/卸載的敝口部分不同于圖4所示的用于裝載/卸載的敞口部分17。圖15為沿圖14所示的箭頭A方向的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖。圖16為沿圖14所示的箭頭B方向的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖。在圖14到圖16中，與如圖4到圖6所示的相同部分用相同的標(biāo)號表示，且省略其描述。
請參閱圖14到圖16，與上面討論的半導(dǎo)體器件接收裝置一樣，半導(dǎo)體器件接收裝置100具有基本上為矩形的平行六面體形結(jié)構(gòu)的密封結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體器件接收裝置10具有用于裝載/卸載的敞口部分77。
通過用于裝載/卸載的敞口部分77，能將半導(dǎo)體器件從半導(dǎo)體器件接收裝置100的外部插到載帶11的元件接收部分38上，以及將半導(dǎo)體器件從載帶11的元件接收部分38取出到半導(dǎo)體器件接收裝置100的外部。
用于裝載/卸載的敞口部分77的上表面位于半導(dǎo)體器件接收裝置10的上部外表面。用于裝載/卸載敞口部分77的下表面以微小間隙位于載帶11的上方。
圖17為圖14中的虛線L所示部分的第一實(shí)例的詳細(xì)示意圖。
請參閱圖17，槽51沿箭頭G(H)所示方向形成在開口部分50的內(nèi)邊緣部分，該開口部分50設(shè)置于用于裝載/卸載的敞口部分77的上部。除此之外，第一門52沿箭頭G(H)所示方向上可滑動地設(shè)置在槽51上。線圈彈簧53設(shè)置于第一門52內(nèi)。第一門52與設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收部分10內(nèi)的氣缸54相連接。
除此之外，槽56沿箭頭G(H)所示方向形成在開口部分55的內(nèi)邊緣部分，該開口部分55設(shè)置于用于裝載/卸載的敞口部分77的下部。除此之外，與第一門52材料相同的第二門57沿箭頭G(H)所示方向可滑動地設(shè)置在槽56上。線圈彈簧58設(shè)置于第二門57內(nèi)。第二門57與設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收部分10內(nèi)的氣缸59相連接。
圖17示出沿箭頭G所示方向第一門52從開口部分50滑動且第二門57從開口部分55處開啟的情況。
換句話說，在第一門52通過線圈彈簧53的彈力置于開口部分50處致使用于裝載/卸載的敞口部分77關(guān)閉的情況下，氣缸54運(yùn)行，由此第一門52在同一平面內(nèi)沿箭頭G所示方向從開口部分50處滑動。除此之外，在第二門57通過線圈彈簧58的彈力置于開口部分55處致使用于裝載/卸載的敞口部分77關(guān)閉的情況下，氣缸59運(yùn)行，然后第二門57在同一平面內(nèi)沿箭頭G所示方向從開口部分50處滑動。結(jié)果，用于裝載/卸載的敞口部分77開啟。
此外，當(dāng)用于裝載/卸載的敞口部分77關(guān)閉時，第一門52和第二門57沿箭頭H所示的方向滑動，以便第一門52位于開口部分50處，且第二門57位于開口部分55處。
用于裝載/卸載的敞口部分77的結(jié)構(gòu)可如圖18所示。這里，圖18為圖14中的虛線L所示部分的第二實(shí)例的詳細(xì)示意圖。
請參閱圖18，第一孔機(jī)構(gòu)體60設(shè)置于敞口部分77的上部。與第一孔機(jī)構(gòu)體60材料相同的第二孔機(jī)構(gòu)體80設(shè)置在用于裝載/卸載的敞口部分77的下部。通過使用第一孔機(jī)構(gòu)體60和第二孔機(jī)構(gòu)體80，能操作用于裝載/卸載的敞口部分77。
如圖17和圖18所示，第二門57(見圖17)或第二孔機(jī)構(gòu)體80(見圖18)設(shè)置在用于裝載/卸載的敞口部分77的下表面，該下表面以一定間隙設(shè)置在載帶11的上方。除此之外，在使用附著夾具9將半導(dǎo)體器件從載帶11的元件接收部分38拾取的實(shí)例中，在附著夾具9將半導(dǎo)體器件從載帶11拔出之后，設(shè)置于敝口部分77下表面的第二門57或第二孔機(jī)構(gòu)體80關(guān)閉，附著夾具9進(jìn)一步提升，致使半導(dǎo)體器件從半導(dǎo)體器件接收裝置100中取出，然后設(shè)置在用于裝載/卸載的敞口部分77上表面的第一門52(見圖17)或第一孔機(jī)構(gòu)體60(見圖18)關(guān)閉。
因此，與圖9或圖10中所示的情況，即門52或孔機(jī)構(gòu)體60僅設(shè)置在用于裝載/卸載的敞口部分77上表面的情況相比較，在用于裝載/卸載的敞口部分77開啟或關(guān)閉時，能更好地減輕半導(dǎo)體器件接收裝置100的內(nèi)部壓力的減少。除此之外，減少了從進(jìn)氣部分24流入的氣體的消耗量。因此，能確保半導(dǎo)體器件接收裝置100的內(nèi)部的密封性。
此外，在圖17中所示的實(shí)例中，第一門52和第二門57沿水平方向滑動。在圖18中所示的實(shí)例中，第一孔機(jī)構(gòu)體60和第二孔機(jī)構(gòu)體80中的孔翼63在同一平面上旋轉(zhuǎn)。因此，與通過旋轉(zhuǎn)第一門52和第二門57使用于裝載/卸載的敞口部分77開啟和關(guān)閉，從而第一門52和第二門57位于與圖17的箭頭G(H)所示方向相垂直的方向的情況相比較，可使用于裝載/卸載的敝口部分77的尺寸變小，從而使半導(dǎo)體器件接收裝置100的尺寸變小。
同時，第一傳感器20設(shè)置在經(jīng)載帶11面向敝口部分17的載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19的下面。第二傳感器21設(shè)置在鄰近于透明窗22處，該透明窗22設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10(100)的上表面的敞口部分17(77)的附近。第一傳感器20、第二傳感器21或窗部分22均用作檢測部分。
因此，載帶11的元件接收部分是否接收有半導(dǎo)體器件，均能通過檢測部分檢測出，由此能確定用于裝載/卸載敝口部分17(77)的開啟和關(guān)閉的計時。
因此，當(dāng)從載帶11的元件接收部分38拾取半導(dǎo)體器件時，半導(dǎo)體器件的拾取操作是否發(fā)生錯誤，以及載帶11的元件接收部分38是否接收有半導(dǎo)體器件，均能容易地確定。因此，能改善半導(dǎo)體器件的拾取過程的可操作性。
接下來，參照圖19到圖30討論載帶11的拉伸機(jī)構(gòu)。
正如上面參考圖8所討論的，為了將半導(dǎo)體器件36往/從載帶11的元件接收部分38裝載/卸載，必須沿箭頭D和E所示的方向彈性延伸側(cè)壁40-1和40-2。
圖19為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19的第一實(shí)例的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的示意圖。圖20為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19的第一實(shí)例的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的剖面圖。
在圖19和圖20所示的結(jié)構(gòu)中，作為載帶11的拉伸機(jī)構(gòu)，使用具有銷的多個夾具95和作為夾具95的移動構(gòu)件的氣缸93。多個夾具95經(jīng)載帶11彼此面對，以便能沿載帶11的寬度方向拉伸載帶11。夾具95能沿與載帶11的移動(運(yùn)行)方向基本垂直的方向移動。
夾具95由如金屬、聚碳酸酯(PC)樹脂、聚苯醚(PPE)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或聚砜(PSU)樹脂制成，且有耐熱屬性。銷在夾具95的上表面突出且能上下移動。
提升銷90以便插入載帶11的孔42中，且從載帶11的上表面突出。在此狀態(tài)中，通過氣缸93使夾具95沿箭頭N所示的方向移動，以便載帶11在箭頭N所示的方向彈性拉伸，從而往/從載帶11的元件接收部分38裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
雖然在圖19和圖20中所示的實(shí)例中，通過氣缸93使具有銷90的夾具95沿箭頭N所示的方向移動，但本發(fā)明不局限于此。例如，能使用圖21中所示的結(jié)構(gòu)。這里，圖21為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19的第一實(shí)例的改型的剖面圖。
在圖21所示的改型中，電磁鐵94用作載帶拉伸機(jī)構(gòu)的夾具95的移動工具。通過電磁鐵94的磁力，具有銷90的每個夾具95的下部沿相應(yīng)的箭頭Q所示的方向移動，致使夾具95傾斜。結(jié)果，銷90沿圖21的相應(yīng)的箭頭P所示的方向移動，因此載帶11在箭頭N所示的方向彈性拉伸，從而往/從載帶11的元件接收部分38裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
通過停止運(yùn)行圖20所示的實(shí)例中的氣缸93或圖21所示的實(shí)例中的電磁鐵94，來終止載帶11的拉伸狀態(tài)，從而載帶11的側(cè)壁40-1和40-2返回到它們的初始位置。
接下來，討論如圖4和圖14中所示的半導(dǎo)體器件接收裝置的載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19的第二實(shí)例。這里，圖22為半導(dǎo)體器件接收裝置的示意圖，其示出載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19的第二實(shí)例的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。圖23為圖22所示的半導(dǎo)體器件接收裝置的剖面圖。
在圖22中，省略對圖4所示的設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10內(nèi)的第一傳感器20、第二傳感器21、窗22以及進(jìn)氣部分24的說明。在圖22中，與圖4所示部分相同的部分采用相同的附圖標(biāo)記，因此省略其描述。
請參閱圖22，鏈輪齒體160用作半導(dǎo)體器件接收裝置150載帶的拉伸機(jī)構(gòu)。
鏈輪齒體160由如金屬、聚碳酸酯(PC)樹脂、聚苯醚(PPE)樹脂、聚丙烯(PP)樹脂或聚砜(PSU)樹脂制成，且有耐熱屬性。
請參閱圖23，通過旋轉(zhuǎn)軸163連接盤形鏈輪齒161和162形成鏈輪齒體160。多個銷以固定間隔分布于鏈輪齒161和162的外圓周表面上。銷164插入載帶11的孔42中且從載帶11的上表面突出。
除此之外，通過鏈輪齒體160彼此面對的作為鏈輪齒移動構(gòu)件的偏心引起部分170，設(shè)置于對應(yīng)于鏈輪齒161和162的下部的部分和半導(dǎo)體器件接收裝置150的外側(cè)表面。如圖23的箭頭S所示，從半導(dǎo)體器件接收裝置150的外部推動偏心引起部分170，以便該推力傳遞到鏈輪齒161和162的下部，鏈輪齒161和162如圖23虛線所示傾斜。結(jié)果，從載帶11中形成的孔42向上伸出的銷164，沿對應(yīng)的箭頭R所示的方向移動，由此，載帶11沿箭頭R所示的方向彈性拉伸，從而往/從載帶11裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
圖24為載帶拉伸機(jī)構(gòu)部分19的第二實(shí)例的第一改型的剖面圖。如圖24所示，取代偏心引起部分170，移動構(gòu)件175用作鏈輪齒移動構(gòu)件。移動構(gòu)件175設(shè)置在鏈輪齒161和162之間且側(cè)表面具有滿意角度的錐形部分，通過該側(cè)表面，鏈輪齒161和162傾斜。
如圖24所示，錐形部分的側(cè)面設(shè)置在鏈輪齒161和162的內(nèi)側(cè)表面。錐形移動構(gòu)件175與旋轉(zhuǎn)構(gòu)件176的一端相連接。旋轉(zhuǎn)構(gòu)件176伸到半導(dǎo)體器件接收裝置150的外部。通過對旋轉(zhuǎn)構(gòu)件176的另一端施加一個箭頭T所示的方向的力，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件176沿箭頭U所示的方向相對于軸177旋轉(zhuǎn)。另一方面，沿箭頭S所示的方向的外力施加到鏈輪齒161和162的外側(cè)表面。
通過此操作，移動構(gòu)件175降低，同時移動構(gòu)件175的錐形部分與鏈輪齒161和162的錐形部分相接觸。因此，鏈輪齒161和162的下部以軸163為中心向外側(cè)傾斜。結(jié)果，從形成于載帶11中的孔42向上伸出的銷164沿箭頭R所示的相應(yīng)方向移動，由此載帶11沿箭頭R所示的方向彈性拉伸，從而往/從載帶11的元件接收部分38裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
通過在圖23所示的實(shí)例中去掉來自偏心引起部分170外側(cè)的擠壓力，或者在圖24所示的實(shí)例中沿與箭頭T所示方向相反的方向運(yùn)行旋轉(zhuǎn)構(gòu)件176，終止載帶11的拉伸狀態(tài)，從而載帶11的側(cè)壁40-1和40-2彈性返回到它們的初始位置。
除此之外，取代使用圖24中所示的移動構(gòu)件175的結(jié)構(gòu)，可使用圖25或圖26中所示的結(jié)構(gòu)。這里，圖25為載帶的拉伸機(jī)構(gòu)部分19的第二實(shí)例的第二改型的剖面圖。圖26為載帶的拉伸機(jī)構(gòu)部分19的第二實(shí)例的第三改型的剖面圖。
在圖25所示的實(shí)例中，電磁鐵94用作鏈輪齒移動構(gòu)件。通過電磁鐵94的磁力使鏈輪齒161和162的下部沿箭頭Q所示的方向移動，從而鏈輪齒161和162傾斜。結(jié)果，從載帶11中形成的孔42向上伸出的銷164沿箭頭N所示的方向移動，由此載帶11沿箭頭N所示的方向彈性延伸，從而往/從載帶11的元件接收部分38裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
在圖26所示的實(shí)例中，氣缸93用作鏈輪齒移動構(gòu)件。通過氣缸使具有銷164的鏈輪齒161和162沿箭頭N所示的方向移動，由此載帶11沿箭頭N所示的方向彈性延伸，從而往/從載帶11的元件接收部分38裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
通過在圖25所示的實(shí)例中停止運(yùn)行電磁鐵94，以及停止運(yùn)行圖26中所示的氣缸93，結(jié)束載帶11的拉伸狀態(tài)，從而載帶11的側(cè)壁40-1和40-2彈性返回到初始位置。
在圖22到圖26中所示的結(jié)構(gòu)中，通過傾斜鏈輪齒161和162，使載帶11沿箭頭N所示的方向延伸。然而，本發(fā)明并不局限于此結(jié)構(gòu)。
圖27為圖7所示的載帶的第一改型的載帶110的平面視圖。圖28為圖27中所示的載帶110的拉伸狀態(tài)的示意圖。
請參閱圖27，在載帶110中，孔42A和孔42形成在頂部壁41-1和41-2中?？?2A位于對應(yīng)于凸出物44之間的元件接收部分38，且靠近頂部壁41-1和41-2的元件接收部分38側(cè)的部分。另一方面，孔42位于對應(yīng)于凸出物44且在頂部壁41-1和41-2的大體為中心的部分。
在此結(jié)構(gòu)下，如圖28所示，當(dāng)載帶110在鏈輪齒161和162上方移動時，鏈輪齒161和162的銷164從下面插入與半導(dǎo)體器件接收部分36對應(yīng)形成的孔42A中。
通過使鏈輪齒161和162向外側(cè)傾斜或移動，載帶11沿箭頭N所示的方向彈性延伸到外部，從而往/從載帶11的元件接收部分38裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
當(dāng)設(shè)置于頂部壁41-1和41-2且對應(yīng)于凸出物44的孔42通過鏈輪齒161和162上方時，載帶11的拉伸狀態(tài)結(jié)束，從而載帶11的側(cè)壁40-1和40-2彈性返回到初始位置。
在此結(jié)構(gòu)下，孔42的兩條線沿載帶110的縱向彼此平行地設(shè)置。由此，鏈輪齒161和162的銷164設(shè)置得對應(yīng)于孔42的兩條線的公共位置，即沿載帶110的寬度方向重疊的位置。當(dāng)銷164插入孔42A內(nèi)時，載帶110的頂部壁41-1和41-2通過孔42A沿水平方向延伸，從而往/從元件接收部分38裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
當(dāng)銷164插入與凸出物44設(shè)置的部分對應(yīng)設(shè)置的孔42內(nèi)時，由于孔42位于孔42A的外部，載帶110的拉伸狀態(tài)結(jié)束。
在半導(dǎo)體器件體積較大(未圖示)的情況下，孔42以正弦波的圖案連續(xù)地設(shè)置于載帶的縱向上，且設(shè)置在鏈輪齒161和162處的銷164位于對應(yīng)孔42的位置處，以便能直接進(jìn)行載帶上表面的開啟和關(guān)閉操作。
換句話說，為了關(guān)閉元件接收部分38，在元件接收部分38側(cè)設(shè)置孔42。在元件接收部分38和凸出物44之間的部分，以逐漸改變與該部分的距離的方式設(shè)置孔42。在此結(jié)構(gòu)下，能連續(xù)和直接地開啟和關(guān)閉載帶的上表面。
除此之外，圖29或圖30所示的結(jié)構(gòu)能用作載帶的拉伸結(jié)構(gòu)。
這里，圖29為圖7中所示的載帶11的第二改型的載帶200的平面圖。圖30為圖29中所示的載帶200的拉伸狀態(tài)示意圖。
請參閱圖29，載帶200的頂部壁41-1和41-2的邊緣部分延伸且向側(cè)壁40-1和40-2彎曲成圓弧形，由此形成軌接收部分205。
如圖30所示，由棍狀金屬如金屬絲制成的兩條軌210插入載帶200的軌接收部分205。直線部分210-1和向載帶200的運(yùn)行方向外部彎曲的彎曲部分210-2設(shè)置在軌210中。軌210設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10中的大滾輪12-1與12-2之間或第一滾輪對14-1與第二滾輪對14-2。彎曲部分210-2基本上位于用于裝載/卸載的敞口部分17的下面。
在此結(jié)構(gòu)下，如果載帶200沿圖30的箭頭W所示的方向運(yùn)行，當(dāng)載帶200通過軌210的彎曲部分210-2時，則載帶200沿箭頭N所示的方向延伸，從而往/從載帶200的元件接收部分38裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
當(dāng)載帶200的拉伸部分通過軌210的直線部分210-1時，載帶200的拉伸狀態(tài)結(jié)束，致使載帶11的側(cè)壁40-1和40-2彈性返回到初始位置。
因此，在圖19到圖30所示的實(shí)例中，配置成能很容易地拉伸接收和容納半導(dǎo)體器件的載帶的機(jī)構(gòu)，設(shè)置在具有密封結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件接收裝置內(nèi)部。因此，能容易地往/從載帶的元件接收部分裝載/卸載半導(dǎo)體器件，同時避免灰塵或外來顆粒附著到半導(dǎo)體器件。
接下來，討論在電子器件接收裝置中的載帶的元件接收部分接收半導(dǎo)體器件的方法。
在下面的描述中，如圖4所示，討論這樣的實(shí)例第一卷軸13用作載帶11的供帶卷軸，第二卷軸15用作載帶11的卷帶卷軸，從而載帶11沿箭頭C所示的方向運(yùn)行。
載帶11在內(nèi)部充滿了來自進(jìn)氣部分24的氣體的半導(dǎo)體器件接收裝置10中運(yùn)行。當(dāng)載帶11的如圖7所示的指定元件接收部分38(應(yīng)接收和放置半導(dǎo)體元件38)位于用于裝載/卸載敞口部分17下面時，設(shè)置在載帶11下面的第一傳感器20和/或設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10的上表面處的窗22附近的第二傳感器21，可以檢測到半導(dǎo)體器件是否被載帶11接收。
如果發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體器件36沒有被載帶11的元件接收部分38接收，氣缸54運(yùn)行，使第一門52在同一平面沿箭頭G所示的方向從開口部分50處滑動，由此如圖9所示，用于裝載/卸載的敞口部分17開啟。另一方面，如圖10所示，第一孔機(jī)構(gòu)體60開啟，致使用于裝載/卸載的敞口部分17開啟。
除此之外，在圖17所示的結(jié)構(gòu)中，位于用于裝載/卸載的敞口部分77的上表面處的第一門52開啟，且位于用于裝載/卸載敞口部分77的下表面處的第二門57開啟，從而用于裝載/卸載的敞口部分77開啟。此外，在圖18所示的結(jié)構(gòu)中，位于用于裝載/卸載的敞口部分77的上表面處的第一孔機(jī)構(gòu)體60開啟，且位于用于裝載/卸載的敞口部分77的下表面處的第二孔機(jī)構(gòu)體80開啟，從而用于裝載/卸載的敝口部分77開啟。此時，載帶拉伸機(jī)構(gòu)同步運(yùn)行。
在圖20所示的實(shí)例中，銷90從載帶11的下部向上凸出，以及通過氣缸93使具有銷90的夾具95沿箭頭N所示的方向移動。在圖21所示的實(shí)例中，電磁鐵94運(yùn)行，使具有銷90的夾具95的下部沿箭頭Q所示的方向由磁力驅(qū)動，導(dǎo)致夾具95傾斜，由此銷90沿箭頭P所示的方向移動，即向外移動。
在圖23所示的實(shí)例中，如箭頭S所示，從半導(dǎo)體器件的接收裝置150外部擠壓偏心引起部分170，使鏈輪齒161和162傾斜(偏心)，以及從形成在載帶11中的孔42向上伸出的銷164沿箭頭R所示的方向移動。
在圖24所示的實(shí)例中，外力S施加到鏈輪齒161和162上，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件176相對于旋轉(zhuǎn)軸部分177沿箭頭T所示的方向旋轉(zhuǎn)，從而移動體175在箭頭U所示的方向上沿著鏈輪齒161和162的內(nèi)部錐形表面移動。憑此操作，鏈輪齒161和162的上部向外傾斜，從而從形成在載帶11中的孔42向上伸出的銷164沿箭頭R所示的方向移動。
此外，在圖25所示的實(shí)例中，電磁鐵94運(yùn)行，使鏈輪齒161和162的下部沿箭頭Q所示的方向被磁力驅(qū)動從而傾斜。結(jié)果，從形成在載帶11中的孔42向上伸出的銷164沿圖25所示的箭頭N方向移動。
在圖26所示的實(shí)例中，通過氣缸93使具有夾具164的鏈輪齒161和162沿箭頭N所示的方向移動。
通過這樣的載帶開啟過程，載帶11沿箭頭N(見圖19)所示的方向彈性延伸，從而能在載帶11的元件接收部分38中接收半導(dǎo)體器件36。
在圖27到圖30所示的實(shí)例中，當(dāng)載帶110或200的指定元件接收部分38(應(yīng)接收和放置半導(dǎo)體器件38)位于用于裝載/卸載的敝口部分17下面時，載帶110或200的側(cè)壁部分沿箭頭N所示的方向彈性延伸，從而半導(dǎo)體器件36能插入載帶110或200的元件接收部分38中。
在此狀態(tài)中，通過附著頭或類似構(gòu)件，半導(dǎo)體器件36從載帶11的頂部壁41-1和41-2(見圖7)插入，從而半導(dǎo)體器件36被接收在載帶11的元件接收部分38中。
然后，載帶11的側(cè)壁40-1和40-2(見圖7)返回到初始位置，從而元件接收部分38中接收的半導(dǎo)體器件36被側(cè)壁40-1和40-2固定。
在圖20所示的實(shí)例中，結(jié)束由氣缸93驅(qū)動的夾具95沿箭頭N所示方向的移動。
在圖21所示的實(shí)例中，結(jié)束電磁鐵94的運(yùn)行，致使夾具95的傾斜終止，從而銷90下降。
在圖23所示的實(shí)例中，停止推動傾斜引起部分170，從而終止鏈輪齒161和162的傾斜。
在圖24所示的實(shí)例中，移動體175沿與箭頭U所示方向相反的方向移動，從而終止鏈輪齒161和162的傾斜。
在圖25所示的實(shí)例中，結(jié)束電磁鐵94的運(yùn)行，從而終止鏈輪齒161和162的傾斜。
在圖26所示的實(shí)例中，終止由氣缸93驅(qū)動的鏈輪齒161和162沿箭頭N所示方向的移動。
接著，關(guān)閉半導(dǎo)體器件接收裝置10的用于裝載/卸載的敞口部分17(77)。
在圖9所示的結(jié)構(gòu)中，停止驅(qū)動氣缸54，且第一門52沿箭頭H所示的方向從開口部分50處滑動，以便用于裝載/卸載的敞口部分17關(guān)閉。
在圖10所示的結(jié)構(gòu)中，關(guān)閉第一孔機(jī)構(gòu)體60，以便用于裝載/卸載的敝口部分17關(guān)閉。
在圖17所示的結(jié)構(gòu)中，位于用于裝載/卸載的敝口77的下表面處的第二門57關(guān)閉，然后，位于用于裝載/卸載的敞口部分77的上表面處的第一門52關(guān)閉。
在圖18所示的結(jié)構(gòu)中，位于用于裝載/卸載的敞口77的下表面處的第二孔機(jī)構(gòu)體80關(guān)閉，然后，位于用于裝載/卸載的敞口部分77的上表面處的第一孔機(jī)構(gòu)體60關(guān)閉。
之后，沿圖4的箭頭C所示的方向，載帶11移動一個間距，以便另一個半導(dǎo)體器件能接收到載帶11的元件接收部分中。
接下來，討論往/從載帶裝載/卸載半導(dǎo)體器件的方法。
這里，將第一卷軸13用作載帶11的供帶卷軸，以及將第二卷軸15用作載帶11的卷帶卷軸。
換句話說，在半導(dǎo)體器件的接收裝置10中，預(yù)先纏繞在第一卷軸13上的載帶11沿單一方向運(yùn)行(例如，圖4的箭頭C所示的方向)，以便半導(dǎo)體器件36插入且接收到載帶11的元件接收部分38中，并且載帶11纏繞在第二卷軸15中。
除此之外，纏繞在第二卷軸15上的載帶11沿與上述單一方向相反的方向運(yùn)行(例如，沿與圖4的箭頭C所示方向相反的方向)，以便半導(dǎo)體器件36從載帶11的元件接收部分38中取出，并且空載的載帶11纏繞在第一卷軸13中。
空載的載帶11再次以單一方向運(yùn)行，以便半導(dǎo)體器件36插入且接收到載帶11的元件接收部分38中。因此，依照此方法，載帶11能重復(fù)使用。
在充滿來自進(jìn)氣口24的氣體的半導(dǎo)體器件接收裝置10中，載帶11沿與箭頭C所示方向相反的方向運(yùn)行。當(dāng)需取出的半導(dǎo)體器件36位于用于裝載/卸載的敞口部分17下面時，設(shè)置在載帶11下面的第一傳感器20和/或設(shè)置在半導(dǎo)體器件接收裝置10的上表面處的窗22附近的第二傳感器21，可以檢測到半導(dǎo)體器件是否接收到載帶11的元件接收部分中。
如果發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體器件36被接收到載帶11的元件接收部分38中，用于裝載/卸載的敞口部分17開啟。
同時，載帶拉伸機(jī)構(gòu)19運(yùn)行，以便通過附著夾具，將放置在載帶11的元件接收部分38內(nèi)的半導(dǎo)體器件36，從載帶11的頂部壁41-1和41-2形成的開口部分46取出。見圖7。
然后，側(cè)壁40-1和40-2(見圖7)彈性返回到初始位置。
接著，半導(dǎo)體器件接收裝置10的用于裝載/卸載的敞口部分17(77)關(guān)閉。
在圖9或圖10所示的結(jié)構(gòu)中，采用與半導(dǎo)體器件36插入載帶11的元件接收部分38中的情況相同的方法，關(guān)閉用于裝載/卸載的敞口部分17。
在圖17或圖18所示的結(jié)構(gòu)中，在半導(dǎo)體器件36由附著夾具從載帶11拾取之后，位于用于裝載/卸載的敞口的77的下表面處的第二門57或第二孔機(jī)構(gòu)體80關(guān)閉。
然后，附著夾具進(jìn)一步上升，從而在半導(dǎo)體器件36從半導(dǎo)體器件接收裝置10取出之后，位于用于裝載/卸載的敞口部分77的上表面處的第一門52或第一孔機(jī)構(gòu)體60關(guān)閉。
在這種情況下，與用于裝載/卸載的敞口部分77上表面處僅僅設(shè)置第一門52或第一孔機(jī)構(gòu)體60的情況相比，能確保半導(dǎo)體器件接收裝置10內(nèi)部的密封性，且在用于裝載/卸載的敞口部分77開啟或關(guān)閉時，避免半導(dǎo)體器件接收裝置10的內(nèi)部壓力的減少。因此，可以減少半導(dǎo)體器件接收裝置100對來自進(jìn)氣口部分24的氣體的消耗量。
之后，載帶11沿圖4的箭頭C所示的方向移動一個間距，以便另一個半導(dǎo)體器件能插入載帶11的元件接收部分中。
因此，由于此實(shí)施例半導(dǎo)體器件接收裝置的內(nèi)部具有密封結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體器件36能免遭灰塵或外來顆粒。
除此之外，在半導(dǎo)體器件接收裝置中，容納半導(dǎo)體器件的載帶能容易和彈性地拉伸，從而開啟用于裝載/卸載的敞口部分，以便能容易且有效地往/從載帶裝載/卸載半導(dǎo)體器件。
除此之外，在半導(dǎo)體器件接收到在半導(dǎo)體器件接收裝置中的狀態(tài)下，運(yùn)送半導(dǎo)體器件。因此，獲得良好的運(yùn)送能力。因此，避免了運(yùn)送費(fèi)用的增加。而且，載帶能重復(fù)使用。
除此之外，半導(dǎo)體器件接收裝置具有耐熱能力。因此，在加熱過程如烘焙施加給半導(dǎo)體器件的情況下，不需要將半導(dǎo)體器件再填塞進(jìn)另外的接收裝置或類似的裝置內(nèi)。對半導(dǎo)體器件的加熱過程能在半導(dǎo)體器件接收到半導(dǎo)體器件接收裝置中的情況下實(shí)施。
本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明的精神范圍內(nèi)，可以進(jìn)行各種變化和改型。
例如，在半導(dǎo)體器件接收裝置10中，纏繞載帶11的方法不局限于圖4所示的方式。如圖31所示，為半導(dǎo)體器件接收裝置內(nèi)在結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，纏繞載帶的方式不同于圖4所示的半導(dǎo)體器件接收裝置的纏繞載帶的方式，第二卷軸15能以與第一卷軸13的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，以便載帶11上放置半導(dǎo)體器件36的表面能面對第一卷軸13或第二卷軸15的內(nèi)側(cè)。
本申請基于在2005年12月27日提交的在先日本專利申請No.2005-375681并要求其優(yōu)先權(quán)，在此通過參考援引該申請的全部內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種具有密封結(jié)構(gòu)的電子器件接收裝置，包括條帶，用于將電子器件接收到電子器件接收裝置中；其中，條帶彈性容納電子器件并在電子器件接收裝置內(nèi)部運(yùn)行；用于裝載/卸載的敞口部分和條帶拉伸機(jī)構(gòu)設(shè)置在電子器件接收裝置內(nèi)部；用于裝載/卸載的敞口部分設(shè)置在條帶上方，從而將電子器件裝載到條帶上和從條帶上卸載；用于裝載/卸載的敞口部分配置有開啟電子器件接收裝置的開口部分，以及條帶拉伸部分在與條帶的運(yùn)行方向基本垂直的方向上拉伸條帶。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，其中，用于裝載/卸載的敞口部分包括門；以及通過在水平方向上滑動該門，用于裝載/卸載的敞口部分的開口部分開啟和關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，其中，用于裝載/卸載的敞口部分包括孔機(jī)構(gòu)部分；以及通過在同一平面上旋轉(zhuǎn)孔機(jī)構(gòu)部分的孔翼，用于裝載/卸載的敞口部分的開口部分開啟和關(guān)閉。
4.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，其中，用于裝載/卸載的敞口部分包括第一門和第二門；第一門設(shè)置在位于用于裝載/卸載的敞口部分上表面的開口部分處；第二門設(shè)置在用于裝載/卸載的敞口部分的下表面；以及通過在水平方向上滑動第一門和第二門，用于裝載/卸載的敞口部分的開口部分開啟和關(guān)閉。
5.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，其中，用于裝載/卸載的敞口部分包括第一孔機(jī)構(gòu)體和第二孔機(jī)構(gòu)體；第一孔機(jī)構(gòu)體設(shè)置在位于用于裝載/卸載的敞口部分上表面的開口部分處；第二孔機(jī)構(gòu)體設(shè)置在用于裝載/卸載的敞口部分的下表面；以及通過在同一平面上旋轉(zhuǎn)第一孔機(jī)構(gòu)體的孔翼和第二孔機(jī)構(gòu)體的孔翼，用于裝載/卸載的敞口部分的開口部分開啟和關(guān)閉。
6.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，其中，在條帶的側(cè)邊緣部分中形成有孔；以及條帶拉伸機(jī)構(gòu)包括夾具和夾具移動構(gòu)件，夾具具有插入條帶的孔內(nèi)的銷，夾具移動構(gòu)件在與條帶運(yùn)行方向基本垂直的方向上移動夾具。
7.根據(jù)權(quán)利要求
6所述的電子器件接收裝置，其中，夾具移動構(gòu)件為氣缸。
8.根據(jù)權(quán)利要求
6所述的電子器件接收裝置，其中，夾具移動構(gòu)件為電磁鐵。
9.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，其中，在條帶的側(cè)邊緣部分中形成有孔；以及條帶拉伸機(jī)構(gòu)包括鏈輪齒和鏈輪齒傾斜構(gòu)件，鏈輪齒具有插入條帶的孔內(nèi)的銷，鏈輪齒傾斜構(gòu)件使鏈輪齒傾斜從而銷在與條帶的運(yùn)行方向基本垂直的方向上移動。
10.根據(jù)權(quán)利要求
9所述的電子器件接收裝置，其中，鏈輪齒傾斜構(gòu)件為設(shè)置在電子器接收裝置側(cè)表面處的偏心引起部分；以及通過推動偏心引起部分該鏈輪齒傾斜，從而推動力傳遞到鏈輪齒上。
11.根據(jù)權(quán)利要求
9所述的電子器件接收裝置，其中，鏈輪齒傾斜構(gòu)件為移動體，該移動體具有指定角度的錐形部分且與鏈輪齒相接觸；以及通過向上或向下移動移動體，鏈輪齒傾斜。
12.根據(jù)權(quán)利要求
9所述的電子器件接收裝置，其中，鏈輪齒傾斜構(gòu)件為氣缸。
13.根據(jù)權(quán)利要求
9所述的電子器件接收裝置，其中，鏈輪齒傾斜構(gòu)件為電磁鐵。
14.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，其中，在條帶的側(cè)邊緣部分中形成有多個孔；以及多個孔之一在條帶的與容納電子器件的部分相鄰的部分內(nèi)形成，且比其它孔更位于內(nèi)側(cè)。
15.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，其中，運(yùn)行條帶的軌設(shè)置在電子器件接收裝置內(nèi)部；該軌具有直線部分和彎曲部分，直線部分在條帶的運(yùn)行方向上延伸，彎曲部分向條帶的運(yùn)行方向外側(cè)彎曲；以及條帶的側(cè)邊緣部分彎曲成接收該軌的圓弧形軌接收部分。
16.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子器件接收裝置，還包括檢測部分，用于檢測電子器件是否放置在位于用于裝載/卸載的敞口部分下面的部分處。
17.一種在電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法，該電子器件接收裝置具有密封結(jié)構(gòu)，通過使用條帶將電子器件接收到密封結(jié)構(gòu)中，該條帶能夠彈性容納電子器件且在電子器件接收裝置內(nèi)部運(yùn)行，該方法包括步驟當(dāng)條帶的指定部分位于用于裝載/卸載的敞口部分之下時，開啟電子器件接收裝置的用于裝載/卸載的敞口部分；以及在與條帶的運(yùn)行方向基本垂直的方向上，拉伸電子器件接收裝置內(nèi)部的條帶，從而將電子器件裝載到條帶上和從條帶上卸載。
18.根據(jù)權(quán)利要求
17所述的在電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法，還包括步驟關(guān)閉用于裝載/卸載的敞口部分；其中，在關(guān)閉用于裝載/卸載的敞口部分的步驟中，在從條帶取出電子器件之后，關(guān)閉用于裝載/卸載的敞口部分的下表面，以及從電子器件接收裝置中拾取電子器件，然后關(guān)閉用于裝載/卸載的敞口部分的上表面。
19.根據(jù)權(quán)利要求
17所述的在電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法，其中，基于在條帶的指定部分對電子器件的檢測結(jié)果，來實(shí)施開啟用于裝載/卸載的敞口部分的步驟，其中，該指定部分位于用于裝載/卸載的敞口部分之下。
20.根據(jù)權(quán)利要求
17所述的在電子器件接收裝置裝載/卸載電子器件的方法，其中，當(dāng)條帶以第一方向運(yùn)行且纏繞時，電子器件裝載到條帶上；以及當(dāng)條帶以與第一方向相反的第二方向運(yùn)行時，電子器件從條帶上卸載。
專利摘要
一種具有密封結(jié)構(gòu)的電子器件接收裝置，包括能將電子器件接收到電子器件接收裝置中的條帶。該條帶彈性容納電子器件且在電子器件接收裝置內(nèi)部運(yùn)行。用于裝載/卸載的敞口部分和條帶拉伸機(jī)構(gòu)設(shè)置在電子器件接收裝置內(nèi)部。用于裝載/卸載的敞口部分設(shè)置在條帶上方，從而將電子器件裝載到條帶上和從條帶上卸載。用于裝載/卸載的敞口部分配置有開啟電子器件接收裝置的開口部分。條帶拉伸部分在與條帶的運(yùn)行方向基本垂直的方向上拉伸條帶。
文檔編號H01L21/67GK1993034SQ200610059654
公開日2007年7月4日 申請日期2006年3月17日
發(fā)明者橋場英靖, 安藤幸男, 笹村計一, 矢崎健一, 濱中雄三 申請人:富士通株式會社導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan