技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種基于熱電子發(fā)射陰極的等離子體發(fā)生裝置。該裝置包括：等離子體發(fā)生單元、加熱單元和供氣單元。所述加熱單元包括電熱件、高溫絕緣套管、絕緣隔熱組件、接線端子和電源；熱電子發(fā)射陰極、陽極筒、高壓電源和高壓接線端子；供氣單元包含高壓氣罐和氣管。該裝置可在常壓環(huán)境下提供高密度等離子體。該裝置具有如下有優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單、體積小、造價成本低，產(chǎn)生等離子體密度大和無臭氧等副產(chǎn)物產(chǎn)生。本發(fā)明還具有成本相對較低、結(jié)構(gòu)簡單，可便攜移動，靈活度高等優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員：張明;王鵬宇;李傳;楊勇
受保護的技術(shù)使用者：華中科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.20
技術(shù)公布日：2017.09.19