技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種石英晶體諧振器的加工方法，其包括對(duì)待加工的晶片清洗，并對(duì)清洗后的晶片進(jìn)行上片點(diǎn)膠；對(duì)點(diǎn)膠后的晶片，通過(guò)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)濺鍍頻率，進(jìn)行雙側(cè)濺鍍鍍膜，并對(duì)鍍膜后的晶片進(jìn)行真空退火處理。本發(fā)明的一種石英晶體諧振器的加工方法，將所有的加工步驟都設(shè)置在真空下，以防止產(chǎn)品加工過(guò)程中暴露在空氣中，影響其性能，實(shí)現(xiàn)了真空環(huán)境下連續(xù)生成；同時(shí)，采用了在線(xiàn)監(jiān)測(cè)濺鍍頻率以實(shí)現(xiàn)電極制備，將兩次鍍膜合成一次，縮減加工工藝同時(shí)提高加工效率。

技術(shù)研發(fā)人員：趙立軍;張琳琳;韓雪飛;孫海東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京晨晶電子有限公司
文檔號(hào)碼：201611247857
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.29
技術(shù)公布日：2017.06.20