技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種碳化硅加工用脫膠加熱板。其包括加熱板，所述加熱板的內(nèi)腔設(shè)有加熱管，所述加熱板的內(nèi)腔底部設(shè)有導(dǎo)電板，所述導(dǎo)電板上均勻開有插孔，所述加熱板的頂端設(shè)有導(dǎo)熱鋁基板，所述導(dǎo)熱鋁基板的底端均勻設(shè)有受熱凸點(diǎn)，所述受熱凸點(diǎn)位于加熱板的內(nèi)腔上方，所述加熱板的內(nèi)壁均勻設(shè)有溫度感應(yīng)器，所述溫度感應(yīng)器電性連接設(shè)在隔熱層底端的控制裝置，所述隔熱層位于加熱板的底端，所述控制裝置電性連接導(dǎo)電板和報(bào)警器，所述報(bào)警器設(shè)在加熱板的右側(cè)。該碳化硅加工用脫膠加熱板結(jié)構(gòu)簡單，使用安全，方便更換，能夠快速達(dá)到準(zhǔn)確的熱脫離溫度，提高了工作效率，降低了能耗及人工成本。

技術(shù)研發(fā)人員：宗艷民
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東天岳晶體材料有限公司
文檔號(hào)碼：201621084466
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.27
技術(shù)公布日：2017.05.17