1.一種薄膜體聲波濾波器封裝結(jié)構(gòu),包括基板和芯片,基板和芯片上設(shè)有對(duì)應(yīng)的電極,其特征在于:所述芯片電極通過(guò)倒裝焊由金球與基板電極對(duì)應(yīng)連接,在基板表面粘接固定有膜層,所述膜層緊貼于基板表面并同時(shí)包裹住芯片,在芯片和基板之間形成真空腔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波濾波器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述膜層為粘片膜和樹(shù)脂膜。
3.一種薄膜體聲波濾波器封裝方法,其特征在于:薄膜體聲波濾波器具有權(quán)利要求1或2所述的封裝結(jié)構(gòu),具體封裝步驟如下:
1)在基板上根據(jù)需要封裝的芯片數(shù)量劃分芯片封裝區(qū)域,每個(gè)區(qū)域?qū)?yīng)一個(gè)待封裝芯片;在每個(gè)區(qū)域設(shè)置與芯片電極對(duì)應(yīng)的基板電極;
2)分別將待封裝芯片上的電極通過(guò)倒裝焊工藝焊接在基板對(duì)應(yīng)區(qū)域的對(duì)應(yīng)電極上;
3)通過(guò)真空貼膜工藝將保護(hù)膜貼裝于基板上并包裹住所有芯片,在每個(gè)芯片和基板之間形成真空腔;
4)通過(guò)加溫使保護(hù)膜粘接固化,從而使保護(hù)膜分別與基板和芯片固定連接;
5)將基板按封裝區(qū)域切割得到切割單元,每個(gè)切割單元由對(duì)應(yīng)封裝區(qū)域的基板及其上的芯片和保護(hù)膜構(gòu)成,該切割單元即構(gòu)成一個(gè)薄膜體聲波濾波器。