本發(fā)明涉及彈性波裝置。

背景技術(shù)：

以往，彈性波裝置被廣泛用于移動電話的濾波器等。在下述的專利文獻(xiàn)1中，表示了具有idt電極的彈性波裝置的一個例子。上述idt電極的匯流條具有：下層布線、和層疊在下層布線上的上層布線。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-100952號公報

近年來，為了應(yīng)對彈性波裝置的進(jìn)一步的小型化要求，隨著彈性波諧振器在垂直于彈性波傳播方向的方向上相互更進(jìn)一步接近地配置，相鄰的idt電極的匯流條間的距離變短。另一方面，在梯子型濾波器等中，為了提高濾波器特性，彈性波諧振器的idt電極的沿著彈性波傳播方向的尺寸變大，匯流條也變長。因此，若將專利文獻(xiàn)1的具有采用2層匯流條的橫長的idt電極的彈性波諧振器接近配置，則容易產(chǎn)生匯流條的形成不良，此外，相互的匯流條彼此可能短路。因此，難以將idt電極彼此充分接近配置，不能充分實現(xiàn)彈性波裝置的小型化。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，提供一種難以產(chǎn)生idt電極彼此相鄰的部分處的匯流條的形成不良、并且能夠促進(jìn)小型化的彈性波裝置。

本發(fā)明所涉及的彈性波裝置具備：壓電基板；和多個彈性波元件，構(gòu)成于所述壓電基板，分別具有idt電極，所述多個彈性波元件之中，第1彈性波元件的所述idt電極具有對置的第1、第2匯流條，第2彈性波元件的所述idt電極具有對置的第3、第4匯流條，所述第2匯流條與所述第3匯流條大致平行地延伸，并且在垂直于彈性波傳播方向的方向上隔開間隙而被配置，所述第2、第3匯流條具有：第1電極層、和至少一部分在該第1電極層上層疊的第2電極層，所述第2匯流條的所述第2電極層在至少1個部位，在與彈性波傳播方向交差的方向上被斷開。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的某個特定的方面，所述第2匯流條的所述第2電極層在垂直于彈性波傳播方向的方向上被斷開。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的另一特定的方面，所述第3匯流條的所述第2電極層在至少1個部位，在與彈性波傳播方向交差的方向上被斷開。在該情況下，進(jìn)一步難以產(chǎn)生第2、第3匯流條的形成不良。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的又一特定的方面，所述第3匯流條的所述第2電極層在垂直于彈性波傳播方向的方向上被斷開。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的其它特定的方面，在從所述第2匯流條的所述第2電極層被斷開的部分開始的、所述第2匯流條的所述第2電極層被斷開的方向的延長線上，所述第3匯流條的所述第2電極層被斷開。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的另外其它特定的方面，所述多個彈性波元件包含串聯(lián)臂諧振器以及多個并聯(lián)臂諧振器，所述第1、第2彈性波元件均為所述并聯(lián)臂諧振器。在該情況下，即使加長并聯(lián)臂諧振器的彈性波傳播方向上的長度，也難以產(chǎn)生并聯(lián)臂諧振器的匯流條的形成不良。因此，能夠提高彈性波裝置的濾波器特性，并且能夠進(jìn)一步促進(jìn)小型化。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的另外其它特定的方面，所述彈性波裝置具有：第1帶通型濾波器、和通帶與所述第1帶通型濾波器不同的第2帶通型濾波器，所述第1帶通型濾波器包含所述第1、第2彈性波元件之中的至少一個。

在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的另外其它特定的方面，所述第1帶通型濾波器包含所述第1、第2彈性波元件之中的一個，所述第2帶通型濾波器包含所述第1、第2彈性波元件之中的另一個。在該情況下，能夠進(jìn)一步縮短第1帶通型濾波器與第2帶通型濾波器的距離。因此，能夠進(jìn)一步促進(jìn)彈性波裝置的小型化。

根據(jù)本發(fā)明的彈性波裝置，難以產(chǎn)生idt電極彼此相鄰的部分處的匯流條的形成不良，并且能夠促進(jìn)小型化。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的第1實施方式所涉及的彈性波裝置的概略性俯視圖。

圖2是本發(fā)明的第1實施方式所涉及的彈性波裝置的電路圖。

圖3是表示本發(fā)明的第1實施方式中的串聯(lián)臂諧振器的電極構(gòu)成的俯視圖。

圖4是表示本發(fā)明的第1實施方式中的第1、第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器的電極構(gòu)成的俯視圖。

圖5是本發(fā)明的第1實施方式所涉及的彈性波裝置的概略性放大俯視圖。

圖6是用于對本發(fā)明的第1實施方式所涉及的彈性波裝置的制造方法進(jìn)行說明的、相當(dāng)于第1、第2彈性波元件的部分的概略性俯視圖。

圖7是用于對本發(fā)明的第1實施方式所涉及的彈性波裝置的制造方法進(jìn)行說明的、相當(dāng)于第1、第2彈性波元件的部分的概略性俯視圖。

圖8是用于對本發(fā)明的第1實施方式所涉及的彈性波裝置的制造方法進(jìn)行說明的、相當(dāng)于第1、第2彈性波元件的部分的概略性俯視圖。

圖9是表示本發(fā)明的第1實施方式以及比較例中的第1帶通型濾波器的插入損耗的圖。

圖10是本發(fā)明的第2實施方式所涉及的彈性波裝置的概略性俯視圖。

-符號說明-

1…雙工器

2…壓電基板

3a、3b…第1、第2帶通型濾波器

4…輸入端子

5…天線端子

6…輸出端子

7a、7b…第1、第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器

8…接地端子

9a～9d…第1～第4匯流條

9a1～9d1…第1電極層

9a2～9d2…第2電極層

9b、9c…斷開部

10a、10ba～10bc、10ca～10cc…idt電極

11a～11c…反射器

12…第1布線層

13…抗蝕劑圖案

13a…窄幅部

13b、13c…加強部

21…雙工器

23a、23b…第1、第2帶通型濾波器

29a～29d…第1～第4匯流條

29b、29c…斷開部

s1～s4…串聯(lián)臂諧振器

s11…彈性波諧振器

p1～p3…并聯(lián)臂諧振器

p11…彈性波諧振器

具體實施方式

以下，參照附圖，來對本發(fā)明的具體實施方式進(jìn)行說明，從而使本發(fā)明清楚明了。

另外，需要指出，本說明書中所述的各實施方式是示例性的，在不同的實施方式之間，能夠進(jìn)行構(gòu)成的局部置換或者組合。

圖1是本發(fā)明的第1實施方式所涉及的彈性波裝置的概略性俯視圖。圖2是第1實施方式所涉及的彈性波裝置的電路圖。另外，在圖1中，通過多角形中引出2條對角線的概略圖來表示各彈性波諧振器以及各縱耦合諧振器型彈性波濾波器。在后述的圖5、圖6、圖8以及圖10中也同樣。

本實施方式所涉及的彈性波裝置是圖1所示的雙工器1。雙工器1具有壓電基板2。壓電基板2由linbo3或者litao3等壓電單晶體、適當(dāng)?shù)膲弘娞沾傻葮?gòu)成。

雙工器1具有：壓電基板2中構(gòu)成的第1帶通型濾波器3a、和通帶與第1帶通型濾波器3a不同的第2帶通型濾波器3b。第1帶通型濾波器3a是發(fā)送濾波器，第2帶通型濾波器3b是接收濾波器。

雙工器1被設(shè)置在壓電基板2上，具有與天線連接的天線端子5。第1、第2帶通型濾波器3a、3b與天線端子5共同連接。

另外，第1帶通型濾波器3a是本發(fā)明的一實施方式所涉及的彈性波裝置。

第1、第2帶通型濾波器3a、3b具有多個彈性波元件。多個彈性波元件分別具有idt電極。更具體而言，如圖2所示，第1帶通型濾波器3a具有作為多個彈性波元件的串聯(lián)臂諧振器s1～s4以及并聯(lián)臂諧振器p1～p3。第1帶通型濾波器3a是梯子型濾波器。

圖3是表示第1實施方式中的串聯(lián)臂諧振器s1的電極構(gòu)成的俯視圖。

串聯(lián)臂諧振器s1具有被設(shè)置在壓電基板上的idt電極10a。在idt電極10a的彈性波傳播方向兩側(cè)設(shè)置反射器11a、11a。同樣地，圖2所示的串聯(lián)臂諧振器s2～s4、并聯(lián)臂諧振器p1～p3以及后述的彈性波諧振器s11、p11也具有idt電極以及一對反射器。

另一方面，第2帶通型濾波器3b具有作為多個彈性波元件的第1、第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器7a、7b以及彈性波諧振器s11、p11。

圖4是表示第1實施方式中的第1、第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器的電極構(gòu)成的俯視圖。

第1縱耦合諧振器型彈性波濾波器7a具有idt電極10ba～10bc。在idt電極10ba～10bc的彈性波傳播方向兩側(cè)設(shè)置有反射器11b、11b。第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器7b具有idt電極10ca～10cc。在idt電極10ca～10cc的彈性波傳播方向兩側(cè)設(shè)置有反射器11c、11c。

圖5是第1實施方式所示的彈性波裝置的概略性放大俯視圖。

這里，第1帶通型濾波器的并聯(lián)臂諧振器p1是本發(fā)明中的第1彈性波元件。并聯(lián)臂諧振器p1的idt電極具有對置的第1、第2匯流條9a、9b。另一方面，串聯(lián)臂諧振器s1是本發(fā)明中的第2彈性波元件。串聯(lián)臂諧振器s1的idt電極具有對置的第3、第4匯流條9c、9d。

第1～第4匯流條9a～9d分別具有長度方向。第2匯流條9b與第3匯流條9c平行地延伸。另外，第2匯流條9b延伸的方向與第3匯流條9c延伸的方向也可以大致平行。在本實施方式中，該長度方向是與并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1的彈性波傳播方向平行的方向。第2匯流條9b和第3匯流條9c在垂直于長度方向的方向上，隔開間隙地被配置。

第2、第3匯流條9b、9c具有：第1電極層、和層疊在第1電極層上的第2電極層。在本實施方式中，第1、第4匯流條9a、9d也具有：第1電極層、和層疊在第1電極層上的第2電極層。由此，能夠降低電阻。另外，至少第2、第3匯流條9b、9c具有第1、第2電極層即可。此外，第2電極層的至少一部分層疊在第1電極層上即可。

另外，優(yōu)選地，在第1、第2帶通型濾波器中，最好全部彈性波元件中的idt電極的匯流條具有相當(dāng)于上述第1、第2電極層的電極層。由此，能夠進(jìn)一步降低電阻。

第2匯流條9b具有第2電極層在與第2匯流條9b的長度方向垂直的方向上被斷開的斷開部9b。第2匯流條9b的第1電極層在斷開部9b露出。

同樣地，第3匯流條9c也具有第2電極層在與第3匯流條9c的長度方向垂直的方向上被斷開的斷開部9c。更具體而言，第3匯流條9c的第2電極層在從第2匯流條9b的斷開部9b開始的、第2匯流條9b的第2電極層被斷開的方向的延長線上被斷開。第3匯流條9c的第1電極層在斷開部9c露出。

本實施方式的特征在于，第2匯流條9b的第2電極層以及第3匯流條9c的第2電極層如上述那樣被斷開。由此，難以產(chǎn)生idt電極彼此相鄰的部分處的匯流條的形成不良。并且，能夠促進(jìn)雙工器1的小型化。以下，與雙工器1的構(gòu)成的詳細(xì)以及制造方法一起來對此進(jìn)行說明。

如圖2所示，第1帶通型濾波器3a具有輸入端子4。串聯(lián)臂諧振器s1～s4在輸入端子4與天線端子5之間相互串聯(lián)連接。

在距離輸入端子4最近的串聯(lián)臂諧振器s1和串聯(lián)臂諧振器s2之間的連接點與接地電位之間，連接并聯(lián)臂諧振器p1。在串聯(lián)臂諧振器s2和串聯(lián)臂諧振器s3之間的連接點與接地電位之間，連接并聯(lián)臂諧振器p2。在串聯(lián)臂諧振器s3和串聯(lián)臂諧振器s4之間的連接點與接地電位之間，連接并聯(lián)臂諧振器p3。另外，第1帶通型濾波器3a的電路構(gòu)成并不被特別限定。

第2帶通型濾波器3b具有輸出端子6。第1、第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器7a、7b在天線端子5與輸出端子6之間相互串聯(lián)連接。在天線端子5與第1縱耦合諧振器型彈性波濾波器7a之間，連接特性調(diào)整用的彈性波諧振器s11。在天線端子5和特性調(diào)整用的彈性波諧振器s11之間的連接點與接地電位之間，連接特性調(diào)整用的彈性波諧振器p11。另外，第2帶通型濾波器3b的電路構(gòu)成并不被特別限定。

如圖1所示，在壓電基板2上設(shè)置多個接地端子8。多個接地端子8與接地電位連接。

以下，對作為第1實施方式所涉及的彈性波裝置的雙工器1的制造方法的一個例子進(jìn)行說明。

圖6是用于對第1實施方式所涉及的彈性波裝置的制造方法進(jìn)行說明的、相當(dāng)于第1、第2彈性波元件的部分的概略性俯視圖。圖7是用于對第1實施方式所涉及的彈性波裝置的制造方法進(jìn)行說明的、相當(dāng)于第1、第2彈性波元件的部分的概略性俯視圖。圖8是用于對第1實施方式所涉及的彈性波裝置的制造方法進(jìn)行說明的、相當(dāng)于第1、第2彈性波元件的部分的概略性俯視圖。另外，在圖6～圖8中，省略了壓電基板上的第1、第2彈性波元件以外的電極構(gòu)成。此外，如上所述，第1以及第2彈性波元件是圖5所示的并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1。在圖7中，通過斜線部來表示形成有后述的抗蝕劑圖案的部分。

如圖6所示，準(zhǔn)備壓電基板2。接下來，在壓電基板2上形成金屬膜。金屬膜例如能夠通過濺射法或cvd法等來形成。接下來，通過光刻法，將金屬膜圖案化，形成第1布線層12。第1布線層12包含各idt電極以及反射器的第一層的電極。由此，形成上述第1～第4匯流條的第1電極層9a1～9d1。

接下來，如圖7所示，在壓電基板2上形成抗蝕劑圖案13以使得覆蓋上述第1布線層的一部分?？刮g劑圖案13覆蓋各idt電極的電極指。抗蝕劑圖案13具有在第1～第4匯流條的第1電極層9a1～9d1上開口的部分。在該開口的部分，在后述的工序中，形成第1～第4匯流條的第2電極層。

優(yōu)選抗蝕劑圖案13的厚度比圖6所示的第1布線層12的厚度厚。由此，能夠使第1～第4匯流條的第2電極層的厚度較厚，能夠進(jìn)一步降低電阻。

抗蝕劑圖案13具有位于第2匯流條的第1電極層9b1與第3匯流條的第1電極層9c1之間且沿著第1電極層9b1、9c1延伸的窄幅部13a。窄幅部13a遍及第2、第3匯流條的第1電極層9b1、9c1對置的部分的全長。另外，窄幅部13a的寬度是將窄幅部13a延伸的方向橫斷的方向的長度。第2匯流條與第3匯流條的距離越短，窄幅部13a的寬度越窄。

在圖7所示的工序中，將抗蝕劑圖案13形成為具有加強窄幅部13a的加強部13b、13c。更具體而言，將加強部13b形成在第2匯流條的第1電極層9b1上。加強部13b將窄幅部13a與抗蝕劑圖案13的其他部分連接。同樣地，將加強部13c形成在第3匯流條的第1電極層9c1上。加強部13c也將窄幅部13a與抗蝕劑圖案13的其他部分連接。如后面所述，在相當(dāng)于加強部13b以及加強部13c的部分，第2匯流條的第2電極層以及第3匯流條的第2電極層被分別斷開。

窄幅部13a的寬度越窄、厚度越厚，越容易產(chǎn)生位置偏移等形成不良。進(jìn)一步地，窄幅部13a的長度越長，越容易產(chǎn)生形成不良。這里，窄幅部13a通過加強部13b、13c而被加強。因此，即使縮短第2匯流條與第3匯流條的距離，上述形成不良也被抑制。并且，即使加長第2、第3匯流條，窄幅部13a的形成不良也被抑制。由此，能夠通過抗蝕劑圖案13來抑制被圖案化的第2、第3匯流條的形成不良。

這樣，通過設(shè)置加強部13b、13c，將第2、第3匯流條的第2電極層斷開，能夠抑制第2、第3匯流條的形成不良。

另外，至少將加強部13b以及加強部13c之中的任意一個形成在1個部位。在這種情況下，也難以產(chǎn)生窄幅部13a的位置偏移。或者，也可以形成多個加強部13b或者加強部13c。

接下來，在壓電基板2上的被抗蝕劑圖案13覆蓋的部分以及未被覆蓋的部分，形成金屬膜。接下來，將抗蝕劑圖案13剝離。由此，如圖8所示，形成第1～第4匯流條9a～9d的第2電極層9a2～9d2。

在上述剝離中，圖7所示的抗蝕劑圖案13的加強部13b、13c上的上述金屬膜被除去。由此，形成第2、第3匯流條9b、9c的斷開部9b、9c。由此，形成并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1。另外，在上述所示的各工序中，其他各彈性波諧振器以及各縱耦合諧振器型彈性波濾波器也同時形成。

如上所述，即使將抗蝕劑圖案13的窄幅部13a的寬度縮窄，也難以產(chǎn)生窄幅部13a的位置偏移。因此，在與第2、第3匯流條9b、9c的長度方向垂直的方向上的第2、第3匯流條9b、9c的距離較短的情況下，也難以產(chǎn)生第2電極層9b2、9c2的形成不良。此外，即使加長第2、第3匯流條9b、9c，也難以產(chǎn)生第2電極層9b2、9c2的形成不良。因此，也難以產(chǎn)生第2匯流條9b與第3匯流條9c的短路。進(jìn)一步地，能夠促進(jìn)雙工器1的小型化。

返回到圖1，在雙工器1中，沿著并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1的彈性波傳播方向的長度比沿著串聯(lián)臂諧振器s2～s4的彈性波傳播方向的長度長。由此，能夠增多并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1中的idt電極的電極指的對數(shù)，例如，能夠提高q值等濾波器特性。此時，如圖1所示，通過將并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1在垂直于彈性波傳播方向的方向上相鄰配置，能夠適當(dāng)?shù)貙崿F(xiàn)雙工器1的小型化。進(jìn)一步地，在本實施方式中，能夠縮短并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1的上述方向的距離。因此，能夠提高濾波器特性，并且能夠進(jìn)一步促進(jìn)雙工器1的小型化。

并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1中第2、第3匯流條9b、9c的第2電極層被斷開的位置、方向并不被特別限定。第2、第3匯流條9b、9c的第2電極層在相互對置的位置被斷開即可。第2、第3匯流條9b、9c也可以在垂直于長度方向的方向以外的與長度方向交差的方向上被斷開。此外，第2、第3匯流條9b、9c的第2電極層之中的任意一個在至少1個位置被斷開即可。在這些情況下，也難以產(chǎn)生第2、第3匯流條9b、9c的形成不良。

這里，制作具有第1實施方式的構(gòu)成的雙工器和比較例的雙工器，對第1帶通型濾波器的插入損耗進(jìn)行比較。另外，比較例的雙工器在除了相當(dāng)于第1實施方式中的第2、第3匯流條的第2電極層的部分未被斷開這方面以外，具有與第1實施方式的雙工器相同的構(gòu)成。

另外，下述表1中表示第1實施方式以及比較例的雙工器的串聯(lián)臂諧振器s1～s4、并聯(lián)臂諧振器p1～p3以及彈性波諧振器s11、p11的各idt電極的規(guī)格。下述表2中表示第1、第2縱耦合諧振器型彈性波濾波器7a、7b的各idt電極的規(guī)格。此外，表1以及表2中表示各反射器的規(guī)格。

【表1】

【表2】

圖9是表示第1實施方式以及比較例中的第1帶通型濾波器的插入損耗的圖。實線表示第1實施方式的結(jié)果，虛線表示比較例的結(jié)果。

如圖9所示，可知第1實施方式中的第1帶通型濾波器的插入損耗與比較例的第1帶通型濾波器的插入損耗幾乎相同。因此可知，根據(jù)第1實施方式，能夠在不導(dǎo)致基于彈性波的衍射的損耗、電阻的增大的情況下，得到上述效果。

圖10是第2實施方式所涉及的彈性波裝置的概略性俯視圖。

本實施方式的彈性波裝置是圖10所示的雙工器21。雙工器21在第1、第2帶通型濾波器23a、23b均具有本發(fā)明中的第1、第2彈性波元件這方面，與第1實施方式不同。在上述以外的方面，雙工器21具有與第1實施方式的雙工器1相同的構(gòu)成。

更具體而言，第1帶通型濾波器23a的并聯(lián)臂諧振器p3是上述第1彈性波元件，第2帶通型濾波器23b的彈性波諧振器s11是上述第2彈性波元件。并聯(lián)臂諧振器p3與彈性波諧振器s11在垂直于彈性波傳播方向的方向上相鄰。并聯(lián)臂諧振器p3具有對置的第1、第2匯流條29a、29b。彈性波諧振器s11具有對置的第3、第4匯流條29c、29d。第2匯流條29b與第3匯流條29c平行地延伸。第2、第3匯流條29b、29c在垂直于長度方向的方向上隔開間隙而被配置。

第2、第3匯流條29b、29c具有：第1電極層、和至少一部分在第1電極層上層疊的第2電極層。第2、第3匯流條29b、29c的第2電極層與第1實施方式中的第2、第3匯流條9b、9c同樣地被斷開。這樣，第2、第3匯流條29b、29c具有斷開部29b、29c。

雙工器21能夠與第1實施方式的雙工器1同樣地制造。這里，第2、第3匯流條29b、29c能夠與并聯(lián)臂諧振器p1以及串聯(lián)臂諧振器s1中的第2、第3匯流條9b、9c同樣地制造。因此，在本實施方式中，除了第1實施方式的效果之外，還難以產(chǎn)生并聯(lián)臂諧振器p3以及彈性波諧振器s11的第2、第3匯流條29b、29c的形成不良。

進(jìn)一步地，能夠進(jìn)一步縮短第1帶通型濾波器23a與第2帶通型濾波器23b的距離。因此，能夠進(jìn)一步促進(jìn)雙工器21的小型化。

本發(fā)明并不僅限于雙工器，也能夠適當(dāng)?shù)貞?yīng)用于各個帶通型濾波器。此外，本發(fā)明也能夠適當(dāng)?shù)貞?yīng)用于具有三個以上的帶通型濾波器的多路復(fù)用器等。