技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于電子科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種具有多對驅(qū)動感應(yīng)電極的電容式MEMS諧振器，用以克服現(xiàn)有電容式諧振器輸出電流小、帶負(fù)載能力差的問題；本發(fā)明MEMS諧振器，包括1個振動塊、4個振動塊支撐梁、4個振動塊錨點、4個輸入輸出電極、4個電極支撐梁及4個電極錨點，通過對振動塊進行分區(qū)摻雜、及輸入輸出電極摻雜的方法，構(gòu)造四對驅(qū)動感應(yīng)電極，使諧振器工作時的靜電力大幅增加，從而使諧振器的輸出電流和最大振動幅度也大幅增加，提高了諧振器的驅(qū)動能力。

技術(shù)研發(fā)人員：鮑景富;秦風(fēng);李昕熠;鮑飛鴻;張翼;張亭
受保護的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.23
技術(shù)公布日：2017.07.28