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水晶振子以及水晶振動(dòng)器件的制作方法

文檔序號(hào):11290516閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
水晶振子(100)包含:AT切割水晶基板(10),包括具有主面的振動(dòng)部(40)和被設(shè)置為包圍振動(dòng)部(40)且厚度比振動(dòng)部40薄的周邊部(50);激勵(lì)電極(30),形成于主面;以及延伸電極(32),與激勵(lì)電極(30)電連接,水晶基板(10)的長(zhǎng)邊方向是與Z'軸平行的方向,短邊方向是與X軸平行的方向,振動(dòng)部(40)具有與周邊部以銳角角度θ1相接的第一短邊側(cè)側(cè)面(44b)和與第一短邊側(cè)側(cè)面(44b)鄰接并且在XZ'面從X軸傾斜地形成的錐形側(cè)面(42),錐形側(cè)面(42)以角度θ'(θ'>θ1)與周邊部(50)相接,延伸電極(32)從激勵(lì)電極(30)通過(guò)錐形側(cè)面(42)的至少一部分延伸到長(zhǎng)邊方向一個(gè)短邊側(cè)而形成。

技術(shù)研發(fā)人員:開(kāi)田弘明;上慶一;能登和幸
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日:2016.01.08
技術(shù)公布日:2017.09.26
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