1.一種用于大功率層流電弧等離子體束發(fā)生器的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括陰極保護(hù)罩冷卻密封結(jié)構(gòu)、進(jìn)氣密封結(jié)構(gòu)和陽極冷卻密封結(jié)構(gòu)；所述陰極保護(hù)罩冷卻密封結(jié)構(gòu)包括陰極保護(hù)罩(1)，所述進(jìn)氣密封結(jié)構(gòu)包括進(jìn)氣環(huán)(2)、陰極連接柱(3)和陽極固定座(4)，所述陰極保護(hù)罩(1)套在陰極連接柱(3)上，且與陰極連接柱(3)之間形成氣流通道(5)，所述進(jìn)氣環(huán)(2)通過密封件(6)套在陰極連接柱(3)上，且外側(cè)設(shè)置在陽極固定座(4)內(nèi)；所述進(jìn)氣環(huán)(2)、陽極固定座(4)、密封件(6)和陰極保護(hù)罩(1)形成工作氣腔(7)，所述氣流通道(5)與工作氣腔(7)連通，連通處設(shè)置有單向閥(8)，所述進(jìn)氣環(huán)(2)上設(shè)置有出氣口(9)，所述出氣口(9)出設(shè)置單向閥(8)，工作氣體由氣流通道(5)進(jìn)入到工作氣腔(7)內(nèi)，再經(jīng)進(jìn)氣環(huán)(2)的出氣口(9)進(jìn)入到電離腔(10)內(nèi)進(jìn)行電離。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于大功率層流電弧等離子體束發(fā)生器的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述工作氣腔(7)內(nèi)設(shè)置有彈簧件(11)，所述彈簧件(11)一端固定在進(jìn)氣環(huán)(2)上，另一端固定在陽極固定座(4)上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種用于大功率層流電弧等離子體束發(fā)生器的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述陽極固定座(4)上設(shè)置有與進(jìn)氣環(huán)(2)配合的滑動(dòng)槽(12)，所述進(jìn)氣環(huán)(2)在滑動(dòng)槽(12)內(nèi)滑動(dòng)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種用于大功率層流電弧等離子體束發(fā)生器的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述進(jìn)氣環(huán)(2)內(nèi)部設(shè)置有氣道(13)，所述氣道(13)沿進(jìn)氣環(huán)(2)徑向螺旋分布。
5.如權(quán)利要求1或4所述的一種用于大功率層流電弧等離子體束發(fā)生器的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述進(jìn)氣環(huán)(2)的外表面與電離腔(10)接觸的表面上設(shè)置有一層絕緣層(14)。
6.如權(quán)利要求1所述的一種用于大功率層流電弧等離子體束發(fā)生器的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述陰極保護(hù)罩冷卻密封結(jié)構(gòu)還包括進(jìn)水管(15)和出水管(16)，所述進(jìn)水管(15)設(shè)置在保護(hù)罩側(cè)壁內(nèi)部，所述出水管(16)與進(jìn)水管(15)并列設(shè)置在保護(hù)罩側(cè)壁內(nèi)部；所述進(jìn)水管(15)的端部與出水管(16)的端部連通。
7.如權(quán)利要求6所述的一種用于大功率層流電弧等離子體束發(fā)生器的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述進(jìn)水管(15)和出水管(16)均沿保護(hù)罩軸向螺旋分布。
8.如權(quán)利要求1所述的一種用于大功率層流電弧等離子體束發(fā)生器的密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述陽極冷卻密封結(jié)構(gòu)包括陽極外殼(17)、陽極頭(18)、電弧通道(19)和冷卻水管(20)，所述冷卻水管(20)貫穿陽極外殼(17)、陽極頭(18)和電弧通道(19)，且設(shè)置在陽極外殼(17)、陽極頭(18)和電弧通道(19)側(cè)壁的內(nèi)部。