本發(fā)明涉及聲表面波器件，具體涉及一種聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)及抑制方法。

背景技術(shù)：

1、采用聲表面波(saw＝surface?acoustic?wave,表面聲波)工作的射頻濾波器器件，將射頻信號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波并且反過來(lái)將聲波轉(zhuǎn)換成射頻信號(hào)，實(shí)現(xiàn)射頻信號(hào)濾波功能，是現(xiàn)今通信設(shè)備的關(guān)鍵元器件。

2、聲波是借助物理媒質(zhì)傳輸?shù)臋C(jī)械振動(dòng)，因物理媒質(zhì)的性質(zhì)不同，聲波傳輸特性各異。因研究地下地震給人類造成重大破壞發(fā)現(xiàn)了聲表面波，其特征是：聲波能量?jī)H在固體表面數(shù)個(gè)聲波長(zhǎng)層內(nèi)傳輸，傳輸損耗低，由此開始了聲表面波的工程應(yīng)用。

3、聲表面波器件，就是基于壓電材料的(逆)壓電效應(yīng)，利用壓電材料表面的聲表面波工作的電子器件，它采用壓電材料表面制作的叉指換能器(一種金屬電極周期結(jié)構(gòu)，其形狀如同雙手交叉)在其表面產(chǎn)生和接收聲表面波。在相關(guān)器件理論指導(dǎo)下，設(shè)計(jì)叉指換能器的電極周期、孔徑和截面幾何，可實(shí)現(xiàn)預(yù)定的電性能。

4、聲表面波器件的結(jié)構(gòu)一般包括襯底層、壓電層和電極指條層，而電極指條層包括匯流排、假指組件和指條組件，聲表面波器件的雜波模式抑制設(shè)計(jì)主要包括寄生雜波和橫向雜波模式抑制設(shè)計(jì)，其中，寄生雜波模式抑制取決于其壓電材料及其切向、電極材料及尺寸、膜層拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)等，而橫向雜波模式抑制取決于指條和孔徑方向上的結(jié)構(gòu)、材料設(shè)計(jì)。隨著高速移動(dòng)通訊對(duì)低損耗、高平坦度等高性能聲表面波器件的需求越來(lái)越高，實(shí)現(xiàn)聲表面波器件的雜波模式抑制也成為了急需解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：如何提供一種在抑制各階次雜波模式寄生的同時(shí)，還可激發(fā)高q值聲波模式，實(shí)現(xiàn)聲表面波器件的低損耗、通帶高平坦度等性能的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)及抑制方法。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

3、一種聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，包括匯流排、假指組件、間隙和指條組件，其特征在于，所述指條組件包括沿軸向設(shè)置的多個(gè)指條，所述假指組件包括沿軸向設(shè)置的多個(gè)假指部件，所述指條與所述假指部件一一對(duì)應(yīng)，所述假指部件包括沿豎向方向設(shè)置的至少一個(gè)假指，且每個(gè)所述假指不同位置的軸向?qū)挾炔煌耆嗟取?/p>

4、優(yōu)選的，所述假指部件與所述指條相鄰的邊具有與對(duì)應(yīng)位置所述指條相等的軸向?qū)挾取?/p>

5、優(yōu)選的，所述假指包括遠(yuǎn)離所述指條方向的第一臺(tái)階部和靠近所述指條方向的第二臺(tái)階部，所述第一臺(tái)階部和所述第二臺(tái)階部均整體呈矩形結(jié)構(gòu)，且所述第一臺(tái)階部的軸向?qū)挾却笥谒龅诙_(tái)階部的軸向?qū)挾取?/p>

6、優(yōu)選的，所述假指部件包括沿豎向方向設(shè)置的多個(gè)假指，且從遠(yuǎn)離所述指條的位置到靠近所述指條的位置，多個(gè)所述假指的最大軸向?qū)挾戎饾u減小。

7、優(yōu)選的，所述假指包括遠(yuǎn)離所述指條方向的第一臺(tái)階部和靠近所述指條方向的第二臺(tái)階部，所述第一臺(tái)階部和所述第二臺(tái)階部均整體呈矩形結(jié)構(gòu)，且所述第一臺(tái)階部的軸向?qū)挾刃∮谒龅诙_(tái)階部的軸向?qū)挾取?/p>

8、優(yōu)選的，所述假指部件包括沿豎向方向設(shè)置的多個(gè)假指，且從遠(yuǎn)離所述指條的位置到靠近所述指條的位置，多個(gè)所述假指的最大軸向?qū)挾戎饾u增大。

9、優(yōu)選的，所述假指的軸向?qū)挾葟倪h(yuǎn)離所述指條的一端向靠近所述指條的一端逐漸減小。

10、優(yōu)選的，所述假指的軸向?qū)挾葟倪h(yuǎn)離所述指條的一端向靠近所述指條的一端逐漸增大。

11、優(yōu)選的，所述假指部件遠(yuǎn)離所述指條的一端與所述匯流排連接，所述指條遠(yuǎn)離所述假指的一端與所述匯流排連接，且相鄰兩個(gè)所述假指部件在軸向方向錯(cuò)位設(shè)置，相鄰兩個(gè)所述指條在軸向方向錯(cuò)位設(shè)置。

12、一種聲表面波器件橫向雜波模式抑制方法，采用上述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過對(duì)匯流排、假指組件、間隙、指條組件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)，使得孔徑方向呈現(xiàn)不連續(xù)結(jié)構(gòu)從而導(dǎo)致聲阻抗差異，這種差異導(dǎo)致聲波反射，將主模約束在指條區(qū)域，極大激發(fā)了主要模態(tài)，抑制了橫向模態(tài)，此外在實(shí)現(xiàn)抑制各階次雜波模式寄生的同時(shí)，還可實(shí)現(xiàn)低損耗、高q值。由此，有利于實(shí)現(xiàn)聲表面波濾波器的低損耗、通帶高平坦度等性能，滿足了高速移動(dòng)通訊和國(guó)防軍工等終端對(duì)高性能表面波濾波器的要求，且該結(jié)構(gòu)使用的制備工藝容易實(shí)現(xiàn)，易于大規(guī)模推廣。

技術(shù)特征：

1.一種聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，包括匯流排、假指組件、間隙和指條組件，其特征在于，所述指條組件包括沿軸向設(shè)置的多個(gè)指條，所述假指組件包括沿軸向設(shè)置的多個(gè)假指部件，所述指條與所述假指部件一一對(duì)應(yīng)，所述假指部件包括沿豎向方向設(shè)置的至少一個(gè)假指，且每個(gè)所述假指不同位置的軸向?qū)挾炔煌耆嗟取?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述假指部件與所述指條相鄰的邊具有與對(duì)應(yīng)位置所述指條相等的軸向?qū)挾取?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述假指包括遠(yuǎn)離所述指條方向的第一臺(tái)階部和靠近所述指條方向的第二臺(tái)階部，所述第一臺(tái)階部和所述第二臺(tái)階部均整體呈矩形結(jié)構(gòu)，且所述第一臺(tái)階部的軸向?qū)挾却笥谒龅诙_(tái)階部的軸向?qū)挾取?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述假指部件包括沿豎向方向設(shè)置的多個(gè)假指，且從遠(yuǎn)離所述指條的位置到靠近所述指條的位置，多個(gè)所述假指的最大軸向?qū)挾戎饾u減小。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述假指包括遠(yuǎn)離所述指條方向的第一臺(tái)階部和靠近所述指條方向的第二臺(tái)階部，所述第一臺(tái)階部和所述第二臺(tái)階部均整體呈矩形結(jié)構(gòu)，且所述第一臺(tái)階部的軸向?qū)挾刃∮谒龅诙_(tái)階部的軸向?qū)挾取?/p>

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述假指部件包括沿豎向方向設(shè)置的多個(gè)假指，且從遠(yuǎn)離所述指條的位置到靠近所述指條的位置，多個(gè)所述假指的最大軸向?qū)挾戎饾u增大。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述假指的軸向?qū)挾葟倪h(yuǎn)離所述指條的一端向靠近所述指條的一端逐漸減小。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述假指的軸向?qū)挾葟倪h(yuǎn)離所述指條的一端向靠近所述指條的一端逐漸增大。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述假指部件遠(yuǎn)離所述指條的一端與所述匯流排連接，所述指條遠(yuǎn)離所述假指的一端與所述匯流排連接，且相鄰兩個(gè)所述假指部件在軸向方向錯(cuò)位設(shè)置，相鄰兩個(gè)所述指條在軸向方向錯(cuò)位設(shè)置。

10.一種聲表面波器件橫向雜波模式抑制方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1到9任一所述的聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種聲表面波器件橫向雜波模式抑制結(jié)構(gòu)及抑制方法，該抑制結(jié)構(gòu)包括匯流排、假指組件、間隙和指條組件，所述指條組件包括沿軸向設(shè)置的多個(gè)指條，所述假指組件包括沿軸向設(shè)置的多個(gè)假指部件，所述指條與所述假指部件一一對(duì)應(yīng)，所述假指部件包括沿豎向方向設(shè)置的至少一個(gè)假指，且每個(gè)所述假指不同位置的軸向?qū)挾炔煌耆嗟取１景l(fā)明通過優(yōu)化對(duì)匯流排、假指組件、間隙、指條組件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)抑制各階次雜波模式寄生的同時(shí)，可激發(fā)高Q值聲波模式。由此，有利于實(shí)現(xiàn)聲表面波濾波器的低損耗、通帶高平坦度等性能，滿足了高速移動(dòng)通訊和國(guó)防軍工等終端對(duì)高性能表面波濾波器的要求，且該結(jié)構(gòu)使用的制備工藝容易實(shí)現(xiàn)，易于大規(guī)模推廣。

技術(shù)研發(fā)人員：羅文汀,陳平靜,陳華志,賀藝,陳彥光,徐瑞豪,張婷楊,羅鴻飛,肖強(qiáng),高鈺奇,胡丞稷,賀貞,潘祺
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19