本發(fā)明涉及水晶振子以及水晶振動(dòng)器件。

背景技術(shù)：

作為被應(yīng)用于振蕩裝置、帶通濾波器等的壓電振動(dòng)元件，正在廣泛應(yīng)用以厚度剪切振動(dòng)(thicknessshearvibration)為主振動(dòng)的水晶振子。另外，作為水晶振子的一種形式，已知有一種為了封閉(confine)厚度剪切振動(dòng)的振動(dòng)能量，而將振動(dòng)部蝕刻形成得比其周邊部厚的臺(tái)面型結(jié)構(gòu)(mesa-structure)。在這樣的臺(tái)面型結(jié)構(gòu)中，在振動(dòng)部的兩個(gè)主面形成激勵(lì)電極，并形成與激勵(lì)電極電連接的延伸電極。該情況下，延伸電極通過由振動(dòng)部和周邊部形成的階梯差而延伸。

然而，由于由振動(dòng)部和周邊部形成的階梯差的剖面形狀通常是由水晶結(jié)晶軸的朝向來決定的，所以在振動(dòng)部的側(cè)面與周邊部的面所成的角為銳角的一側(cè)，有電極斷線的可能性，且存在難以限制電極的延伸方向、或者從電連接可靠性的觀點(diǎn)難以維持穩(wěn)定的品質(zhì)的情況。

另一方面，例如公知如專利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)那樣，使與激勵(lì)電極電連接的電極朝向振動(dòng)部的側(cè)面與周邊部的面所成的角為鈍角的一側(cè)(短邊方向上的一個(gè)長邊側(cè))延伸，但在這樣的結(jié)構(gòu)中，存在使電極超過激勵(lì)電極的寬度方向向外延伸而妨礙水晶振子的小型化的可能性。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2008-236439號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于這樣的情況而完成的，其目的在于，不妨礙小型化地實(shí)現(xiàn)電連接可靠性的提高。

本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的水晶振子包含：at切割水晶基板，是在將圍繞作為水晶的結(jié)晶軸的x軸、y軸、z軸中的x軸，從z軸旋轉(zhuǎn)了規(guī)定的角度的軸作為z'軸的情況下，以與由x軸及z'軸確定的面平行的面為主面而切取的at切割水晶基板，并包含具有主面的振動(dòng)部、和被設(shè)置為包圍振動(dòng)部且厚度比振動(dòng)部薄的周邊部；激勵(lì)電極，形成于主面；以及延伸電極，與激勵(lì)電極電連接，at切割水晶基板具有長邊方向和短邊方向，長邊方向是與z'軸平行的方向，短邊方向是與x軸平行的方向，振動(dòng)部具有：在長邊方向上的一個(gè)短邊側(cè)以銳角角度θ1與周邊部相接的第一短邊側(cè)側(cè)面；以及與第一短邊側(cè)側(cè)面鄰接，并且在由x軸和z'軸確定的俯視下從x軸傾斜地形成的錐形側(cè)面(taperedlateralsurface)，錐形側(cè)面以大于θ1的角度θ'與周邊部相接，延伸電極從激勵(lì)電極通過錐形側(cè)面的至少一部分延伸到長邊方向的一個(gè)短邊側(cè)而形成。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，延伸電極通過振動(dòng)部的錐形側(cè)面的至少一部分延伸到長邊方向的一個(gè)短邊側(cè)而形成。由此，由于延伸電極能夠以相對(duì)平緩的角度延伸而形成，所以不限制電極的延伸方向，能夠防止電極斷線，且從連接可靠性的觀點(diǎn)出發(fā)可維持穩(wěn)定的品質(zhì)。另外，由于也無需特別寬廣地形成水晶基板的周邊部的區(qū)域，所以也不會(huì)妨礙水晶振子的小型化。因此，能夠不妨礙小型化地實(shí)現(xiàn)電連接可靠性的提高。

在上述水晶振子中，振動(dòng)部也可以具有在長邊方向上的另一個(gè)短邊側(cè)與周邊部相接的第二短邊側(cè)側(cè)面，錐形側(cè)面分別與第一短邊側(cè)側(cè)面以及第二短邊側(cè)側(cè)面鄰接而形成。

在上述水晶振子中，振動(dòng)部也可以具有在短邊方向上的一個(gè)長邊側(cè)與周邊部相接的第一長邊側(cè)側(cè)面，錐形側(cè)面與第一短邊側(cè)側(cè)面以及第一長邊側(cè)側(cè)面的每一個(gè)鄰接而形成。

在上述水晶振子中，延伸電極也可以比錐形側(cè)面寬幅地形成，以便形成于錐形側(cè)面的整個(gè)面，并且到達(dá)第一短邊側(cè)側(cè)面的一部分以及第一長邊側(cè)側(cè)面的一部分。

在上述水晶振子中，at切割水晶基板具有表面以及背面，也可以在從由x軸和z'軸確定的俯視下，振動(dòng)部的表面的外形以z'軸為基準(zhǔn)，與振動(dòng)部的背面的外形成線對(duì)稱。

本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的水晶器件具備：基底部件；蓋部件，與基底部件連接以構(gòu)成密封的內(nèi)部空間；以及上述水晶振子，被收容于內(nèi)部空間。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于具備上述水晶振子，所以能夠不妨礙小型化地實(shí)現(xiàn)電連接可靠性的提高。

根據(jù)本發(fā)明，能夠不妨礙小型化地實(shí)現(xiàn)電連接可靠性的提高。

附圖說明

圖1a～c是用于對(duì)本實(shí)施方式所涉及的水晶振子進(jìn)行說明的圖。

圖2是圖1的ⅱ-ⅱ線剖視圖。

圖3是圖1的ⅲ-ⅲ線剖視圖。

圖4是圖1的ⅳ-ⅳ線剖視圖。

圖5是用于對(duì)本實(shí)施方式所涉及的水晶振動(dòng)器件進(jìn)行說明的簡(jiǎn)要立體圖。

圖6是用于對(duì)本實(shí)施方式所涉及的水晶振動(dòng)器件進(jìn)行說明的剖視圖。

圖7是用于對(duì)本實(shí)施方式的變形例所涉及的水晶振子進(jìn)行說明的圖。

圖8是用于對(duì)本實(shí)施方式的其他變形例所涉及的水晶振子進(jìn)行說明的圖。

圖9是用于對(duì)本實(shí)施方式的其他變形例所涉及的水晶振子進(jìn)行說明的圖。

圖10是圖9的x-x線剖視圖。

具體實(shí)施方式

以下，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的附圖的記載中，對(duì)于相同或者類似的構(gòu)成要素用相同或者類似的附圖標(biāo)記來表示。附圖是例示，各部的尺寸、形狀是示意性的，不應(yīng)理解為將本申請(qǐng)發(fā)明的技術(shù)范圍限定于該實(shí)施方式。

圖1a～c是用于對(duì)本實(shí)施方式所涉及的水晶振子進(jìn)行說明的圖，具體而言，圖1a以及b是俯視圖，圖1c是圖1a的ic-ic線剖視圖。

本實(shí)施方式所涉及的水晶振子100具備水晶基板10、以及形成于水晶基板10的激勵(lì)電極20、30。

水晶基板10是由通過at切割而形成的水晶構(gòu)成。at切割的水晶基板10是在將作為人工水晶的結(jié)晶軸的x軸、y軸、z軸中的y軸以及z軸繞x軸從y軸向z軸的方向旋轉(zhuǎn)了35度15分而得的軸分別作為y'軸和z'軸的情況下，以與由x軸以及z'軸確定的面(以下，稱為“xz'面”。對(duì)于由其他軸確定的面也是一樣的。)平行的面作為主面切取而成的。使用了at切割水晶基板的水晶振子在較寬的溫度范圍內(nèi)具有極高的頻率穩(wěn)定性，另外，隨時(shí)間變化的特性也良好，并且能夠以低成本制造。另外，at切割水晶振子大多將厚度剪切振動(dòng)模式(thicknessshearmode)作為主振動(dòng)來使用。

水晶基板10具有平行于z'軸方向的長邊方向、平行于x方向的短邊方向以及平行于y'軸方向的厚度方向。如圖1a所示，水晶基板10在xz'面呈大致矩形形狀。其中，圖1a是y'軸正方向側(cè)(水晶基板的表面?zhèn)?的俯視圖，圖1b是y'軸負(fù)方向側(cè)(水晶基板的背面?zhèn)?的俯視圖。

水晶基板10具有：被構(gòu)成為進(jìn)行厚度剪切振動(dòng)的振動(dòng)部40、和被設(shè)置為包圍振動(dòng)部40的整周的周邊部50。如圖1c所示，振動(dòng)部40的厚度比周邊部50的厚度薄。另外，在振動(dòng)部40，在y'軸正方向側(cè)的主面形成有激勵(lì)電極20，并在y'軸的負(fù)方向側(cè)的主面形成有激勵(lì)電極30。如圖1a以及圖1b所示，各激勵(lì)電極20、30可以以比振動(dòng)部40的區(qū)域小的外形形成為從振動(dòng)部40的外緣設(shè)置空間、或者也可以形成為覆蓋振動(dòng)部40的各主面的區(qū)域整體。各激勵(lì)電極20、30作為一對(duì)電極，被配置為在xz'面大致整體重疊。

在水晶基板10形成有與激勵(lì)電極20電連接的延伸電極22以及與激勵(lì)電極30電連接的延伸電極32。如圖1a所示，延伸電極22在y'軸正方向側(cè)朝向水晶基板10的長邊方向的z'軸負(fù)方向側(cè)短邊延伸，進(jìn)一步通過周邊部50的側(cè)面而延伸到y(tǒng)'負(fù)方向側(cè)(參照?qǐng)D1b以及圖1c)。另一方面，如圖1b所示，延伸電極32在y'軸負(fù)方向側(cè)朝向水晶基板10的長邊方向的z'軸負(fù)方向側(cè)的短邊延伸。延伸電極22、32均沿著z'軸負(fù)方向側(cè)的短邊具有連接電極，在各連接電極設(shè)置有導(dǎo)電性粘合劑340、342，由此，激勵(lì)電極20、30能夠在y'軸負(fù)方向側(cè)且z'軸負(fù)方向側(cè)與外部實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)通。

包含激勵(lì)電極20、30的上述各電極例如可以用鉻(cr)層形成基底，并在鉻層的表面形成金(au)層，并不對(duì)其材料進(jìn)行限定。

接下來，參照?qǐng)D2～圖4，對(duì)水晶基板10的剖面形狀進(jìn)行說明。此處，圖2～圖4分別對(duì)應(yīng)于圖1b的ⅱ-ⅱ線剖視圖、ⅲ-ⅲ線剖視圖及ⅳ-ⅳ線剖視圖。

水晶基板10通常通過濕法蝕刻來形成。因此，水晶基板10被形成為xz'面上的平面形狀模仿掩模形狀，但與xz'面相垂直的剖面形狀依賴于蝕刻條件、水晶基板的結(jié)晶軸的朝向等而形成。即，由振動(dòng)部40和周邊部50形成的階梯差的剖面形狀在垂直于xz'面的剖面中的xy'面，形成為接近與主面相垂直的狀態(tài)，另一方面，在y'z'面上，如圖1c所示，以相對(duì)于主面相對(duì)較大地傾斜而形成。因此，在y'z'面上，振動(dòng)部40的側(cè)面在y'軸正方向側(cè)的z'軸負(fù)方向側(cè)的邊以比較大的鈍角與周邊部50接觸，相反，在y'軸負(fù)方向側(cè)的z'軸負(fù)方向側(cè)的邊以比較大的銳角與周邊部50接觸，在y'軸負(fù)方向側(cè)從激勵(lì)電極延伸出的電極有斷線的可能性。

鑒于此，在本實(shí)施方式中，在y'軸負(fù)方向側(cè)，在振動(dòng)部40形成錐形(taper)側(cè)面42，并使延伸電極32通過錐形側(cè)面42的至少一部分朝向z'軸負(fù)方向側(cè)的短邊延伸。

具體而言，如圖1b所示，在水晶基板10的背面?zhèn)?，振?dòng)部40具有z'軸正方向側(cè)的第二短邊側(cè)側(cè)面44a、z'軸負(fù)方向側(cè)的第一短邊側(cè)側(cè)面44b、x軸正方向側(cè)的第一長邊側(cè)側(cè)面46a、x軸負(fù)方向側(cè)的第二長邊側(cè)側(cè)面46b、以及與第一短邊側(cè)側(cè)面44b及第一長邊側(cè)側(cè)面46a的各個(gè)鄰接地形成并且在xz'面上從x軸傾斜形成的錐形側(cè)面42。振動(dòng)部40的上述多個(gè)側(cè)面分別與振動(dòng)部40的主面41以及周邊部50的主面51連接(參照?qǐng)D2～圖4)。另外，在圖1b所示的例子中，水晶基板10的振動(dòng)部40在xz'面上具有一個(gè)角部被切去而形成的五邊形的平面形狀。

在通過濕法蝕刻形成了水晶基板10的情況下，如上所述，由于其剖面形狀依賴于水晶的結(jié)晶軸的朝向等而形成，所以如圖2所示，z'軸負(fù)方向側(cè)的第一短邊側(cè)側(cè)面44b以銳角角度θ1與周邊部50的主面51接觸，另一方面，朝向越是從平行于x軸的線向平行于z'軸的線變化，振動(dòng)部40的側(cè)面與周邊部50的主面51所成的角度越大，如圖3所示，第一長邊側(cè)側(cè)面46a與周邊部50的主面51以角度θ2(這里，θ1＜θ2。)接觸。即，在通過濕法蝕刻形成了錐形側(cè)面42的情況下，錐形側(cè)面42與周邊部50的主面51所成的角θ'在θ1＜θ'＜θ2的范圍內(nèi)，且由錐形面的角度(xz'面上的偏離x軸的傾斜角度)、階梯差的高度(即，從周邊部50的主面51到振動(dòng)部40的主面41為止的高度)以及蝕刻條件等各因素來決定。

具體而言，角度θ1近似于由于at切割而偏離z'軸的角度35°15′(即原來的z軸)，例如，可以為33°＜θ1＜38°。另外，角度θ2近似于90°，例如，可以為85°＜θ2＜95°。若蝕刻時(shí)間長，則θ2會(huì)超過90°變得更于。另外，角度θ′依賴于錐形面的傾斜角度，例如，可以為50°＜θ′＜80°。對(duì)于這些角度而言，蝕刻時(shí)間長的情況與蝕刻時(shí)間短的情況相比，角度會(huì)變得較淺。

此外，也能夠使用代替或追加的其他方法，在θ1°＜θ'＜θ2°的范圍內(nèi)任意形成錐形側(cè)面42的角度θ′。

這里，也可以在除去了濕法蝕刻中所使用的掩模之后，另外使用金屬掩模通過濺射等同時(shí)或分別形成激勵(lì)電極和延伸電極。或者，也可以通過濺射形成用于對(duì)水晶基板進(jìn)行濕法蝕刻的掩模，并將其保持原樣作為激勵(lì)電極，并根據(jù)需要進(jìn)一步通過濺射等追加延伸電極。該情況下，激勵(lì)電極被形成為覆蓋振動(dòng)部的主面的全部區(qū)域。此外，也可以在通過濺射而形成的掩模上進(jìn)一步追加形成導(dǎo)電膜，并將其作為激勵(lì)電極。

這樣，在本實(shí)施方式中，延伸電極22、32中的形成于y′軸負(fù)方向側(cè)的延伸電極32通過錐形側(cè)面42的至少一部分朝向z′負(fù)方向側(cè)的短邊延伸形成。即，延伸電極32經(jīng)由作為比銳角角度θ1大的角度的θ′向周邊部50的主面51延伸。因此，由于即使在由振動(dòng)部40和周邊部50形成了階梯差的情況下，延伸電極32也會(huì)形成為以相對(duì)平緩的角度延伸，所以能夠防止電極斷線，并從電連接可靠性的觀點(diǎn)出發(fā)能夠維持穩(wěn)定的品質(zhì)。另外，根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于也無需特別寬地形成水晶基板10的周邊部50的區(qū)域，所以也不會(huì)妨礙水晶振子100的小型化。因此，能夠不妨礙小型化地實(shí)現(xiàn)電連接可靠性的提高。

此外，在上述中，水晶的結(jié)晶軸(x、y′、z′)以及其正方向和負(fù)方向的確定只不過是一個(gè)例子，在理解水晶振子的結(jié)構(gòu)時(shí)，不應(yīng)限定解釋。例如，在使水晶的結(jié)晶軸(x、y′、z′)繞x軸旋轉(zhuǎn)180°后的水晶基板(各軸的正負(fù)方向也相反。)也具有同樣的形狀(側(cè)面的銳角以及鈍角的形狀)時(shí)，也可以將本實(shí)施方式中所說明的內(nèi)容應(yīng)用于這樣的結(jié)構(gòu)。

接下來，參照?qǐng)D5以及圖6，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的水晶振動(dòng)器件進(jìn)行說明。這里，圖5是本實(shí)施方式所涉及的水晶振動(dòng)器件的分解立體圖，圖6是圖5的ⅵ-ⅵ線。其中，在圖5以及圖6中，對(duì)于水晶振子100簡(jiǎn)化進(jìn)行圖示，其詳細(xì)內(nèi)容如已經(jīng)說明的那樣。

本實(shí)施方式所涉及的水晶振動(dòng)器件1具備上述水晶振子100、蓋(lid)部件200以及基底部件300。蓋部件200以及基底部件300是用于收容水晶振子100的外殼或封裝。

蓋部件200具有以與基底部件300的第一面302對(duì)置的方式開口的凹部204。另外，蓋部件200具有凹部204的開口邊緣部202。蓋部件200可以由金屬材料、絕緣材料或它們的復(fù)合材料中的任意一種形成。另外，對(duì)于蓋部件200的外形形狀、凹部204的形狀或者開口邊緣部202的方式均不進(jìn)行限定。例如，開口邊緣部也可以是從凹部開口中心朝向開口邊緣從開口邊緣突出的凸緣部。

基底部件300具有大致矩形的外形形狀，在第一面302設(shè)置水晶振子100?；撞考?00可以由陶瓷形成。如圖6所示，通過蓋部件200以及基底部件300這兩者接合，水晶振子100被密封封入到由蓋部件200的凹部204和基底部件300圍成的內(nèi)部空間(空腔)206。蓋部件200以及基底部件300這兩者通過所希望的粘合材料(例如低熔點(diǎn)玻璃或樹脂粘合劑等)210而接合。另外，如圖6所示，水晶振子100被蓋部件200以及基底部件300支承為配置有連接電極(設(shè)置有導(dǎo)電性粘合劑340、342。)的一端成為固定端，水晶振子100的另一端成為自由端。

如圖5所示，基底部件300具有分別形成于各角部的外部電極330、332、334、336。各外部電極330～336從安裝水晶振子100的第一面302通過基底部件300的側(cè)面連續(xù)形成到基底部件300的第二面304(與第一面302相反的面)。更詳細(xì)而言，基底部件300具有將各個(gè)角部的一部分切斷成圓柱曲面狀(或堞形形狀(castellationshape))而形成的側(cè)面(切口部)，各外部電極330～336從安裝水晶振子100的第一面302通過這樣的切斷成圓柱曲面狀而形成的側(cè)面連續(xù)形成基底部件300的第二面304。此外，基底部件300的角部的形狀并不限定于上述的形狀。

另外，形成于基底部件300的多個(gè)外部電極330～336中的任意一個(gè)外部電極330經(jīng)由延伸電極320a與形成于第一面302的連接電極320電連接，另一個(gè)外部電極332經(jīng)由延伸電極322a與形成于第一面302的連接電極322電連接，其余兩個(gè)外部電極334、336被構(gòu)成為不與上述連接電極電連接的虛設(shè)電極。另外，基底部件300的連接電極320、322分別經(jīng)由導(dǎo)電性粘合劑340、342與水晶振子100的連接電極(參照?qǐng)D1b)電連接。與水晶振子100電連接的兩個(gè)外部電極330、332也可以設(shè)置于在基底部件300的俯視下對(duì)置的位置。

此外，對(duì)于連接電極以及外部電極，并不對(duì)這些電極的個(gè)數(shù)、電極的配置以及圖案形狀進(jìn)行特別限定，能夠適當(dāng)?shù)刈杂稍O(shè)計(jì)。

這樣，通過在基底部件300形成外部電極330～336，能夠從設(shè)置有水晶振子100的第一面302向水晶振動(dòng)器件1的安裝面?zhèn)燃吹诙?04實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)通。在這樣的水晶振動(dòng)器件1中，通過經(jīng)由外部電極330、332對(duì)水晶振子100中的一對(duì)激勵(lì)電極之間施加交流電壓，使得水晶基板以厚度剪切模式振動(dòng)，可得到伴隨著該振動(dòng)的共振特性。

根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的水晶振動(dòng)器件1，由于具備上述水晶振子100，所以能夠不妨礙小型化地實(shí)現(xiàn)電連接可靠性的提高。

本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，能夠進(jìn)行各種變形來應(yīng)用。以下，參照?qǐng)D7～圖9，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的水晶振子的各變形例進(jìn)行說明。此外，在以下的說明中，對(duì)與上述實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)不同的點(diǎn)進(jìn)行說明。

圖7是本實(shí)施方式的變形例所涉及的水晶振子101的俯視圖(水晶基板的背面?zhèn)鹊母┮晥D)。在本變形例中，延伸電極34的結(jié)構(gòu)不同。即，y'軸負(fù)方向側(cè)的延伸電極34比錐形側(cè)面42寬幅地形成，以便形成于振動(dòng)部40的錐形側(cè)面42的整個(gè)面，并且到達(dá)振動(dòng)部40的第一短邊側(cè)側(cè)面44b的一部分以及第一長邊側(cè)側(cè)面46a的一部分。即，延伸電極34被形成為其一部分通過第一短邊側(cè)側(cè)面44b經(jīng)由角度θ1到達(dá)周邊部50，另一部分通過錐形側(cè)面42經(jīng)過角度θ'到達(dá)周邊部50，剩余的一部分通過第一長邊側(cè)側(cè)面46a經(jīng)由角度θ2到達(dá)周邊部50。在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于延伸電極34的一部分以相對(duì)平緩的角度(即角度θ')延伸為到達(dá)周邊部50，所以也能夠?qū)崿F(xiàn)防止電極斷線。

圖8是本實(shí)施方式的其他變形例所涉及的水晶振子102的俯視圖(水晶基板的背面?zhèn)鹊母┮晥D)。在本變形例中，振動(dòng)部60以及延伸電極36的結(jié)構(gòu)不同。即，振動(dòng)部60具有z'軸正方向側(cè)的第二短邊側(cè)側(cè)面64a、z'軸負(fù)方向側(cè)的第一短邊側(cè)側(cè)面64b、x軸負(fù)方向側(cè)的第二長邊側(cè)側(cè)面66b、與第一短邊側(cè)側(cè)面64b以及第二短邊側(cè)側(cè)面64a的各個(gè)鄰接地形成并且在xz'面從x軸傾斜地形成的錐形側(cè)面62。在圖8所示的例子中，水晶基板的振動(dòng)部60在xz'面具有四邊形的平面形狀。而且，延伸電極36形成于遍及第二短邊側(cè)側(cè)面64a以及第一短邊側(cè)側(cè)面64b而形成的錐形側(cè)面62的一部分(z'軸負(fù)方向側(cè)的一部分)?；蛘?，延伸電極36也可以形成于錐形側(cè)面62的整個(gè)面。在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于延伸電極36也以相對(duì)平緩的角度(即角度θ')延伸為到達(dá)周邊部50，所以能夠?qū)崿F(xiàn)防止電極斷線。

圖9是本實(shí)施方式的其他變形例所涉及的水晶振子103的俯視圖(水晶基板的表面?zhèn)鹊母┮晥D)，圖10是圖9的x-x線剖視圖。在本變形例中，除了以上說明的水晶基板的背面?zhèn)鹊腻F形側(cè)面的結(jié)構(gòu)以外，也在水晶基板的表面?zhèn)龋谡駝?dòng)部形成有錐形側(cè)面。具體而言，在水晶基板的背面?zhèn)龋駝?dòng)部70具有錐形側(cè)面74，通過這樣的錐形側(cè)面74的至少一部分朝向z'軸負(fù)方向側(cè)的短邊形成有延伸電極32，另一方面，在水晶基板的表面?zhèn)龋彩钦駝?dòng)部70具有錐形側(cè)面72，通過這樣的錐形側(cè)面72的至少一部分朝向z'軸負(fù)方向側(cè)的短邊形成有延伸電極24。即，振動(dòng)部70的表面的外形被構(gòu)成為以z'軸為基準(zhǔn)，與振動(dòng)部70的背面的外形成線對(duì)稱。背面?zhèn)鹊腻F形側(cè)面74的結(jié)構(gòu)被構(gòu)成為與已經(jīng)說明的錐形側(cè)面42相同，與周邊部50以上述的角度θ'接觸。另一方面，水晶基板的表面?zhèn)鹊腻F形側(cè)面72相對(duì)于錐形側(cè)面74，結(jié)晶軸繞x軸旋轉(zhuǎn)180°，如圖10所示，錐形側(cè)面72所鄰接的短邊側(cè)側(cè)面73與周邊部50以鈍角角度θ3(這里，θ2＜θ3。)相接，另外，圖9所示的鄰接的長邊側(cè)側(cè)面75與周邊部50以與圖3所示θ2相同的角度相接。即，若將錐形側(cè)面72與周邊部50相接的角度設(shè)為θ”，則成為θ2＜θ”＜θ3的范圍。這里，角度θ3近似于由于at切割而偏離z'軸的角度144°45′(即原來的z軸)，例如，可以為142°＜θ3＜147°。另外，角度θ”依賴于錐形面的傾斜角度，例如也可以為100°＜θ”＜130°。根據(jù)本變形例，除了實(shí)現(xiàn)上述的防止電極斷線以外，由于水晶基板的表面以及背面均具有相同的結(jié)構(gòu)，所以電極的形成工序變得容易。

此外，以上說明的各實(shí)施方式是用于容易理解本發(fā)明的內(nèi)容，并不是用于限制解釋本發(fā)明的內(nèi)容。本發(fā)明可以不脫離其主旨地進(jìn)行變更/改良，并且其等價(jià)物也包含于本發(fā)明。即，只要本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)各實(shí)施方式添加了適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)變更而成的結(jié)構(gòu)也具備本發(fā)明的特征，則包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，各實(shí)施方式所具備的各要素及其配置、材料、條件、形狀、尺寸等并不限定于例示的內(nèi)容而能夠適當(dāng)?shù)刈兏?。另外，各?shí)施方式所具備的各要素只要在技術(shù)上可行就能夠進(jìn)行組合，只要對(duì)它們進(jìn)行組合而成的結(jié)構(gòu)也包含本發(fā)明的特征，則包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。

附圖標(biāo)記說明

1…水晶振子；10…水晶基板；30…激勵(lì)電極；32…延伸電極；40…振動(dòng)部；42…錐形側(cè)面；44a…第二短邊側(cè)側(cè)面；44b…第一短邊側(cè)側(cè)面；46a…第一長邊側(cè)側(cè)面；46b…第二長邊側(cè)側(cè)面；50…周邊部；100…水晶振子；200…蓋部件；300…基底部件。