技術編號：11657071
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于電子科學技術領域，涉及射頻微機電系統(tǒng)(RFMEMS器件，尤其是電容式MEMS諧振器，具體提供一種具有多對驅(qū)動感應電極的電容式MEMS諧振器。背景技術諧振器是電子設備中的關鍵器件之一，目前電子設備中使用的主要是石英晶體諧振器，但隨著對電子設備高性能、小型化的進一步要求，石英晶體諧振器的大體積、高功耗和無法與IC工藝兼容等缺點變得非常凸顯。靜電驅(qū)動電容式MEMS諧振器是一種基于微機械工藝和微機械振動的高性能諧振器器件，它具有體積小、低功耗、與IC工藝兼容的優(yōu)點，使得其在系統(tǒng)小型化發(fā)展過程中...
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該類技術注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。