本實用新型涉及碳化硅加工技術領域，具體為一種碳化硅加工用脫膠加熱板。

背景技術：

在對碳化硅晶體進行加工前會進行上膠作業(yè)，然后按照加工工序加工到所要求的尺寸后，需要進行脫膠作業(yè)，使成形的晶體脫離。該脫膠作業(yè)一個重要的條件是使晶體連同膠體被加熱到指定溫度，從而更順利的把膠體和晶體分離。目前，脫膠加熱板具有普遍的缺陷，其因加熱裝置的散熱面積有限，欲加工的碳化硅晶體受熱不均勻，溫度不穩(wěn)定，加熱速度慢，很難達到預期效果，特別對膠極難加熱融化，同時，溫度過高了又會致使膠體產生刺激性氣體，并且可能燒毀電熱元件，減少使用壽命，毀壞以后也不便于更換。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種碳化硅加工用脫膠加熱板，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種碳化硅晶體加工用脫膠加熱板，包括加熱板，所述加熱板的內腔設有加熱管，所述加熱板的內腔底部設有導電板，所述導電板上均勻開有插孔，所述插孔的內側壁設有內螺紋，所述加熱管的一端外側壁設有與所述內螺紋相配合的外螺紋，所述插孔和加熱管通過內外螺紋配合連接，所述加熱板的頂端設有導熱鋁基板，所述導熱鋁基板的底端均勻設有受熱凸點，所述受熱凸點位于加熱板的內腔上方，所述加熱板的內壁均勻設有溫度感應器，所述溫度感應器電性連接設在隔熱層底端的控制裝置，所述隔熱層位于加熱板的底端，所述控制裝置電性連接導電板和報警器，所述報警器設在加熱板的右側。

優(yōu)選的，所述加熱管的內腔設有電阻絲，所述電阻絲為螺旋結構。

優(yōu)選的，所述隔熱層包括相配合的云母層和保溫棉層。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是：該碳化硅晶體加工用脫膠加熱板結構簡單，通過使用可拆卸的加熱管，在單一發(fā)熱元件受損的時候方便更換，加熱板的上方設有受熱凸點，受熱凸點連接在導熱鋁基板的底端，當加熱管散發(fā)熱量時，熱量通過受熱凸點均勻的傳送給導熱鋁基板，其導熱鋁基板受熱均勻，并具有加熱速度快的特點，避免因為溫度過高受熱不均勻致使膠體產生刺激性氣體，并使用溫度感應器來實施監(jiān)控加熱板內的溫度，及時記錄報警提醒工作人員，從而消除了溫度過高對發(fā)熱元件造成損傷的風險，使用安全，能夠快速達到準確的熱脫離溫度，提高了工作效率，降低了能耗及人工成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的加熱板結構示意圖；

圖3為圖2中的A處結構放大圖；

圖4為本實用新型的隔熱層結構示意圖。

圖中：1導熱鋁基板、2加熱板、3導電板、4插孔、41內螺紋、42外螺紋、5溫度感應器、6受熱凸點、7報警裝置、8隔熱層、81云母層、82保溫棉層、9控制裝置、10加熱管。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-4，本實用新型提供一種技術方案：一種碳化硅晶體加工用脫膠加熱板，包括加熱板2，加熱板2的內腔設有多個加熱管10，加熱板2的內腔底部設有導電板3，導電板3上均勻開有多個插孔4，插孔4的內側壁設有內螺紋41，加熱管10的一端外側壁設有與內螺紋41相配合的外螺紋42，插孔4和加熱管10通過內外螺紋配合連接，加熱管10均獨立連接插孔4，即加熱管10獨立可拆卸，加熱管10的內腔設有電阻絲，所述電阻絲為螺旋結構，采用螺旋結構電阻絲發(fā)熱更快更均勻，加熱板2的頂端設有導熱鋁基板1，導熱鋁基板1的底端均勻設有受熱凸點6，受熱凸點6位于加熱板2的內腔上方，受熱凸點6可以使熱量散發(fā)到導熱鋁基板1時各個位置受熱更加均勻，同時導熱鋁基板1具有高效導熱效果，導熱鋁基板1溫度上升快，加熱板2的內壁均勻設有溫度感應器5，對應發(fā)熱板2內不同區(qū)域的溫度都對應的設有溫度感應器5可以實施監(jiān)測，溫度感應器5電性連接設置在隔熱層8底端的控制裝置9，隔熱層8位于加熱板2的底端，隔熱層8包括相配合的云母層81和保溫棉層82，兩相配合的隔熱層8可以有效的防止熱量的散失，同時保護控制裝置9的安全，控制裝置9電性連接導電板3和報警器7，報警器7設在加熱板2的右側，控制裝置9既起到接收信號的作用，又起到觸發(fā)報警器7的作用，即為一個信號中轉站，當溫度感應器5檢測到加熱板2內溫度過高時，將變化值轉換成電信號值，傳輸給控制裝置9，控制裝置9再觸發(fā)報警器7。

本實施例的其他部分均采用已有技術，在此不再贅述。

盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。